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公開番号2024078574
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-11
出願番号2022191011
出願日2022-11-30
発明の名称樹脂部材及び分割装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/301 20060101AFI20240604BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】被加工物を支持する変色しにくい樹脂部材を提供する。
【解決手段】被加工物を支持する樹脂部材であって、ポリエーテルポリオールと脂肪族イソシアネートとの反応に由来するウレタン結合を有する。なお、好ましくは、樹脂部材の波長550nmの光に対する透過率は、74.8%以上である。また、好ましくは、樹脂部材のショアA硬度は、50以上90以下である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を支持する樹脂部材であって、
ポリエーテルポリオールと脂肪族イソシアネートとの反応に由来するウレタン結合を有することを特徴とする樹脂部材。
続きを表示（約 630 文字）【請求項２】
波長５５０ｎｍの光に対する透過率が７４．８％以上であることを特徴とする、請求項１に記載の樹脂部材。
【請求項３】
ショアＡ硬度が５０以上９０以下であることを特徴とする、請求項２に記載の樹脂部材。
【請求項４】
該脂肪族イソシアネートは、ヘキサメチレンジイソシアネートであることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれかに記載の樹脂部材。
【請求項５】
分割起点がストリートに沿って形成された被加工物を該ストリートに沿って分割する分割装置であって、
該被加工物を支持する樹脂部材と、
該樹脂部材によって支持された該被加工物を押圧する押圧部材と、
該樹脂部材を介して該被加工物を撮像する撮像ユニットと、を備え、
該樹脂部材は、ポリエーテルポリオールと脂肪族イソシアネートとの反応に由来するウレタン結合を有することを特徴とする分割装置。
【請求項６】
該樹脂部材の波長５５０ｎｍの光に対する透過率は、７４．８％以上であることを特徴とする、請求項５に記載の分割装置。
【請求項７】
該樹脂部材のショアＡ硬度は、５０以上９０以下であることを特徴とする、請求項６に記載の分割装置。
【請求項８】
該脂肪族イソシアネートは、ヘキサメチレンジイソシアネートであることを特徴とする、請求項５乃至７のいずれかに記載の分割装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を支持する樹脂部材、及び、被加工物を分割する分割装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
デバイスチップの製造プロセスでは、互いに交差する複数のストリート（分割予定ライン）によって区画された複数の領域にそれぞれデバイスが形成されたウェーハが用いられる。このウェーハをストリートに沿って分割することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが得られる。デバイスチップは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に組み込まれる。
【０００３】
ウェーハの分割には、環状の切削ブレードでウェーハを切削する切削装置が用いられる。また、近年では、レーザー加工によってウェーハを分割するプロセスの開発も進められている。例えば、ウェーハに対して透過性を有するレーザービームをウェーハの内部で集光させつつ、レーザービームをストリートに沿って走査することにより、ウェーハの内部に改質層がストリートに沿って形成される。
【０００４】
ウェーハの改質層が形成された領域は、他の領域よりも脆くなる。そのため、改質層が形成されたウェーハに外力を付与すると、改質層が分割起点として機能し、ウェーハがストリートに沿って分割される（特許文献１参照）。例えば、ウェーハを所定の支持部材で支持し、ウェーハにブレード、ローラ等の押圧部材を押し当てることにより、ウェーハに外力が付与される（特許文献２、３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００４－１７９３０２号公報
特開２０１０－１３５４８４号公報
特開２０１６－１５４１７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
分割起点が形成された被加工物を分割する際には、被加工物への外力の付与とともに、被加工物が適切に分割されているか否かの確認が行われることがある。具体的には、被加工物が透明な支持部材によって支持された状態で、押圧部材を被加工物の上面側に押し付けつつ、支持部材を介して被加工物の下面側を撮像して観察する。これにより、被加工物が外力の付与によって適切に分割されているか否かを監視できる。
【０００７】
なお、押圧部材が被加工物に押し当てられると、被加工物が支持部材に押し付けられる。このとき、支持部材が硬質な部材であると、被加工物の変形が妨げられて分割が生じにくくなったり、被加工物に過度な圧力がかかり被加工物が損傷したりするおそれがある。そこで、被加工物を支持する支持部材としては、柔軟な樹脂でなる樹脂部材が用いられることが多い。樹脂部材で被加工物を支持すると、被加工物に押圧部材が押し当てられた際に樹脂部材が変形するため、被加工物の変形及び分割が促進されるとともに、被加工物に付与される圧力が緩和される。
【０００８】
しかしながら、樹脂部材は時間の経過によって徐々に変色しやすい。樹脂部材が変色すると、樹脂部材の透明度が下がり、可視光に対する透過率が低下する。その結果、樹脂部材を介して被加工物を撮像することによって取得される画像が不鮮明になり、被加工物が適切に分割されているか否かを確認しにくくなる。
【０００９】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、被加工物を支持する変色しにくい樹脂部材、及び、該樹脂部材で被加工物を支持して被加工物を分割する分割装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様によれば、被加工物を支持する樹脂部材であって、ポリエーテルポリオールと脂肪族イソシアネートとの反応に由来するウレタン結合を有する樹脂部材が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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