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公開番号2024069855
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-22
出願番号2022180105
出願日2022-11-10
発明の名称超音波加振設備
出願人株式会社テクノス
代理人個人
主分類F16L 55/24 20060101AFI20240515BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】上下層階レイアウトの真空設備を構成する円筒配管に装着し、前記円筒配管の内周面に堆積又は固化した粉体を剥離・除去し適切に、落下させることが可能な超音波加振設備を提供すること。
【解決手段】超音波加振設備1は、10キロヘルツから100キロヘルツの超音波周波数を出力可能な超音波発信器3と、超音波発信器3の電気的信号を受信して振動する振動子21を少なくとも包含する超音波変換ユニット2と、真空設備を構成する円筒配管の筒周に沿って装着可能な輪形状を形成する配管取付機構5と、配管取付機構5に振動子21の振動を伝達する所定の振動伝達棒体4とを備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
真空設備を構成する円筒配管に装着する超音波加振設備であって、
１０キロヘルツ以上の超音波周波数を発生する超音波発信器と、
前記超音波発信器の電気的信号を受信して振動する振動子を少なくとも包含する超音波変換ユニットと、
真空設備を構成する円筒配管の筒周に沿って装着可能な輪形状を形成する配管取付機構と、
前記振動子と前記配管取付機構との間を接続し前記振動子が振動を発生させている間その振動を伝達する振動伝達棒体と、
で構成する超音波加振設備。
続きを表示（約 260 文字）【請求項２】
前記超音波変換ユニットを、前記超音波発信器からの電気的信号を受信して振動する振動子と、前記振動子の周囲を覆う保護カバーと、前記超音波発信器と電気的に接続する電気接栓と、で構成する請求項１の超音波加振設備。
【請求項３】
前記配管取付機構を、当該真空設備を構成する円筒配管の筒周に沿った輪形状を形成する配管周接帯部と、前記配管周接帯部を前記真空設備を構成する円筒配管に沿って取り付けた状態で装着固定又は取外し開放に作動するクランプ部と、で構成した請求項１又は請求項２の超音波加振設備。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本願発明は、半導体等を製造する真空設備を構成する配管に装着する超音波加振設備である。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体等を製造する真空設備のレイアウトに関して、真空チャンバー、ドライ真空ポンプ等の真空設備を同層階に設置するいわゆる同層階レイアウトが従来は多かったが、近年は、真空チャンバーを上層階（例えば、２階。）に設置をして、ドライ真空ポンプをその下層階（例えば、１階）に設置するといったいわゆる上下層階レイアウトが増えている。
【０００３】
前述した上下層階レイアウトの場合、真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在する配管は垂直方向に配設されるため、真空チャンバーから放出された粉体の一部が配管の内周面にいったん付着し一定程度堆積（粉体が固化する場合もある。）をした後に、その自重等でまとまって多量に落下しドライ真空ポンプ内に到達することによって、当該真空ポンプを停止（ロック）あるいは故障させてしまったと想定する事例が存在した。
【０００４】
前述の様な事象を一定程度回避するための対策として、前記配管にヒータージャケットを装着あるいは加振装置を装着することが行われている（特許文献１など）。
【０００５】
なお、同層階レイアウトの場合でも、粉体の堆積又は固化は生じるが、真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在する配管は水平方向に配設されるため、粉体は、重力の影響を受けながら配管内を水平方向に移動するため、微量ずつしかドライ真空ポンプに到達しないため、上述のような不具合は発生し難い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０２０－９０９４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した加振装置は、粉体の堆積又は固化抑制目的としては一定の成果が見込める優れた装置であるものの、既に配管の内部に大量の粉体が堆積及び固化している状態で作動を行った場合には、大量の粉体をまとめて落下させてしまうおそれもあった。
【０００８】
なお、真空設備を構成する配管にヒータージャケットを装着する方法に関しては、装着コストやヒーターを稼働させるためのコストなどといったコスト問題が生じていた。
【０００９】
そこで、上下層階レイアウトの真空設備を構成する配管に装着し、前記配管の内周面に堆積又は固化した粉体を、適切に剥離・除去し落下させることが可能な設備を提供することを課題とした。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本願発明は、真空設備を構成する円筒配管に装着する超音波加振設備であって、１０キロヘルツ以上の超音波周波数を発生する超音波発信器と、前記超音波発信器の電気的信号を受信して振動する振動子を少なくとも包含する超音波変換ユニットと、真空設備を構成する円筒配管の筒周に沿って装着可能な輪形状を形成する配管取付機構と、前記振動子と前記配管取付機構との間を接続し前記振動子が振動（超音波振動）を発生させている間その振動を伝達する振動伝達棒体と、で構成する超音波加振設備を提供する。
（【００１１】以降は省略されています）

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