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公開番号2024080392
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-13
出願番号2022193541
出願日2022-12-02
発明の名称被加工物の研削方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 41/06 20120101AFI20240606BHJP(研削;研磨)
要約【課題】研削後に被加工物が反ることを抑制することができる被加工物の研削方法を提供すること。
【解決手段】被加工物の研削方法は、被加工物の表面側に保護シートを貼着する貼着ステップ101と、被加工物の表面と反対の裏面を第1チャックテーブルで保持した状態で保護シートに溝を形成する溝形成ステップ102と、被加工物の保護シート側を第2チャックテーブルで保持し、被加工物の裏面を研削し被加工物を仕上げ厚さに研削する研削ステップ103と、を備え、溝形成ステップ102は、保護シートの内部応力によって研削後の被加工物に発生する反り方向と交差する方向に溝を形成し、内部応力を開放する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
板状の被加工物を研削する研削方法であって、
該被加工物の一面側に保護シートを貼着する貼着ステップと、
該被加工物の該一面と反対の面を第１チャックテーブルで保持した状態で該保護シートに溝を形成する溝形成ステップと、
該被加工物の保護シート側を第２チャックテーブルで保持し、該被加工物の該反対の面を研削し該被加工物を所定の厚さに研削する研削ステップと、を備え、
該溝形成ステップは、
該保護シートの応力によって研削後の該被加工物に発生する反り方向と交差する方向に溝を形成し、応力を開放することを特徴とする被加工物の研削方法。
続きを表示（約 170 文字）【請求項２】
該溝形成ステップは、複数の溝を形成するとともに、
該被加工物の中心部から外周部に向けて溝本数を増加させることを特徴とする請求項１に記載の被加工物の研削方法。
【請求項３】
該溝形成ステップは、
複数の溝が交差するように形成されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の被加工物の研削方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の研削方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば半導体デバイスの製造プロセスでは、半導体ウェーハの表面にＩＣ（Integrated Circuit）やＬＳＩ（Large Scale Integration）等の回路素子を複数形成した後、ウェーハ裏面を研削装置で研削して所定の厚さへと薄化し、薄化したウェーハを切削装置で切削することで個々の半導体デバイスを製造している。研削装置では、ウェーハのデバイス面に保護テープを貼着し研削を実施している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１４－１２４６９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１等に記載された保護テープは、製造工程の都合上、ロールの流れ方向(ＭＤ方向)と流れ方向と直交する方向(ＴＤ方向)によって内部応力が異なる。
【０００５】
研削前のウェーハなどの被加工物は厚さが厚いことにより剛性が高いため、反ることはない。しかしながら、研削後に薄化した被加工物は、剛性が低下したため保護テープの方向によって異なる内部応力によって反りが発生する。被加工物に反りが発生することによって、割れが発生したり、後行程に不具合が発生する。
【０００６】
本発明の発明は、研削後に被加工物が反ることを抑制することができる被加工物の研削方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の被加工物の研削方法は、板状の被加工物を研削する研削方法であって、該被加工物の一面側に保護シートを貼着する貼着ステップと、該被加工物の該一面と反対の面を第１チャックテーブルで保持した状態で該保護シートに溝を形成する溝形成ステップと、該被加工物の保護シート側を第２チャックテーブルで保持し、該被加工物の該反対の面を研削し該被加工物を所定の厚さに研削する研削ステップと、を備え、該溝形成ステップは、該保護シートの応力によって研削後の該被加工物に発生する反り方向と交差する方向に溝を形成し、応力を開放することを特徴とする。
【０００８】
前記被加工物の研削方法では、該溝形成ステップは、複数の溝を形成するとともに、該被加工物の中心部から外周部に向けて溝本数を増加させても良い。
【０００９】
前記被加工物の研削方法では、該溝形成ステップは、複数の溝が交差するように形成されても良い。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、研削後に被加工物が反ることを抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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