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公開番号2024085031
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-26
出願番号2022199347
出願日2022-12-14
発明の名称基板収納容器
出願人信越ポリマー株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/673 20060101AFI20240619BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】外部装置に安定して固定されることが可能な基板収納容器を提供すること。
【解決手段】
基板収納容器は、基板を収納する収容空間を画定する底板を有する容器本体と、容器本体に設けられた一体成形品である構造体6と、を備え、構造体6は、底板に接合される基部61と、基板収納容器を外部装置に固定する固定部62と、外部装置が基板収納容器を検知するための検知部63と、を備える。
【選択図】図3

特許請求の範囲【請求項１】
基板収納容器であって、
基板を収納する収容空間を画定する底板を有する容器本体と、
前記容器本体に設けられた一体成形品である構造体と、
を備え、
前記構造体は、
前記底板に接合される基部と、
前記基板収納容器を外部装置に固定する固定部と、
前記外部装置が前記基板収納容器を検知するための検知部と、
を備える、基板収納容器。
続きを表示（約 780 文字）【請求項２】
前記基部は、前記底板に埋設される第１面と、前記第１面と反対側の第２面とを有し、
前記固定部は、前記第２面と交差する第１方向において前記第２面と向かい合う板状の部材であって、前記第１方向と交差する第２方向における両端である第１端及び第２端を有し、
前記構造体は、
前記基部に設けられ、前記第１端において前記固定部を支持する第１壁部と、
前記基部に設けられ、前記第２端において前記固定部を支持する第２壁部と、を更に備え、
前記固定部には、前記第１方向において前記固定部を貫通する貫通孔が設けられている、請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記検知部は、前記第１方向及び前記第２方向と交差する第３方向において前記固定部を挟むように設けられた第１検知体及び第２検知体を備える、請求項２に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記構造体は、前記第１検知体と前記第２検知体とを連結するとともに、前記第１壁部に支持される連結板を更に備え、
前記連結板は、前記第２方向において前記第２端から離れるように前記第１端から延びており、
前記第１壁部には、前記第２方向において前記第１壁部を貫通する孔が設けられている、請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記第１面には、前記第１面から前記第２面に向かって窪んだ第１凹部が設けられ、
前記第２面には、前記第２面から前記第１面に向かって窪んだ第２凹部が設けられる、請求項２～請求項４のいずれか一項に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記第１凹部は、前記第１面を横断する溝であり、
前記第２凹部は、前記基部の周縁に沿って設けられている、請求項５に記載の基板収納容器。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、基板収納容器に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハなどの基板を収納する基板収納容器が知られている。例えば、特許文献１には、容器本体と、容器本体の底面部に設けられたボトムプレートと、を備えるウエハ搬送容器が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００８－１０５７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような基板収納容器は、基板収納容器が有するドアが開閉されるときに外部装置に固定されることがあるので、基板収納容器の底部には、基板収納容器を外部装置に固定するためのクランプ構造（センタークランプ）が設けられることがある。さらに、基板収納容器の底部には、基板収納容器を検知するための検知パッドが設けられることがある。センタークランプの機能を有する部品と、検知パッドが設けられた部品とが、容器本体の底部に設けられた部品に嵌め合わされることによって、基板収納容器にこれらの機能が付加され得る。
【０００５】
各部品の寸法公差などに起因して、嵌め合わされた部品間にクリアランスが生じることがある。このクリアランスによってセンタークランプの厳密な位置決めができないおそれがあるので、外部装置に基板収納容器が一層安定して固定されることが望まれる。
【０００６】
本開示は、外部装置に安定して固定されることが可能な基板収納容器を説明する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一側面に係る基板収納容器は、基板を収納する収容空間を画定する底板を有する容器本体と、容器本体に設けられた一体成形品である構造体と、を備える。構造体は、底板に接合される基部と、基板収納容器を外部装置に固定する固定部と、外部装置が基板収納容器を検知するための検知部と、を備える。
【０００８】
この基板収納容器では、底板に接合される基部と、基板収納容器を外部装置に固定する固定部と、外部装置が基板収納容器を検知するための検知部とを備える構造体が一体成形品として構成されている。構造体は一体成形品であるので、基部と検知部との相対的な位置関係、及び基部と固定部との相対的な位置関係は固定され得る。よって、互いに係合する２つ以上の部品によって、基部と検知部と固定部とが構成されている場合と比較して、検知部の位置及び固定部の位置を安定化することができる。その結果、基板収納容器を外部装置に安定して固定することが可能となる。
【０００９】
いくつかの実施形態において、基部は、底板に埋設される第１面と、第１面と反対側の第２面とを有してもよい。固定部は、第２面と交差する第１方向において第２面と向かい合う板状の部材であってもよく、第１方向と交差する第２方向における両端である第１端及び第２端を有してもよい。構造体は、基部に設けられ、第１端において固定部を支持する第１壁部と、基部に設けられ、第２端において固定部を支持する第２壁部と、を更に備えてもよい。固定部には、第１方向において固定部を貫通する貫通孔が設けられていてもよい。この場合、固定部と基部との間に空間が形成される。例えば、外部装置が第１方向に進退する軸部と、軸部の先端から第１方向と交差する方向に延びる爪とを有する留め具を備える場合には、上記留め具を貫通孔に挿通させ、上記空間に爪が位置した状態で、軸部を貫通孔から引き抜く方向に移動させることによって、固定部に爪を引っ掛けることができる。これにより、基板収納容器を外部装置に安定して固定することが可能となる。
【００１０】
いくつかの実施形態において、検知部は、第１方向及び第２方向と交差する第３方向において固定部を挟むように設けられた第１検知体及び第２検知体を備えてもよい。この構成では、外部装置が第１検知体及び第２検知体を検知することによって、外部装置に基板収納容器が載置されたことを検知することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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