特許ウォッチ

公開番号2024057670
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-25
出願番号2022164460
出願日2022-10-13
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類G05B 19/409 20060101AFI20240418BHJP(制御;調整)
要約【課題】メンテナンス作業時等において、作業者にとって危険な指令の入力を不可とする。
【解決手段】各種の指令の入力に使用されるタッチパネル付きディスプレイと、制御ユニットと、を含む加工装置であって、該制御ユニットは、表示制御部と、第1の稼働モード、または、第2の稼働モードで該加工装置を稼働できるモード制御部と、第1の指令と、第2の指令と、を記憶する記憶部と、を備え、該表示制御部は、該モード制御部が該第1の稼働モードで該加工装置を稼働させるときに、該第1の指令の入力に使用できる第1の入力表示と、該第2の指令の入力に使用できる第2の入力表示と、を含む第1の入力画面を該タッチパネル付きディスプレイに表示でき、該モード制御部が該第2の稼働モードで該加工装置を稼働させるときに、該第2の入力表示を含む第2の入力画面を該タッチパネル付きディスプレイに表示でき、該第2の入力画面は、該第1の入力表示を含まない。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、
スピンドルと、該スピンドルの基端に接続された回転駆動源と、該スピンドルの先端に装着された加工具と、を備え、該チャックテーブルに保持された該被加工物を該加工具で加工する加工ユニットと、
各種の指令の入力に使用されるタッチパネル付きディスプレイと、
制御ユニットと、を含む加工装置であって、
該制御ユニットは、
指令の入力画面を該タッチパネル付きディスプレイに表示できる表示制御部と、
第１の稼働モード、または、第２の稼働モードで該加工装置を稼働できるモード制御部と、
該第１の稼働モードで実行でき該第２の稼働モードで実行できない第１の指令と、該第１の稼働モード及び該第２の稼働モードのいずれでも実行できる第２の指令と、を記憶する記憶部と、を備え、
該表示制御部は、
該モード制御部が該第１の稼働モードで該加工装置を稼働させるときに該記憶部から該第１の指令及び該第２の指令を読み出し、該第１の指令の入力に使用できる第１の入力表示と、該第２の指令の入力に使用できる第２の入力表示と、を含む第１の入力画面を該タッチパネル付きディスプレイに表示でき、
該モード制御部が該第２の稼働モードで該加工装置を稼働させるときに該記憶部から該第２の指令を読み出し、該第２の入力表示を含む第２の入力画面を該タッチパネル付きディスプレイに表示でき、
該第２の入力画面は、該第１の入力画面に含まれる該第１の入力表示とは異なる態様で該第１の入力表示を含み、または、該第１の入力表示を含まないことを特徴とする加工装置。
続きを表示（約 570 文字）【請求項２】
該チャックテーブルと、該加工ユニットと、を収容し、該タッチパネル付きディスプレイを外面に備え、開閉扉を有する外装カバーを更に備え、
該モード制御部は、
該開閉扉が閉じているときに該第１の稼働モードで該加工装置を稼働させ、
該開閉扉が開いているときに該第２の稼働モードで該加工装置を稼働させることを特徴とする請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
該第１の稼働モードは、閉扉メンテナンスモードであり、
該第２の稼働モードは、開扉メンテナンスモードであり、
該第１の指令は、該チャックテーブル及び該加工ユニットを相対的に継続的に移動させる指令であり、
該第２の指令は、該チャックテーブル及び該加工ユニットを相対的に所定量で移動させる指令であることを特徴とする請求項２に記載の加工装置。
【請求項４】
該第１の稼働モードは、閉扉メンテナンスモードであり、
該第２の稼働モードは、開扉メンテナンスモードであり、
該第１の指令は、該回転駆動源を作動させて該スピンドルを継続的に回転させる指令であり、
該第２の指令は、該回転駆動源を作動させて該スピンドルを所定量で回転させる指令であることを特徴とする請求項２に記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、スピンドル（回転軸）と、スピンドルの先端に固定された加工具と、を備え、被加工物を加工具で加工する加工装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
電子機器等に組み込まれるデバイスチップの製造工程では、半導体ウエーハや樹脂パッケージ基板に代表される板状の被加工物が様々な加工装置によって加工される。例えば、被加工物の表面に互いに交差する複数の分割予定ラインが設定され、該分割予定ラインで区画された領域にＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが形成される。その後、被加工物は、裏面から研削されて薄化され、分割予定ラインに沿って分割される。すると、個々のデバイスチップが製造される。
【０００３】
被加工物を加工する加工装置は、半導体ウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルで保持された被加工物を加工する加工ユニットと、チャックテーブル及び加工ユニットを相対的に移動させる移動ユニットと、を備える。加工ユニットは、回転軸となるスピンドルと、スピンドルの基端側に接続されたモータ等の回転駆動源と、スピンドルの先端に装着された加工具と、を備える。回転駆動源を作動させて加工具を回転させつつ加工具を被加工物に接触させると、被加工物を加工できる。
【０００４】
そして、加工装置は、チャックテーブル、加工ユニット、及び移動ユニット等の各構成要素を収容する外装カバーを備える。外装カバーの外面には、表示ユニットとして機能するとともに入力インターフェースとしても機能するタッチパネル付きディスプレイが設けられる。
【０００５】
また、加工装置の外装カバーには、加工装置のメンテナンスの際に作業者が外装カバー内部に手を挿し入れる経路となる開口部が設けられており、この開口部には開閉扉が設けられている（特許文献１参照）。作業者は、開閉扉を開き、タッチパネル付きディスプレイにより所定の指令を入力して各種の可動部に所定の動作を実行させつつ、メンテナンス等の作業を進める。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１１－１４３４８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
作業者が外装カバーの内部に手を入れる際に加工具が回転すると、作業者が加工具に接触して怪我をする恐れがあり危険である。それにも関わらず、外装カバーの開閉扉が開いているときに作業者が加工具を回転させる指令を加工装置に入力することがある。開閉扉が開いているときに加工具が回転すること自体が危険である上、メンテナンス作業時にそのような指令の入力が可能であることも危険な状況を引き起こす要因となる。
【０００８】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、メンテナンス作業時等において、作業者にとって危険な指令の入力を受け付けない加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルと、該スピンドルの基端に接続された回転駆動源と、該スピンドルの先端に装着された加工具と、を備え、該チャックテーブルに保持された該被加工物を該加工具で加工する加工ユニットと、各種の指令の入力に使用されるタッチパネル付きディスプレイと、制御ユニットと、を含む加工装置であって、該制御ユニットは、指令の入力画面を該タッチパネル付きディスプレイに表示できる表示制御部と、第１の稼働モード、または、第２の稼働モードで該加工装置を稼働できるモード制御部と、該第１の稼働モードで実行でき該第２の稼働モードで実行できない第１の指令と、該第１の稼働モード及び該第２の稼働モードのいずれでも実行できる第２の指令と、を記憶する記憶部と、を備え、該表示制御部は、該モード制御部が該第１の稼働モードで該加工装置を稼働させるときに該記憶部から該第１の指令及び該第２の指令を読み出し、該第１の指令の入力に使用できる第１の入力表示と、該第２の指令の入力に使用できる第２の入力表示と、を含む第１の入力画面を該タッチパネル付きディスプレイに表示でき、該モード制御部が該第２の稼働モードで該加工装置を稼働させるときに該記憶部から該第２の指令を読み出し、該第２の入力表示を含む第２の入力画面を該タッチパネル付きディスプレイに表示でき、該第２の入力画面は、該第１の入力画面に含まれる該第１の入力表示とは異なる態様で該第１の入力表示を含み、または、該第１の入力表示を含まないことを特徴とする加工装置が提供される。
【００１０】
好ましくは、該チャックテーブルと、該加工ユニットと、を収容し、該タッチパネル付きディスプレイを外面に備え、開閉扉を有する外装カバーを更に備え、該モード制御部は、該開閉扉が閉じているときに該第１の稼働モードで該加工装置を稼働させ、該開閉扉が開いているときに該第２の稼働モードで該加工装置を稼働させる。
（【００１１】以降は省略されています）

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