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公開番号2024080353
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-13
出願番号2022193479
出願日2022-12-02
発明の名称チップ間隔形成方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/301 20060101AFI20240606BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】チップ間隔を良好に維持できるチップ間隔形成方法を提供する事。
【解決手段】エキスパンドシート210に支持されている被加工物201を構成する複数のチップ202間に所定の間隔を形成するチップ間隔形成方法は、エキスパンドシート210を拡張してチップ202間に所定の間隔を形成し、保持テーブル30の保持面31でエキスパンドシート210のチップ202に対応する領域を吸引保持してチップ202の間隔を維持した後で、保持面31でチップ202を吸引保持した状態でエキスパンドシート210の拡張を解除する前に、被加工物201の外形より大きい開口を有する環状部材60で被加工物201の外周に露出したエキスパンドシート210を保持面31に押しつけ、環状部材60より内側のエキスパンドシート210の移動を規制する押しつけステップを備える。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
エキスパンドシートに支持されている被加工物を構成する複数のチップ間に所定の間隔を形成するチップ間隔形成方法であって、
該エキスパンドシートを拡張して、該チップ間に所定の間隔を形成するチップ間隔形成ステップと、
該チップ間隔形成ステップを実施した後、該エキスパンドシートの被加工物と反対側に設置された保持テーブルの保持面で該エキスパンドシートの該チップに対応する領域を吸引保持し、該チップの間隔を維持する吸引保持ステップと、
該保持面で該チップを吸引保持した状態で、該エキスパンドシートの拡張を解除する拡張解除ステップと、
該拡張解除ステップによって弛緩した被加工物の外周の該エキスパンドシートを加熱し収縮させる収縮ステップと、
該拡張解除ステップの前に、被加工物の外形より大きい開口を有する環状部材で被加工物の外周に露出した該エキスパンドシートを該保持面に押しつけ、該環状部材より内側の該エキスパンドシートの移動を規制する押しつけステップと、
を備える事を特徴とするチップ間隔形成方法。
続きを表示（約 250 文字）【請求項２】
該環状部材が、該保持面に着座しているかを検知する検知ステップをさらに備える事を特徴とする請求項１に記載のチップ間隔形成方法。
【請求項３】
該環状部材は、被加工物と対向する対向面と連結し、該環状部材と該対向面とで形成される空間に被加工物を収容するカバーを形成する事を特徴とする請求項１に記載のチップ間隔形成方法。
【請求項４】
該収縮ステップにおいて、該カバーで被加工物を覆って収容することを特徴とする請求項３に記載のチップ間隔形成方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップ間隔を形成するチップ間隔形成方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
複数のチップで構成された被加工物をエキスパンドシートに貼着し、エキスパンドシートを拡張する事で、チップ間の間隔を広げる技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－０３４３９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
先行文献１に示すエキスパンド装置において、エキスパンドシートの拡張後は、エキスパンドシートの弛緩した領域を加熱してチップの間隔を維持する。しかしエキスパンドシートの拡張を解除すると、保持面からエキスパンドシートが剥がれてしまいバキュームリークが発生し、チップ間隔を正常に維持出来ないという問題があった。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、チップ間隔を良好に維持できるチップ間隔形成方法を提供する事である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のチップ間隔形成方法は、エキスパンドシートに支持されている被加工物を構成する複数のチップ間に所定の間隔を形成するチップ間隔形成方法であって、該エキスパンドシートを拡張して、該チップ間に所定の間隔を形成するチップ間隔形成ステップと、該チップ間隔形成ステップを実施した後、該エキスパンドシートの被加工物と反対側に設置された保持テーブルの保持面で該エキスパンドシートの該チップに対応する領域を吸引保持し、該チップの間隔を維持する吸引保持ステップと、該保持面で該チップを吸引保持した状態で、該エキスパンドシートの拡張を解除する拡張解除ステップと、該拡張解除ステップによって弛緩した被加工物の外周の該エキスパンドシートを加熱し収縮させる収縮ステップと、該拡張解除ステップの前に、被加工物の外形より大きい開口を有する環状部材で被加工物の外周に露出した該エキスパンドシートを該保持面に押しつけ、該環状部材より内側の該エキスパンドシートの移動を規制する押しつけステップと、を備える事を特徴とする。
【０００７】
該環状部材が、該保持面に着座しているかを検知する検知ステップをさらに備えてもよい。
【０００８】
該環状部材は、被加工物と対向する対向面と連結し、該環状部材と該対向面とで形成される空間に被加工物を収容するカバーを形成してもよい。
【０００９】
該収縮ステップにおいて、該カバーで被加工物を覆って収容してもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、環状部材でエキスパンドシートを保持面に押し付けた状態で、エキスパンドシートの拡張を解除するため、エキスパンドシートが保持面から剥離してチップ間の間隔が維持できない恐れを低減でき、チップ間の間隔を良好に維持できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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