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公開番号2024059559
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-01
出願番号2023132807
出願日2023-08-17
発明の名称除電方法、および発光装置の製造方法
出願人日亜化学工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240423BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】第1基体の位置ずれを低減しつつ、静電チャックのそれぞれを短時間で除電可能な除電方法および発光装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】除電方法は、第1面と、前記第1面とは反対側に位置する第2面と、を有する第1基体を準備する工程と、吸着面にガス供給孔の開口を有する静電チャックに電圧を印加することで、前記第1面を前記吸着面に吸着させた前記第1基体を処理容器内に配置する工程と、前記第1基体の前記第2面と第2基体とを当接させる工程と、前記第1基体の前記第2面と前記第2基体とを当接させた状態で、前記静電チャックへの電圧の印加を停止するとともに、前記静電チャックと前記第1基体の前記第1面との間に前記ガス供給孔からガスを供給する工程と、前記静電チャックから前記第1基体を離す工程と、を含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１面と、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、を有する第１基体を準備する工程と、
吸着面にガス供給孔の開口を有する静電チャックに電圧を印加することで、前記第１面を前記吸着面に吸着させた前記第１基体を処理容器内に配置する工程と、
前記第１基体の前記第２面と第２基体とを当接させる工程と、
前記第１基体の前記第２面と前記第２基体とを当接させた状態で、前記静電チャックへの電圧の印加を停止するとともに、前記静電チャックと前記第１基体の前記第１面との間に前記ガス供給孔からガスを供給する工程と、
前記静電チャックから前記第１基体を離す工程と、を含む除電方法。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記第１基体を前記第２基体に当接させる工程は、前記第１基体を前記第２基体に当接させることにより、前記第１基体と前記第２基体とを接合する工程を含み、
前記第１基体と前記第２基体とを接合する工程、および前記ガスを供給する工程を、並行に行う、請求項１に記載の除電方法。
【請求項３】
前記第１基体と前記第２基体とを接合する工程を複数回行い、
前記第１基体を処理容器内に配置する工程では、複数回の前記接合する工程ごとで前記静電チャックに印加する電圧を、順方向に印加する順電圧、または逆方向に印加する逆電圧に交互に切り替える、請求項２に記載の除電方法。
【請求項４】
前記接合する工程では、前記第１基体により前記吸着面が覆われた状態において、前記第１基体に高速原子ビームが照射される、請求項３に記載の除電方法。
【請求項５】
前記第１基体と前記第２基体とを接合する工程、および前記ガスを供給する工程のそれぞれにおける処理時間を同じとする、請求項２に記載の除電方法。
【請求項６】
前記第２基体の厚みは、前記第１基体の厚みよりも薄く、
前記静電チャックに吸着される前記第１基体の下方に前記第２基体を配置する、請求項１または請求項２に記載の除電方法。
【請求項７】
前記第１基体を前記第２基体に当接した際の単位面積当たりの荷重は、０．１ＭＰａ以上０．５ＭＰａ以下である、請求項１または請求項２に記載の除電方法。
【請求項８】
前記静電チャックと前記第１基体との間の隙間は５μｍ以上５０μｍ以下である、請求項１または請求項２に記載の除電方法。
【請求項９】
前記静電チャックと前記第１基体の前記第１面との間に供給する前記ガスは、希ガスを含む不活性ガスである、請求項１または請求項２に記載の除電方法。
【請求項１０】
第１面と、前記第１面とは反対側に位置し、発光部が配置された第２面と、を有する第１基体を準備する工程と、
吸着面にガス供給孔の開口を有する静電チャックに電圧を印加することで、前記第１面を前記吸着面に吸着させた前記第１基体を処理容器内に配置する工程と、
波長変換物質を含む第２基体に、前記第１基体を当接させることにより、前記第１基体における前記発光部と前記第２基体とを接合する工程と、
前記第１基体と前記第２基体とを当接させた状態で、前記静電チャックへの電圧の印加を停止するとともに、前記静電チャックと前記第１基体の前記第１面との間に前記ガス供給孔からガスを供給する工程と、
前記静電チャックから前記第１基体を離す工程と、を含む、発光装置の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、除電方法、および発光装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１には、静電チャックに電圧を印加することで被処理体を吸着した後、被処理体と静電チャックとの間にガスを供給する工程を含む被処理体の除電方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－０８８４０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、第１基体の位置ずれを低減しつつ、静電チャックを短時間で除電可能な除電方法および発光装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様によれば、除電方法は、第１面と、前記第１面とは反対側に位置する第２面と、を有する第１基体を準備する工程と、吸着面にガス供給孔の開口を有する静電チャックに電圧を印加することで、前記第１面を前記吸着面に吸着させた前記第１基体を処理容器内に配置する工程と、前記第１基体の前記第２面と第２基体とを当接させる工程と、前記第１基体の前記第２面と前記第２基体とを当接させた状態で、前記静電チャックへの電圧の印加を停止するとともに、前記静電チャックと前記第１基体の前記第１面との間に前記ガス供給孔からガスを供給する工程と、前記静電チャックから前記第１基体を離す工程と、を含む。
【０００６】
本開示の一態様によれば、発光装置の製造方法は、第１面と、前記第１面とは反対側に位置し、発光部が配置された第２面と、を有する第１基体を準備する工程と、吸着面にガス供給孔の開口を有する静電チャックに電圧を印加することで、前記第１面を前記吸着面に吸着させた前記第１基体を処理容器内に配置する工程と、波長変換物質を含む第２基体に、前記第１基体を当接させることにより、前記第１基体における前記発光部と前記第２基体とを接合する工程と、前記第１基体と前記第２基体とを当接させた状態で、前記静電チャックへの電圧の印加を停止するとともに、前記静電チャックと前記第１基体の前記第１面との間に前記ガス供給孔からガスを供給する工程と、前記静電チャックから前記第１基体を離す工程と、を含む。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、第１基体の位置ずれを低減しつつ、静電チャックを短時間で除電可能な除電方法および発光装置の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態に係る除電方法を行う接合装置の模式的断面図である。
図１における第１静電チャックの模式的平面図である。
図２におけるIII－III線の模式的断面図である。
図３における領域Ａの模式的拡大平面図である。
図４における領域Ｂの模式的拡大平面図である。
図４における領域Ｃの模式的拡大平面図である。
図４における領域Ｄの模式的拡大平面図である。
図４における領域Ｅの模式的拡大平面図である。
第１基体を処理容器内に配置する工程を説明する模式的断面図である。
第１基体の第２面と第２基体とを当接させる工程を説明する模式的断面図である。
ガスを供給する工程を説明する模式的断面図である。
第１静電チャックから第１基体を離す工程を説明する模式的断面図である。
第２実施形態に係る発光装置の製造方法により製造される発光装置の模式的断面図である。
第３実施形態に係る除電方法を行う接合装置の模式的断面図である。
第４実施形態に係る除電方法を行う接合装置の模式的断面図である。
第４実施形態に係る除電方法を含む接合装置の動作を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本開示の実施形態に係る除電方法および発光装置の製造方法について図面を参照しながら詳細に説明する。但し、以下に示す形態は、本実施形態の技術思想を具現化するための除電方法および発光装置の製造方法を例示するものであって、以下に限定するものではない。また、実施形態に記載されている構成部の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、特定的な記載がない限り、本開示の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。なお、各図面が示す部材の大きさ、位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。また、以下の説明において、同一の名称、符号については同一もしくは同質の部材を示しており詳細説明を適宜省略する。断面図として、切断面のみを示す端面図を用いる場合がある。
【００１０】
各図面において、方向表現として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を有する直交座標を用いる。Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は互いに直交する。本明細書では、上下方向に沿う軸をＺ軸とする。該上下方向に直交する軸をＸ軸およびＹ軸とする。Ｘ軸に沿うＸ方向で矢印が向いている方向を＋Ｘ方向または＋Ｘ側、＋Ｘ方向の反対方向を－Ｘ方向または－Ｘ側と表記する。Ｙ軸に沿うＹ方向で矢印が向いている方向を＋Ｙ方向または＋Ｙ側、＋Ｙ方向の反対方向を－Ｙ方向または－Ｙ側と表記する。Ｚ軸に沿うＺ方向で矢印が向いている方向を＋Ｚ方向または＋Ｚ側、＋Ｚ方向の反対方向を－Ｚ方向または－Ｚ側と表記する。但し、これらの方向表現は、本開示の実施形態の方向を限定するものではない。
（【００１１】以降は省略されています）

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