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公開番号2024087252
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-01
出願番号2022201970
出願日2022-12-19
発明の名称加工装置及び登録方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/301 20060101AFI20240624BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】作業者を煩わせることなく、複数の分割予定ラインに対するキーパターンを登録する。
【解決手段】加工装置は、被加工物の表面を撮像し、他の領域と比較して特徴的な第一のキーパターンの画像を記憶し、第一のキーパターンから第一の分割予定ラインまでの距離を記憶することで第一の分割予定ラインを検出する第一の分割予定ライン検出条件を登録する第一登録部と、第一登録部によって第一の分割予定ライン検出条件を登録した後、被加工物を略90度回転させて被加工物の表面を撮像し、第二のキーパターンを特定して第二のキーパターンの画像を記憶し、第二のキーパターンから第二の分割予定ラインまでの距離を記憶することで第二の分割予定ラインを検出する第二の分割予定ライン検出条件を登録する第二登録部と、を有し、第二のキーパターンは、保持テーブルを略90度回転させる方向へ第一のキーパターンの画像を略90度回転させた画像を用いる。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
表面の互いに交差する分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物を回転可能に保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工ユニットと、該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える加工装置であって、
該被加工物の表面の該分割予定ラインは、第一の方向に伸びる第一の分割予定ラインと、該第一の分割予定ラインと表面で直交する第二の方向に伸びる第二の分割予定ラインと、を有し、
該制御ユニットは、
該撮像ユニットで該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を撮像し、他の領域と比較して特徴的な任意の領域を第一のキーパターンとして特定し該第一のキーパターンの画像を記憶し、該第一のキーパターンから該第一の方向に伸びる該第一の分割予定ラインまでの距離を記憶することで該第一の分割予定ラインを検出する第一の分割予定ライン検出条件を登録する第一登録部と、
該第一登録部によって該第一の分割予定ライン検出条件を登録した後、該被加工物を保持する該保持テーブルを略９０度回転させて該撮像ユニットにより該被加工物の表面を撮像し、第二のキーパターンを特定して該第二のキーパターンの画像を記憶し、該第二のキーパターンから該第二の方向に伸びる該第二の分割予定ラインまでの距離を記憶することで該第二の分割予定ラインを検出する第二の分割予定ライン検出条件を登録する第二登録部と、を有し、
該第二登録部の該第二のキーパターンは、該第二の分割予定ライン検出条件を登録する際に該保持テーブルを略９０度回転させる方向へ該第一のキーパターンの画像を略９０度回転させた画像を用いることを特徴とする加工装置。
続きを表示（約 850 文字）【請求項２】
表面の互いに交差する分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物を回転可能に保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工ユニットと、該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える加工装置を用いて、該被加工物のキーパターンを登録する登録方法であって、
該被加工物の表面の該分割予定ラインは、第一の方向に伸びる第一の分割予定ラインと、該第一の分割予定ラインと表面で直交する第二の方向に伸びる第二の分割予定ラインと、を有し、
該保持テーブルで該被加工物を保持する保持ステップと、
該保持ステップで保持された該被加工物の表面を該撮像ユニットで撮像して、他の領域と比較して特徴的な任意の領域を第一のキーパターンとして特定し該第一のキーパターンの画像を記憶し、該第一のキーパターンから該第一の方向に伸びる該第一の分割予定ラインまでの距離を記憶することで該第一の分割予定ラインを検出する第一の分割予定ライン検出条件を登録する第一登録ステップと、
該第一登録ステップによって該第一の分割予定ライン検出条件を登録した後、該被加工物を保持する該保持テーブルを略９０度回転させて位置付ける位置付けステップと、
該位置付けステップで位置付けられた該被加工物の表面を撮像し、第二のキーパターンを特定して該第二のキーパターンの画像を記憶し、該第二のキーパターンから該第二の方向に伸びる該第二の分割予定ラインまでの距離を記憶することで該第二の分割予定ラインを検出する第二の分割予定ライン検出条件を登録する第二登録ステップと、を有し、
該第二登録ステップの該第二のキーパターンは、該位置付けステップにて該保持テーブルを略９０度回転させる方向へ該第一のキーパターンの画像を略９０度回転させた画像を用いることを特徴とする登録方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置及び登録方法に関する。
続きを表示（約 2,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体被加工物等の被加工物をチップサイズに分割するために、被加工物の分割予定ラインに沿って加工を行う加工装置がある。例えば、特許文献１には、被加工物の位置合わせにおいて、第１の所定位置に対して９０度回転せしめられた第２の所定位置に対する位置合わせを遂行して精密位置合わせが適切に遂行されたか否かの確認を行う技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特公平３－２７０４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の加工装置は、第一の分割予定ラインと該第一の分割予定ラインとは異なる第二の分割予定ラインを加工する場合、それぞれの分割予定ラインに対してユニークなキーパターンを検出条件として登録する必要があり、検出条件を登録する作業者を煩わせていた。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、作業者を煩わせることなく、複数の分割予定ラインに対するキーパターンを登録することができる加工装置及び登録方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、表面の互いに交差する分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物を回転可能に保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工ユニットと、該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える加工装置であって、該被加工物の表面の該分割予定ラインは、第一の方向に伸びる第一の分割予定ラインと、該第一の分割予定ラインと表面で直交する第二の方向に伸びる第二の分割予定ラインと、を有し、該制御ユニットは、該撮像ユニットで該保持テーブルに保持された該被加工物の表面を撮像し、他の領域と比較して特徴的な任意の領域を第一のキーパターンとして特定し該第一のキーパターンの画像を記憶し、該第一のキーパターンから該第一の方向に伸びる該第一の分割予定ラインまでの距離を記憶することで該第一の分割予定ラインを検出する第一の分割予定ライン検出条件を登録する第一登録部と、該第一登録部によって該第一の分割予定ライン検出条件を登録した後、該被加工物を保持する該保持テーブルを略９０度回転させて該撮像ユニットにより該被加工物の表面を撮像し、第二のキーパターンを特定して該第二のキーパターンの画像を記憶し、該第二のキーパターンから該第二の方向に伸びる該第二の分割予定ラインまでの距離を記憶することで該第二の分割予定ラインを検出する第二の分割予定ライン検出条件を登録する第二登録部と、を有し、該第二登録部の該第二のキーパターンは、該第二の分割予定ライン検出条件を登録する際に該保持テーブルを略９０度回転させる方向へ該第一のキーパターンの画像を略９０度回転させた画像を用いることを特徴とする。
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の登録方法は、表面の互いに交差する分割予定ラインによって区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物を回転可能に保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物を該分割予定ラインに沿って加工する加工ユニットと、該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える加工装置を用いて、該被加工物のキーパターンを登録する登録方法であって、該被加工物の表面の該分割予定ラインは、第一の方向に伸びる第一の分割予定ラインと、該第一の分割予定ラインと表面で直交する第二の方向に伸びる第二の分割予定ラインと、を有し、該保持テーブルで該被加工物を保持する保持ステップと、該保持ステップで保持された該被加工物の表面を該撮像ユニットで撮像して、他の領域と比較して特徴的な任意の領域を第一のキーパターンとして特定し該第一のキーパターンの画像を記憶し、該第一のキーパターンから該第一の方向に伸びる該第一の分割予定ラインまでの距離を記憶することで該第一の分割予定ラインを検出する第一の分割予定ライン検出条件を登録する第一登録ステップと、該第一登録ステップによって該第一の分割予定ライン検出条件を登録した後、該被加工物を保持する該保持テーブルを略９０度回転させて位置付ける位置付けステップと、該位置付けステップで位置付けられた該被加工物の表面を撮像し、第二のキーパターンを特定して該第二のキーパターンの画像を記憶し、該第二のキーパターンから該第二の方向に伸びる該第二の分割予定ラインまでの距離を記憶することで該第二の分割予定ラインを検出する第二の分割予定ライン検出条件を登録する第二登録ステップと、を有し、該第二登録ステップの該第二のキーパターンは、該位置付けステップにて該保持テーブルを略９０度回転させる方向へ該第一のキーパターンの画像を略９０度回転させた画像を用いることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本願発明の加工装置及び登録方法は、作業者を煩わせることなく、複数のキーパターンを登録することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、実施形態に係る加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
図２は、実施形態に係る加工装置で加工される被加工物の構成例を示す平面図である。
図３は、実施形態に係る加工装置の機能構成の一例を模式的に示すブロック図である。
図４は、第一登録部の第一の分割予定ライン検出条件の一例を説明するための図である。
図５は、第二登録部の第二の分割予定ライン検出条件の一例を説明するための図である。
図６は、加工装置が実行するキーパターンの登録方法の処理手順の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明に係る実施形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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