特許ウォッチ

公開番号2024080220
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-13
出願番号2022193230
出願日2022-12-02
発明の名称ロールテープ、及び、ロールテープの処理方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類B65H 75/00 20060101AFI20240606BHJP(運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い)
要約【課題】ロールテープから引き出されてウェーハに貼り付けられる際に、加工装置内及びウェーハ上を汚すことを防止する。
【解決手段】ロールテープ(RT)は、ウェーハの直径以上の幅のシート(11)の一方の面に紫外線硬化型糊(12)が塗布された帯状テープ(10)を巻き付けた円柱状のロールテープである。ロールテープ(RT)では、その両底面に紫外線を照射させることでウェーハに貼着する貼着エリア(13)の外の両底面側の紫外線硬化型糊(12)が硬化している。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハの直径以上の幅のシートの一方の面に紫外線硬化型糊が塗布された帯状テープを巻き付けた円柱状のロールテープであって、
両底面に紫外線を照射させウェーハに貼着する貼着エリアの外の両底面側の該紫外線硬化型糊を硬化させた、ロールテープ。
続きを表示（約 160 文字）【請求項２】
ウェーハの直径以上の幅のシートの一方の面に紫外線硬化型糊が塗布された帯状テープを巻き付けた円柱状のロールテープの両底面を処理するロールテープの処理方法であって、
両底面に紫外線を照射させウェーハに貼着する貼着エリアの外の両底面側の該紫外線硬化型糊を硬化させる、ロールテープの処理方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロールテープ、及び、ロールテープの処理方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体の製造では、ダイシング工程で使用されるダイシングテープや、裏面研削工程で使用されるバックグラインドテープなど、様々なテープがウェーハに貼り付けられる（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３など）。これらのテープには、紫外線硬化型糊が用いられているため、その糊に紫外線を照射して粘着力を低下させることで、ウェーハからテープを剥離可能である。
【０００３】
また、これらのテープは、糊が塗布された粘着面が離型フィルムで覆われた状態で、ロール状に巻かれて装置に収容されていて、外周から適宜引き出して離型フィルムを剥がして使用される。このように離型フィルムによって糊の粘着面を覆っているため、粘着面へのゴミの付着が抑えられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－０４８２８７号公報
特開２０２１－０５９４４６号公報
特開２０２２－０１９３９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、離型フィルムで覆われた状態であってもテープの幅方向の端部において糊は露出している。このため、円柱形状のロールテープの両底面にゴミが付着することがある。ウェーハなどに貼着するために、ロールテープから引き出された際に、この底面に付着したゴミが、テープの幅方向の端部に露出した糊に付着して、加工装置内を移動して、加工装置内及びウェーハ上を汚してしまう虞がある。
【０００６】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、ロールテープから引き出されてウェーハに貼り付ける際に、加工装置内及びウェーハ上を汚すことがないロールテープ、及び、ロールテープの処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様のロールテープは、ウェーハの直径以上の幅のシートの一方の面に紫外線硬化型糊が塗布された帯状テープを巻き付けた円柱状のロールテープであって、両底面に紫外線を照射させウェーハに貼着する貼着エリアの外の両底面側の該紫外線硬化型糊を硬化させたことを特徴とする。
【０００８】
本発明の一態様のロールテープの処理方法は、ウェーハの直径以上の幅のシートの一方の面に紫外線硬化型糊が塗布された帯状テープを巻き付けた円柱状のロールテープの両底面を処理するロールテープの処理方法であって、両底面に紫外線を照射させウェーハに貼着する貼着エリアの外の両底面側の該紫外線硬化型糊を硬化させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のロールテープ、及び、ロールテープの処理方法によれば、ロールテープから引き出されてウェーハに貼り付ける際に、加工装置内及びウェーハ上を汚すことを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
ロール状に巻回されたテープセットの一例を示す斜視図である。
紫外線照射装置の構成の一例を説明する図である。
紫外線照射後の粘着層の状態を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許