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公開番号2024080221
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-13
出願番号2022193231
出願日2022-12-02
発明の名称シート拡張装置、シートの拡張方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類H01L 21/301 20060101AFI20240606BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】シート屑の付着を低減できるシート拡張装置を提供すること。
【解決手段】シート拡張装置であって、フレーム(25)の中央に形成された円形開口(2201)にエキスパンドシート(23)を介してワーク(11)が支持されたフレームユニット(1)のシートを拡張する拡張ユニット(200)と、環状フレームの内縁とワークの外縁との間の領域に加熱された蒸気を供給し、拡張されたシートを収縮させる収縮ユニット(310)と、を備える構成とした。
【選択図】図5

特許請求の範囲【請求項１】
環状フレームの中央に形成された開口部にシートを介してワークが支持されたフレームユニットの該シートを拡張する拡張ユニットと、
該環状フレームの内縁と該ワークの外縁との間の領域に加熱された蒸気を供給し、拡張された該シートを収縮させる収縮ユニットと、
を備えることを特徴とするシート拡張装置。
続きを表示（約 900 文字）【請求項２】
該シート拡張装置は、
該拡張ユニットが設置される拡張領域と、
該拡張領域と区画され、該フレームユニットを保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された該フレームユニットに洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルと、を含む洗浄ユニットが設置される洗浄領域と、
を更に備え、
該収縮ユニットは、該洗浄領域に配置される
ことを特徴とする請求項１に記載のシート拡張装置。
【請求項３】
該ワークには、複数の分割起点が形成され、
該拡張ユニットによって該シートを拡張することで、
該分割起点にそって、該ワークを複数のチップに分割する
ことを特徴とする請求項１に記載のシート拡張装置。
【請求項４】
該ワークには、該ワークを複数のチップに分割する複数の分割溝が形成され、
該拡張ユニットによって該シートを拡張することで、
該チップの間隔を広げる
ことを特徴とする請求項１に記載のシート拡張装置。
【請求項５】
環状フレームの中央に形成された開口部に、シートを介してワークが支持されたフレームユニットの該シートを拡張する拡張ステップと、
該環状フレームの内縁と該ワークの外縁との間の領域に、加熱された蒸気を供給し、拡張された該シートを収縮させる収縮ステップと、を備える
ことを特徴とするシートの拡張方法。
【請求項６】
該収縮ステップの後に、
該フレームユニットに洗浄液を供給して洗浄する洗浄ステップをさらに備える
ことを特徴とする請求項５に記載のシートの拡張方法。
【請求項７】
該拡張ステップの後、かつ、該洗浄ステップの前に、
該拡張ステップが実施される拡張領域から、該洗浄ステップを実施する洗浄領域に、該フレームユニットを搬送する搬送ステップをさらに有し、
該収縮ステップは、該洗浄領域で実施する
ことを特徴とする請求項６に記載のシートの拡張方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート拡張装置、シートの拡張方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体デバイス製造工程においては、略円板状のワーク（ウェーハ）の表面に分割予定ラインが格子状に形成され、分割予定ラインによって区画された各領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成されている。このようなワークの裏面には、ダイアタッチフィルム（ＤＡＦ）と呼ばれるダイボンディング用の接着フィルムが貼着されている。接着フィルムは、ポリイミド系樹脂、エポキシ樹脂、アクリル系樹脂等で厚さ５－１５０μｍに形成されており、ワークと共に分割予定ラインに沿ってデバイス毎に分割される。例えば、エキスパンドシートを拡張する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００９－２７２５０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、シートを拡張した後にフレームとワークとの間の領域を加熱し収縮させるが、シートを加熱した際に気化したシート屑がフレームユニットに付着してしまう問題があった。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、シート屑の付着を低減できるシート拡張装置を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様のシート拡張装置は、環状フレームの中央に形成された開口部にシートを介してワークが支持されたフレームユニットの該シートを拡張する拡張ユニットと、該環状フレームの内縁と該ワークの外縁との間の領域に加熱された蒸気を供給し、拡張された該シートを収縮させる収縮ユニットと、を備えることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、蒸気加熱により湿った状態で加熱することができるため、気化したシートの屑の固着を抑止することができる。また、洗浄領域に収縮ユニットを備えるため、収縮後に搬送する時間を要さず洗浄ステップを実施し、付着したシート屑をより固着しにくくすることができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、シート屑の付着を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本実施の形態の拡張方法によって分割される被加工物を含むフレームユニットを模式的に示す斜視図である。
本実施の形態の拡張方法を実施するための拡張ユニットの一例を示す図である。
本実施の形態の拡張方法を実施するための拡張ユニットの一例を示す図である。
本実施の形態の拡張方法を実施するための拡張ユニットの一例を示す図である。
本実施の形態の拡張方法を実施するための拡張ユニットの一例を示す図である。
フレーム押さえ部に配置された拡張領域と、洗浄領域と、の関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態の拡張方法について説明する。図１は、本実施の形態の拡張方法によって分割される被加工物を含むフレームユニットを模式的に示す斜視図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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