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公開番号2024076191
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-05
出願番号2022187630
出願日2022-11-24
発明の名称シート欠陥位置検出方法、情報処理装置、シート欠陥位置検出システム、電子部品の生産方法
出願人株式会社村田製作所
代理人個人,個人
主分類H01G 13/00 20130101AFI20240529BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】後工程においてキャリアフィルム及びセラミックグリーンシートの欠陥位置を適切に検出可能なシート欠陥位置検出方法を提供すること。
【解決手段】シート欠陥位置検出方法は、グリーンシートフィルムGの欠陥情報を取得する欠陥情報取得工程(ステップS13)、キャリアフィルムC及びセラミックグリーンシートの少なくとも一方にマークを付与するマーク付与工程(ステップS14)、グリーンシートフィルムGに熱履歴を付与する乾燥工程(ステップS22)、熱履歴付与後それらからマーク情報を取得するマーク情報取得工程(ステップS31)、グリーンシートフィルムGの欠陥位置を決定する欠陥位置決定工程(ステップS32)を含み、欠陥位置決定工程(ステップS32)は、欠陥情報に基づく欠陥位置情報とマーク情報に基づく読取マーク間距離情報とに基づきグリーンシートフィルムGの欠陥位置を決定する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
キャリアフィルム上にセラミックグリーンシートを成型するシート成型工程と、
前記キャリアフィルム及び前記キャリアフィルム上に成型された前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方に発生した欠陥の情報を取得する欠陥情報取得工程と、
前記セラミックグリーンシートの成型後の前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方の上に所定の間隔で複数のマークを付与するマーク付与工程と、
前記セラミックグリーンシート及び前記キャリアフィルムに熱履歴が付与される熱履歴付与工程と、
前記熱履歴付与工程によって熱履歴が付与された後の前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方に付与された前記複数のマークから、前記マーク付与工程によって付与された前記複数のマークの情報を取得するマーク情報取得工程と、
前記熱履歴付与工程によって熱履歴が付与された後の前記欠陥の位置を決定する欠陥位置決定工程と、を含み、
前記欠陥位置決定工程は、前記欠陥情報取得工程で取得された前記欠陥の情報に基づく欠陥位置情報と、前記マーク情報取得工程で取得された複数のマークの情報に基づく読取マーク間距離情報と、に基づいて、前記熱履歴付与工程によって熱履歴が付与された後の前記欠陥の位置を決定する、シート欠陥位置検出方法。
続きを表示（約 2,300 文字）【請求項２】
前記熱履歴付与工程は、加熱工程である、請求項１に記載のシート欠陥位置検出方法。
【請求項３】
前記マーク付与工程と、前記マーク情報取得工程の間に、層状部材を前記セラミックグリーンシート上に形成する層状部材形成工程を有する、請求項１又は２に記載のシート欠陥位置検出方法。
【請求項４】
前記マーク付与工程と、前記マーク情報取得工程の間に、前記セラミックグリーンシートが成型された前記キャリアフィルムをロール状に巻き取る巻き取り工程と、ロール状の、前記セラミックグリーンシートが成型された前記キャリアフィルムを巻き出す巻き出し工程と、を有する、請求項１又は２に記載のシート欠陥位置検出方法。
【請求項５】
キャリアフィルム上にセラミックグリーンシートを成型するシート成型部と、前記キャリアフィルム及び前記キャリアフィルム上に成型された前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方に発生した欠陥の情報を取得する欠陥情報取得部と、前記セラミックグリーンシートの成型後の前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方の上に所定の間隔で複数のマークを付与するマーク付与部と、前記セラミックグリーンシート及び前記キャリアフィルムに熱履歴を付与する熱履歴付与部と、前記熱履歴付与部により熱履歴が付与された後の前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方に付与された前記複数のマークから、前記マーク付与部により付与された前記複数のマークの情報を取得するマーク情報取得部と、を備える電子部品の生産システムの情報処理装置であって、
前記熱履歴付与部により熱履歴が付与された後の前記欠陥の位置を決定する欠陥位置決定部を備え、
前記欠陥位置決定部は、前記欠陥情報取得部が取得した前記欠陥の情報に基づく欠陥位置情報と、前記マーク情報取得部が取得した複数のマークの情報に基づく読取マーク間距離情報と、に基づいて、前記熱履歴付与部によって熱履歴が付与された後の前記欠陥の位置を決定する、情報処理装置。
【請求項６】
キャリアフィルム上にセラミックグリーンシートを成型するシート成型部と、
前記セラミックグリーンシート及び前記キャリアフィルムに熱履歴を付与する熱履歴付与部と、を備える電子部品の生産システムに用いられるシート欠陥位置検出システムであって、
前記熱履歴付与部により熱履歴が付与される前に、前記キャリアフィルム及び前記キャリアフィルム上に成型された前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方に発生した欠陥の情報を取得する欠陥情報取得部と、
前記熱履歴付与部により熱履歴が付与される前に、前記セラミックグリーンシートの成型後の前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方の上に所定の間隔で複数のマークを付与するマーク付与部と、
前記熱履歴付与部により熱履歴が付与された後の前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方に付与された前記複数のマークから、前記マーク付与部により付与された前記複数のマークの情報を取得するマーク情報取得部と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、前記熱履歴付与部により熱履歴が付与された後の前記欠陥の位置を決定する欠陥位置決定部を備え、
前記欠陥位置決定部は、前記欠陥情報取得部が取得した前記欠陥の情報に基づく欠陥位置情報と、前記マーク情報取得部が取得した複数のマークの情報に基づく読取マーク間距離情報と、に基づいて、前記熱履歴付与部によって熱履歴が付与された後の前記欠陥の位置を決定する、シート欠陥位置検出システム。
【請求項７】
キャリアフィルム上にセラミックグリーンシートを成型するシート成型工程と、
前記セラミックグリーンシート及び前記キャリアフィルムに熱履歴が付与される熱履歴付与工程と、を含む電子部品の生産方法であって、
前記熱履歴付与工程によって熱履歴が付与される前に、前記キャリアフィルム及び前記キャリアフィルム上に成型された前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方に発生した欠陥の情報を取得する欠陥情報取得工程と、
前記熱履歴付与工程によって熱履歴が付与される前に、前記セラミックグリーンシートの成型後の前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方の上に所定の間隔で複数のマークを付与するマーク付与工程と、
前記熱履歴付与工程によって熱履歴が付与された後の前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方に付与された前記複数のマークから、前記マーク付与工程によって付与された前記複数のマークの情報を取得するマーク情報取得工程と、
前記熱履歴付与工程によって熱履歴が付与された後の前記欠陥の位置を決定する欠陥位置決定工程と、
前記欠陥位置決定工程によって決定された前記欠陥の位置に基づいて、電子部品の生産に利用する前記セラミックグリーンシートの領域を決定する利用領域決定工程と、を含み、
前記欠陥位置決定工程は、前記欠陥情報取得工程で取得された前記欠陥の情報に基づく欠陥位置情報と、前記マーク情報取得工程で取得された複数のマークの情報に基づく読取マーク間距離情報と、に基づいて、前記熱履歴付与工程によって熱履歴が付与された後の前記欠陥の位置を決定する、電子部品の生産方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート欠陥位置検出方法、情報処理装置、シート欠陥位置検出システム、電子部品の生産方法に関する。
続きを表示（約 3,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、グリーンシート上に電極を印刷する印刷装置を含む積層セラミック電子部品製造装置が知られている。例えば特許文献１には、グリーンシート上にターゲットマークを印刷し、このターゲットマークの画像処理によって、電極印刷位置決めを行う装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平８－１６７５４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
セラミックグリーンシートやセラミックグリーンシートが成型されるキャリアフィルムには、その製造工程中に欠陥が生じる場合がある。しかしながら、特許文献１の装置は、キャリアフィルムやセラミックグリーンシートに欠陥が発生する可能性があることについて考慮されていなかった。よって、キャリアフィルムやセラミックグリーンシートに欠陥が発生した場合に、キャリアフィルムやセラミックグリーンシートに対して行われる工程を考慮した上でどのように対応すべきかについてはさらに考慮できていなかった。
【０００５】
本発明は、キャリアフィルム及びセラミックグリーンシートの少なくとも一方に欠陥が発生した場合に、キャリアフィルム及びセラミックグリーンシートに対して行われる工程を考慮し、後工程においてキャリアフィルム及びセラミックグリーンシートの欠陥位置を適切に検出することが可能なシート欠陥位置検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のシート欠陥位置検出方法は、キャリアフィルム上にセラミックグリーンシートを成型するシート成型工程と、前記キャリアフィルム及び前記キャリアフィルム上に成型された前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方に発生した欠陥の情報を取得する欠陥情報取得工程と、前記セラミックグリーンシートの成型後の前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方の上に所定の間隔で複数のマークを付与するマーク付与工程と、前記セラミックグリーンシート及び前記キャリアフィルムに熱履歴が付与される熱履歴付与工程と、前記熱履歴付与工程によって熱履歴が付与された後の前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方に付与された前記複数のマークから、前記マーク付与工程によって付与された前記複数のマークの情報を取得するマーク情報取得工程と、前記熱履歴付与工程によって熱履歴が付与された後の前記欠陥の位置を決定する欠陥位置決定工程と、を含み、前記欠陥位置決定工程は、前記欠陥情報取得工程で取得された前記欠陥の情報に基づく欠陥位置情報と、前記マーク情報取得工程で取得された複数のマークの情報に基づく読取マーク間距離情報と、に基づいて、前記熱履歴付与工程によって熱履歴が付与された後の前記欠陥の位置を決定する。
【０００７】
本発明の情報処理装置は、キャリアフィルム上にセラミックグリーンシートを成型するシート成型部と、前記キャリアフィルム及び前記キャリアフィルム上に成型された前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方に発生した欠陥の情報を取得する欠陥情報取得部と、前記セラミックグリーンシートの成型後の前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方の上に所定の間隔で複数のマークを付与するマーク付与部と、前記セラミックグリーンシート及び前記キャリアフィルムに熱履歴を付与する熱履歴付与部と、前記熱履歴付与部により熱履歴が付与された後の前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方に付与された前記複数のマークから、前記マーク付与部により付与された前記複数のマークの情報を取得するマーク情報取得部と、を備える電子部品の生産システムの情報処理装置であって、前記熱履歴付与部により熱履歴が付与された後の前記欠陥の位置を決定する欠陥位置決定部を備え、前記欠陥位置決定部は、前記欠陥情報取得部が取得した前記欠陥の情報に基づく欠陥位置情報と、前記マーク情報取得部が取得した複数のマークの情報に基づく読取マーク間距離情報と、に基づいて、前記熱履歴付与部によって熱履歴が付与された後の前記欠陥の位置を決定する。
【０００８】
本発明のシート欠陥位置検出システムは、キャリアフィルム上にセラミックグリーンシートを成型するシート成型部と、前記セラミックグリーンシート及び前記キャリアフィルムに熱履歴を付与する熱履歴付与部と、を備える電子部品の生産システムに用いられるシート欠陥位置検出システムであって、前記熱履歴付与部により熱履歴が付与される前に、前記キャリアフィルム及び前記キャリアフィルム上に成型された前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方に発生した欠陥の情報を取得する欠陥情報取得部と、前記熱履歴付与部により熱履歴が付与される前に、前記セラミックグリーンシートの成型後の前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方の上に所定の間隔で複数のマークを付与するマーク付与部と、前記熱履歴付与部により熱履歴が付与された後の前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方に付与された前記複数のマークから、前記マーク付与部により付与された前記複数のマークの情報を取得するマーク情報取得部と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記熱履歴付与部により熱履歴が付与された後の前記欠陥の位置を決定する欠陥位置決定部を備え、前記欠陥位置決定部は、前記欠陥情報取得部が取得した前記欠陥の情報に基づく欠陥位置情報と、前記マーク情報取得部が取得した複数のマークの情報に基づく読取マーク間距離情報と、に基づいて、前記熱履歴付与部によって熱履歴が付与された後の前記欠陥の位置を決定する。
【０００９】
本発明の電子部品の生産方法は、キャリアフィルム上にセラミックグリーンシートを成型するシート成型工程と、前記セラミックグリーンシート及び前記キャリアフィルムに熱履歴が付与される熱履歴付与工程と、を含む電子部品の生産方法であって、前記熱履歴付与工程によって熱履歴が付与される前に、前記キャリアフィルム及び前記キャリアフィルム上に成型された前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方に発生した欠陥の情報を取得する欠陥情報取得工程と、前記熱履歴付与工程によって熱履歴が付与される前に、前記セラミックグリーンシートの成型後の前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方の上に所定の間隔で複数のマークを付与するマーク付与工程と、前記熱履歴付与工程によって熱履歴が付与された後の前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方に付与された前記複数のマークから、前記マーク付与工程によって付与された前記複数のマークの情報を取得するマーク情報取得工程と、前記熱履歴付与工程によって熱履歴が付与された後の前記欠陥の位置を決定する欠陥位置決定工程と、前記欠陥位置決定工程によって決定された前記欠陥の位置に基づいて、電子部品の生産に利用する前記セラミックグリーンシートの領域を決定する利用領域決定工程と、を含み、前記欠陥位置決定工程は、前記欠陥情報取得工程で取得された前記欠陥の情報に基づく欠陥位置情報と、前記マーク情報取得工程で取得された複数のマークの情報に基づく読取マーク間距離情報と、に基づいて、前記熱履歴付与工程によって熱履歴が付与された後の前記欠陥の位置を決定する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、キャリアフィルム及びセラミックグリーンシートの少なくとも一方に欠陥が発生した場合に、キャリアフィルム及びセラミックグリーンシートに対して行われる工程を考慮し、後工程においてキャリアフィルム及びセラミックグリーンシートの欠陥位置を適切に検出することが可能なシート欠陥位置検出方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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