特許ウォッチ

公開番号2024082035
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-19
出願番号2022195722
出願日2022-12-07
発明の名称チャックテーブルの検査方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 41/06 20120101AFI20240612BHJP(研削;研磨)
要約【課題】チャックテーブルの保持面の良否を簡易的に検査することを可能とするチャックテーブルの検査方法を提供すること。
【解決手段】チャックテーブルの検査方法は、チャックテーブルの保持面に形成された凹凸に倣う追従性と反射性を有する板状物をチャックテーブルの保持面で保持する保持ステップ1001と、チャックテーブルに保持された板状物の表面に光源より光を照射する光照射ステップ1002と、表面で反射された光がスクリーンに到達することでチャックテーブルの保持面に形成された凹凸の状態が反映された投影像をスクリーンに映す投影ステップ1003と、スクリーンの投影像を撮像して撮像画像を形成する撮像ステップ1004と、撮像画像に基づいてチャックテーブルの保持面の凹凸の状態を把握してチャックテーブルの保持面の良否を判定する判定ステップ1005と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を研削砥石または研磨パッドで加工する加工ユニットと、被照射物に光を照射する光源と、該被照射物で反射された該光が照射されることで該被照射物の投影像を映すスクリーンと、該スクリーンに映される投影像を撮像して撮像画像を形成する撮像ユニットと、を備える加工装置を用いて該チャックテーブルの保持面に形成された凹凸の状態を検査するチャックテーブルの検査方法であって、
該チャックテーブルの保持面に形成された凹凸に倣う追従性と、該光を反射する反射性を有する板状物を該チャックテーブルの保持面で保持する保持ステップと、
該チャックテーブルに保持された該板状物の上面に該光源より該光を照射する光照射ステップと、
該光照射ステップにより該上面で反射された該光が該スクリーンに到達することで該チャックテーブルの保持面に形成された凹凸の状態が反映された投影像を該スクリーンに映す投影ステップと、
該スクリーンの該投影像を撮像して撮像画像を形成する撮像ステップと、
該撮像画像に基づいて該チャックテーブルの保持面の凹凸の状態を把握して該チャックテーブルの保持面の良否を判定する判定ステップと、
を備えることを特徴とするチャックテーブルの検査方法。
続きを表示（約 130 文字）【請求項２】
該板状物は、厚みが２００μｍ以下のシリコンウェーハである請求項１に記載のチャックテーブルの検査方法。
【請求項３】
該板状物は、一方の面に金属膜を有する樹脂で構成されたシートである請求項１に記載のチャックテーブルの検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャックテーブルの検査方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
シリコン、ＳｉＣ、又は、サファイア等の材料から成る各種平板状の被加工物を研削砥石で研削する加工や、研磨パッドで研磨する加工が知られている。該研削砥石は、ダイヤモンド等の砥粒か樹脂や金属等の結合材により固められて形成されている。また、不織布やウレタンパッドで構成される該研磨パッドは、遊離砥粒とともに用いられて被加工物の被研磨面を研磨する。
【０００３】
研削や研磨により被加工物に研削痕が形成されると、後の工程で個々のデバイスに形成された際にデバイスチップの抗折強度の低下を引き起こしてしまう。そこで、加工後の被加工物の加工面に形成された研削痕（スクラッチ）等の凹凸の状態を検査可能な加工装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１８－１４０４６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、加工により凹凸が形成されるのは被加工物に限ったことではなく、被加工物を保持するチャックテーブルの保持面も同様である。例えば、チャックテーブルの保持面の径より小さい径の該被加工物を保持して加工する場合、被加工物の外周と該チャックテーブルの保持面の外周との間は露出した状態となり、研削中に研削砥石から脱落した砥粒や、研磨中に加工点に流れる遊離砥粒が露出した面に接触することでチャックテーブルの保持面にも凹凸が形成される。
【０００６】
凹凸が形成された保持面で被加工物を加工すると、チャックテーブルの保持面に形成された凹凸部分での保持力が低下したり、チャックテーブルの保持面に形成された凹凸が被加工物に転写され、加工品質が悪化するという問題がある。よって、チャックテーブルの保持面の良否を簡易的に検査する方法が求められていた。
【０００７】
本発明の目的は、チャックテーブルの保持面の良否を簡易的に検査することを可能とするチャックテーブルの検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のチャックテーブルの検査方法は、被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を研削砥石または研磨パッドで加工する加工ユニットと、被照射物に光を照射する光源と、該被照射物で反射された該光が照射されることで該被照射物の投影像を映すスクリーンと、該スクリーンに映される投影像を撮像して撮像画像を形成する撮像ユニットと、を備える加工装置を用いて該チャックテーブルの保持面に形成された凹凸の状態を検査するチャックテーブルの検査方法であって、該チャックテーブルの保持面に形成された凹凸に倣う追従性と、該光を反射する反射性を有する板状物を該チャックテーブルの保持面で保持する保持ステップと、該チャックテーブルに保持された該板状物の上面に該光源より該光を照射する光照射ステップと、該光照射ステップにより該上面で反射された該光が該スクリーンに到達することで該チャックテーブルの保持面に形成された凹凸の状態が反映された投影像を該スクリーンに映す投影ステップと、該スクリーンの該投影像を撮像して撮像画像を形成する撮像ステップと、該撮像画像に基づいて該チャックテーブルの保持面の凹凸の状態を把握して該チャックテーブルの保持面の良否を判定する判定ステップと、を備えることを特徴とする。
【０００９】
前記チャックテーブルの検査方法において、該板状物は、厚みが２００μｍ以下のシリコンウェーハでも良い。
【００１０】
前記チャックテーブルの検査方法において、該板状物は、一方の面に金属膜を有する樹脂で構成されたシートでも良い。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許