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公開番号2024079914
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-13
出願番号2022192602
出願日2022-12-01
発明の名称樹脂シート
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類C09J 7/38 20180101AFI20240606BHJP(染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用)
要約【課題】剥離可能な程度に熱圧着フィルムと保護フィルムとの貼り付きを確保すると共に、熱圧着フィルム又は保護フィルムから被加工物への粘着剤の転写を防止する。
【解決手段】被加工物に熱圧着される熱圧着フィルムを有する樹脂シートであって、被加工物に熱圧着される一面を有する樹脂製の熱圧着フィルムと、一面に対面する内面を有し、熱圧着フィルムに対して剥離可能な態様で貼り付けられており、一面を保護する樹脂製の保護フィルムと、を備え、一面と内面の少なくとも一方には、熱圧着フィルムと保護フィルムとを貼り付ける貼付部が設けられており、平面視において、貼付部は、被加工物に熱圧着されることが予定されている一面の所定領域とは重ならない領域に配置されている樹脂シートを提供する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物に熱圧着される熱圧着フィルムを有する樹脂シートであって、
該被加工物に熱圧着される一面を有する樹脂製の該熱圧着フィルムと、
該一面に対面する内面を有し、該熱圧着フィルムに対して剥離可能な態様で貼り付けられており、該一面を保護する樹脂製の保護フィルムと、
を備え、
該一面と該内面の少なくとも一方には、該熱圧着フィルムと該保護フィルムとを貼り付ける貼付部が設けられており、
平面視において、該貼付部は、該被加工物に熱圧着されることが予定されている該一面の所定領域とは重ならない領域に配置されていることを特徴とする樹脂シート。
続きを表示（約 380 文字）【請求項２】
長尺状であり、長尺方向に直交する幅方向の両端部に該貼付部が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の樹脂シート。
【請求項３】
長尺状であり、円柱状の巻心に対して多重に巻回された巻回体の態様であることを特徴とする請求項１に記載の樹脂シート。
【請求項４】
該貼付部は、粘着剤を有することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の樹脂シート。
【請求項５】
該貼付部は、該熱圧着フィルムと該保護フィルムとを静電気力によって貼り付ける帯電領域を有することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の樹脂シート。
【請求項６】
該貼付部は、該熱圧着フィルムと該保護フィルムとが熱圧着によって貼り付けられた領域を有することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の樹脂シート。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物に熱圧着される熱圧着フィルムを有する樹脂シートに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
粘着剤等で形成された粘着層を有さずポリオレフィン製の基材層を有する熱圧着フィルムの一面を、半導体ウェーハ等の被加工物の一面に熱圧着により貼り付けることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この熱圧着フィルムを用いれば、熱圧着フィルムを剥離しても被加工物の一面に粘着剤が残留しないという利点がある。
【０００３】
ところで、熱圧着フィルムにおいて被加工物に貼り付けられる一面を清浄に保つために、熱圧着フィルムの一面に接する態様で保護フィルムを設けることが考えられる。しかし、熱圧着フィルムは、加熱により柔軟になることで被加工物に対する粘着性が発現するので、常温（例えば、５℃以上３５℃以下の所定温度）では、粘着性が略無い。それゆえ、熱圧着フィルムに保護フィルムを貼り付けることが難しい。
【０００４】
そこで、例えば、保護フィルムの一面全体に粘着剤等で形成された粘着層を設けることで、熱圧着フィルムに保護フィルムを貼り付けることが考えられる。しかし、保護フィルムを熱圧着フィルムから剥離する際に保護フィルムの粘着剤が熱圧着フィルムに転写すると、熱圧着フィルムを被加工物に貼り付けた後に剥離するとき、粘着剤が、熱圧着フィルムから被加工物に転写するという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１８－１９５８０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、熱圧着により被加工物に貼り付けられる熱圧着フィルムの一面を保護フィルムで保護する場合に、剥離可能な程度に熱圧着フィルムと保護フィルムとの貼り付きを確保すると共に、熱圧着フィルム又は保護フィルムから被加工物への粘着剤の転写を防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、被加工物に熱圧着される熱圧着フィルムを有する樹脂シートであって、該被加工物に熱圧着される一面を有する樹脂製の該熱圧着フィルムと、該一面に対面する内面を有し、該熱圧着フィルムに対して剥離可能な態様で貼り付けられており、該一面を保護する樹脂製の保護フィルムと、を備え、該一面と該内面の少なくとも一方には、該熱圧着フィルムと該保護フィルムとを貼り付ける貼付部が設けられており、平面視において、該貼付部は、該被加工物に熱圧着されることが予定されている該一面の所定領域とは重ならない領域に配置されている樹脂シートが提供される。
【０００８】
好ましくは、樹脂シートは、長尺状であり、長尺方向に直交する幅方向の両端部に該貼付部が配置されている。
【０００９】
また、好ましくは、樹脂シートは、長尺状であり、円柱状の巻心に対して多重に巻回された巻回体の態様である。
【００１０】
また、好ましくは、該貼付部は、粘着剤を有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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