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公開番号2024080256
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-13
出願番号2022193298
出願日2022-12-02
発明の名称エキスパンド方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/301 20060101AFI20240606BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】加温されたエキスパンドシートを保持テーブルから容易に剥離できるエキスパンド方法を提供すること。
【解決手段】エキスパンド方法は、ウエーハ100に貼着されたエキスパンドシート120に加温された保持面27を有する保持テーブル21を接触させ、エキスパンドシート120を軟化させる加温ステップと、加温ステップの後に、保持面27の外周領域27-2でエキスパンドシート120を吸引保持した状態で、外周領域27-2に囲繞される中央領域27-1から流体を供給してエキスパンドシート120を保持面27から凸形状に膨らませ、中央領域27-1を保持面27から剥離する剥離ステップと、剥離ステップの後に、エキスパンドシート120を拡張することで、分割起点または分割溝に沿って複数のチップ同士の間隔を広げる拡張ステップと、を備える事を特徴とする。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
複数のチップに分割するための分割起点または分割溝が形成されたウエーハを、該ウエーハに貼着されたエキスパンドシートを拡張することで、該分割起点または該分割溝に沿って複数のチップ同士の間隔を広げるエキスパンド方法であって、
該エキスパンドシートに加温された保持面を有する保持テーブルを接触させ、該エキスパンドシートを軟化させる加温ステップと、
該加温ステップの後に、該保持面の外周領域で該エキスパンドシートを吸引保持した状態で、該外周領域に囲繞される中央領域から流体を供給して該エキスパンドシートを保持面から凸形状に膨らませ、該中央領域を該保持面から剥離する剥離ステップと、
該剥離ステップの後に、該エキスパンドシートを拡張する拡張ステップと、
を備える事を特徴とするエキスパンド方法。
続きを表示（約 640 文字）【請求項２】
複数のチップに分割するための分割起点または分割溝が形成されたウエーハを、該ウエーハに貼着されたエキスパンドシートを拡張することで、該分割起点または該分割溝に沿って複数のチップ同士の間隔を広げるエキスパンド方法であって、
該エキスパンドシートに加温された保持面を有する保持テーブルを接触させ、該エキスパンドシートを軟化させる加温ステップと、
該加温ステップの後に、該保持面の外方に露出する該エキスパンドシートを該保持面に対して押しつけられる方向に相対的に移動させ、該保持面の少なくとも外縁に該エキスパンドシートを密着させた状態で、該保持面から流体を供給して該エキスパンドシートを凸形状に膨らませ、該保持面から剥離する剥離ステップと、
該剥離ステップの後に、該エキスパンドシートを拡張する拡張ステップと、
を備える事を特徴とするエキスパンド方法。
【請求項３】
ウエーハは、環状フレームの開口に該エキスパンドシートを介して支持されており、
該剥離ステップにおいて、該環状フレームを該保持面に対して相対的に移動させることを特徴とする請求項２に記載のエキスパンド方法。
【請求項４】
該拡張ステップの後に、該保持テーブルから該ウエーハを搬出する搬出ステップをさらに備え、
該拡張ステップの後、かつ該搬出ステップの前に、該剥離ステップを実施する事を特徴とする請求項１に記載のエキスパンド方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキスパンド方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
分割起点または分割溝が形成されたウエーハに対して、ウエーハに貼着されたエキスパンドシートを拡張することで、複数のチップに分割する、または、既に分割されている場合はチップ同士の間隔を広げるエキスパンド方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１０－２６３１６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の方法では、チップの間隔を十分に広げるために、加温された保持面を有する保持テーブルをエキスパンドシートに接触させて軟化させた後、エキスパンドシートを拡張する手法がとられている。しかしながら、この特許文献１の方法では、加温することにより軟化したエキスパンドシートが保持テーブルの保持面に密着してしまい、保持面から剥離することが困難になるという問題があった。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、加温されたエキスパンドシートを保持テーブルから容易に剥離できるエキスパンド方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のエキスパンド方法は、複数のチップに分割するための分割起点または分割溝が形成されたウエーハを、該ウエーハに貼着されたエキスパンドシートを拡張することで、該分割起点または該分割溝に沿って複数のチップ同士の間隔を広げるエキスパンド方法であって、該エキスパンドシートに加温された保持面を有する保持テーブルを接触させ、該エキスパンドシートを軟化させる加温ステップと、該加温ステップの後に、該保持面の外周領域で該エキスパンドシートを吸引保持した状態で、該外周領域に囲繞される中央領域から流体を供給して該エキスパンドシートを保持面から凸形状に膨らませ、該中央領域を該保持面から剥離する剥離ステップと、該剥離ステップの後に、該エキスパンドシートを拡張する拡張ステップと、を備える事を特徴とする。
【０００７】
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のエキスパンド方法は、複数のチップに分割するための分割起点または分割溝が形成されたウエーハを、該ウエーハに貼着されたエキスパンドシートを拡張することで、該分割起点または該分割溝に沿って複数のチップ同士の間隔を広げるエキスパンド方法であって、該エキスパンドシートに加温された保持面を有する保持テーブルを接触させ、該エキスパンドシートを軟化させる加温ステップと、該加温ステップの後に、該保持面の外方に露出する該エキスパンドシートを該保持面に対して押しつけられる方向に相対的に移動させ、該保持面の少なくとも外縁に該エキスパンドシートを密着させた状態で、該保持面から流体を供給して該エキスパンドシートを凸形状に膨らませ、該保持面から剥離する剥離ステップと、該剥離ステップの後に、該エキスパンドシートを拡張する拡張ステップと、を備える事を特徴とする。
【０００８】
ウエーハは、環状フレームの開口に該エキスパンドシートを介して支持されており、該剥離ステップにおいて、該環状フレームを該保持面に対して相対的に移動させてもよい。
【０００９】
該拡張ステップの後に、該保持テーブルから該ウエーハを搬出する搬出ステップをさらに備え、該拡張ステップの後、かつ該搬出ステップの前に、該剥離ステップを実施してもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、保持テーブルの保持面上でエキスパンドシートを加温した後すぐに、エキスパンドシートを保持面から凸形状に膨らませ、エキスパンドシートの中央領域を保持面から剥離するので、加温されたエキスパンドシートを保持テーブルから容易に剥離できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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