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公開番号2024087414
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-01
出願番号2022202231
出願日2022-12-19
発明の名称光学部品
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類G02B 26/08 20060101AFI20240624BHJP(光学)
要約【課題】ミラーで反射する光の光軸を調整する際に、該駆動部の可動部分から微細な粉塵が飛散して、レーザー光線の光路が汚染される、という問題を回避できる加工装置を提供する。
【解決手段】ミラー741を備えた光軸を可変できる光学部品74であって、突出した端部にミラー741を支持するミラー支持部742と、ミラー支持部742の反対側に形成された基台743と、を備えたミラー本体740と、ミラー支持部742を露出する開口部744aを有し、ミラー本体740を収容する筐体744と、筐体744の底部745に配設され、基台743を揺動する駆動部746と、を含み、開口部744aとミラー本体740との隙間を埋めるベローズシール体747が配設される
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ミラーを備えた光軸を可変できる光学部品であって、
突出した端部にミラーを支持するミラー支持部と、該ミラー支持部の反対側に形成された基台と、を備えたミラー本体と、
該ミラー支持部を露出する開口部を有し、該ミラー本体を収容する筐体と、
該筐体の底部に配設され、該基台を揺動する駆動部と、
を含み、
該開口部と該ミラー本体との隙間を埋めるベローズシール体が配設される光学部品。
続きを表示（約 95 文字）【請求項２】
該駆動部は、該筐体の底部に形成された少なくとも３つの貫通口と、該貫通口を介して該基台に連結する連結部を備え、該筐体の外部に配設される請求項１に記載の光学部品。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミラーを備えた光軸を可変できる光学部品に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
レーザー加工装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハにレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段とを相対的に加工送りする加工送り手段と、を含み構成されている（例えば特許文献１を参照）。
【０００４】
また、レーザー光線照射手段は、レーザー光線を発振する発振器と、該発振器が発振したレーザー光線を該チャックテーブルに保持されたウエーハに集光する集光器と、該発振器と該集光器との間に配設されレーザー光線の光軸を調整するミラーを備えた光学部品と、を含み構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００５－３１３１８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記した光学部品は、ミラーで反射する光の光軸を調整すべく駆動部が接続され、該駆動部によりミラーを装着した基台を駆動してミラーの光軸を調整できる構成となっており、ミラーで反射する光の光軸を調整する際に、該駆動部の可動部分から微細な粉塵等が発生して飛散し、レーザー光線の光路を汚染するという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、ミラーで反射する光の光軸を調整する際に、該駆動部の可動部分から微細な粉塵が飛散して、レーザー光線の光路が汚染される、という問題を回避できる加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、ミラーを備えた光軸を可変できる光学部品であって、突出した端部にミラーを支持するミラー支持部と、該ミラー支持部の反対側に形成された基台と、を備えたミラー本体と、該ミラー支持部を露出する開口部を有し、該ミラー本体を収容する筐体と、該筐体の底部に配設され、該基台を揺動する駆動部と、を含み、該開口部と該ミラー本体との隙間を埋めるベローズシール体が配設される光学部品が提供される。
【０００９】
該駆動部は、該筐体の底部に形成された少なくとも３つの貫通口と、該貫通口を介して該基台に連結する連結部を備え、該筐体の外部に配設されるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の光学部品は、ミラーを備えた光軸を可変できる光学部品であって、突出した端部にミラーを支持するミラー支持部と、該ミラー支持部の反対側に形成された基台と、を備えたミラー本体と、該ミラー支持部を露出する開口部を有し、該ミラー本体を収容する筐体と、該筐体の底部に配設され、該基台を揺動する駆動部と、を含み、該開口部と該ミラー本体との隙間を埋めるベローズシール体が配設されることから、光軸を変更するに際して、各光学部品のミラーの角度を任意の角度に変更することができると共に、基台を揺動するための駆動部において微細な粉塵が生じたとしても、光が進行する光路の領域に飛散して汚染するという問題が解消する。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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