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公開番号2024067347
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-17
出願番号2022177349
出願日2022-11-04
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B24B 55/06 20060101AFI20240510BHJP(研削;研磨)
要約【課題】加工屑が加工室内において飛散する加工装置において、加工屑を加工室内に付着させないようにする。
【解決手段】保持面14でウェーハWを保持するチャックテーブル10と、加工具35を先端に装着したスピンドル31を回転させ保持面14に保持されたウェーハWを加工する加工機構30と、チャックテーブル10と加工具35とを収容する加工室80と、を備える加工装置に、加工機構30は、スピンドル31を回転可能に支持するケーシング32と、ケーシング32に配置されスピンドル31の軸方向に直交する方向にスピンドル31から遠ざかるように放射状に水を噴射して加工具35の上方に水膜64を形成する水膜形成ノズル62と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
保持面でウェーハを保持するチャックテーブルと、加工具を先端に装着したスピンドルを回転させ該保持面に保持されたウェーハを加工する加工機構と、該チャックテーブルと該加工具とを収容する加工室と、を備える加工装置であって、
該加工機構は、該スピンドルを回転可能に支持するケーシングと、該ケーシングの下端に該スピンドルの外側面を覆い筒状に配置される筒カバーと、該筒カバーにリング状に配置され該スピンドルの軸方向に直交する方向に該スピンドルから遠ざかるように放射状に水を噴射して該加工具の上方に水膜を形成する水膜形成ノズルと、を備える加工装置。
続きを表示（約 100 文字）【請求項２】
該加工具が該保持面に保持されたウェーハを加工する際に、該水膜形成ノズルによって、該チャックテーブルの該保持面と該加工室の天板の下面との間で水膜を形成する請求項１記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャックテーブルの保持されたウェーハを加工する加工装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
チャックテーブルの保持面に保持されたウェーハを研削する研削装置においては、加工室内において、回転する砥石をウェーハに接触させ、研削箇所に研削水を供給しながら研削を行うため、加工屑を含む研削廃液が加工室内に飛散し、加工屑が加工室の天板及び側板に付着する（例えば、特許文献１、２参照）。そして、研削終了後は、研削廃液が乾燥することによって、天板及び側板に付着した加工屑が固着する。
【０００３】
こうして天板及び側板に固着した加工屑は、加工中のウェーハの上面に落下することがある。そして、落下した加工屑が砥石とウェーハとの間に挟まり、回転する砥石が加工屑を引きずることによってウェーハに傷をつけることがある。
【０００４】
そこで、例えば特許文献１、２には、研削水を加工室内において飛散させることにより、加工室内に付着した加工屑を洗い流す技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１５－３６１６２号公報
特開２０１５－１９９１４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、ウェーハの研削後に研削水を飛散させて洗浄を行うため、研削とは別の時間を要し、生産性が低下するという問題がある。
したがって、加工屑を含む加工屑が加工室内において飛散する加工装置においては、時間をかけずに加工屑を加工室内に付着させないようにするという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、保持面でウェーハを保持するチャックテーブルと、加工具を先端に装着したスピンドルを回転させ該保持面に保持されたウェーハを加工する加工機構と、該チャックテーブルと該加工具とを収容する加工室と、を備える加工装置であって、該加工機構は、該スピンドルを回転可能に支持するケーシングと、該ケーシングの下端に該スピンドルの外側面を覆い筒状に配置される筒カバーと、該筒カバーにリング状に配置され該スピンドルの軸方向に直交する方向に該スピンドルから遠ざかるように放射状に水を噴射して該加工具の上方に水膜を形成する水膜形成ノズルと、を備える。
この加工装置は、該加工具が該保持面に保持されたウェーハを加工する際に、該水膜形成ノズルによって、該チャックテーブルの該保持面と該加工室の天板の下面との間で水膜を形成する。
【発明の効果】
【０００８】
本加工装置は、水膜形成ノズルがスピンドルの軸方向に直交する方向にスピンドルから遠ざかるように放射状に水を噴射して加工具の上方に水膜を形成することにより、加工具による加工によって発生した加工屑が水膜よりも上方に飛散するのを阻止することができる。したがって、加工室の内側の面に加工屑が付着し、その加工屑がウェーハに落下してウェーハに傷を付けるのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
加工装置の一種である研削装置の例を示す斜視図である。
同研削装置においてウェーハの上面を研削する状態を略示敵に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１に示す研削装置１は、加工装置の一例であり、ウェーハＷを保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０を水平方向に移動させる水平送り機構２０と、チャックテーブル１０に保持されたウェーハＷの上面Ｗ１を研削加工する加工機構３０と、加工機構３０をチャックテーブル１０に保持されたウェーハＷの面に対して垂直な方向に移動させる垂直送り機構７０と、を備えている。
（【００１１】以降は省略されています）

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