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公開番号2024057136
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-24
出願番号2022163652
出願日2022-10-12
発明の名称基板保持部材
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240417BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】撓みや反りを有する基板であっても平坦性良く吸着できる基板保持部材を提供する。
【解決手段】基板保持部材100であって、上面12に開口する1または複数の通気孔16と、前記通気孔16に連通し下面14に開口する溝部18と、を有する平板状の基体10と、前記基体10の上面12から上方に突出して形成される複数の上面凸部22と、前記基体の上面から上方に突出して、前記上面の外周に沿って環状に形成される上面環状凸部24と、を備え、前記溝部18の流路方向に垂直な方向の断面積は、1.2mm²以上である。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
基板保持部材であって、
上面に開口する１または複数の通気孔と、前記通気孔に連通し下面に開口する溝部と、を有する平板状の基体と、
前記基体の上面から上方に突出して形成される複数の上面凸部と、
前記基体の上面から上方に突出して、前記上面の外周に沿って環状に形成される上面環状凸部と、を備え、
前記溝部の流路方向に垂直な方向の断面積は、１．２ｍｍ
２
以上であることを特徴とする基板保持部材。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
前記溝部の上端面から下方に突出して形成される複数の第１の下面凸部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の基板保持部材。
【請求項３】
前記第１の下面凸部は、前記溝部の幅をＷとしたとき、Ｗ／２が１．０ｍｍ以上のときに配置されることを特徴とする請求項２に記載の基板保持部材。
【請求項４】
前記溝部の縁に沿って前記溝部を取り囲むように前記基体の下面から下方に突出して形成される第１の下面環状凸部と、
前記第１の下面環状凸部を取り囲むように前記基体の下面から下方に突出して形成される第２の下面環状凸部と、
少なくとも前記第１の下面環状凸部と前記第２の下面環状凸部の間の領域に配置され、前記基体の下面から下方に突出して形成される複数の第２の下面凸部と、をさらに備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板保持部材。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を吸着保持する基板保持部材に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体製造装置等において、シリコンウエハ、ガラス基板などの基板を支持する基板保持部材が用いられている。
【０００３】
特許文献１は、シリコンウエハ、チャック台、真空チャック、真空ポンプ、真空経路、バルブを備え、チャック台は、真空経路を備え、シリコンウエハの下面、真空チャックの上面および土手部の内周面と、チャック台の上面、真空チャックの下面、土手部の内周面、および土手部の外周面により密閉された空間が形成され、真空ポンプによりこれらの密閉された空間を減圧することで、シリコンウエハおよび真空チャックを保持する基板保持装置が開示されている。
【０００４】
また、特許文献２は、上面に開口する通気孔が形成された平板状の基体に、基体の上面から上方に向って突出する複数の凸部が形成され、下面に開口し通気孔と連通する溝が基体に形成されており、溝の下方に突出する複数の凸部が形成されている、基板保持装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００３－１５２０６０号公報
特開２０１７－２１２３４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
吸着される基板は、必ずしも平面ではなく、撓みや反り等の変形を有している場合もあり、このような基板であっても平坦に吸着する必要がある。近年は、基板の平面度に対する要求基準が高まっていることや、比較的大きな反りを有する基板を平坦性よく吸着する要求が出てきており、改善の余地があった。
【０００７】
しかしながら、特許文献１や特許文献２に記載の基板保持装置ではこのような基板に十分な吸着力を付与することができず不十分である場合があった。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、撓みや反りを有する基板であっても平坦性良く吸着できる基板保持部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）上記の目的を達成するため、本発明の基板保持部材は、基板保持部材であって、上面に開口する１または複数の通気孔と、前記通気孔に連通し下面に開口する溝部と、を有する平板状の基体と、前記基体の上面から上方に突出して形成される複数の上面凸部と、前記基体の上面から上方に突出して、前記上面の外周に沿って環状に形成される上面環状凸部と、を備え、前記溝部の流路方向に垂直な方向の断面積は、１．２ｍｍ
２
以上であることを特徴としている。
【００１０】
このように、溝部の流路方向に垂直な方向の断面積を１．２ｍｍ
２
以上とすることにより、流路の圧力損失が低減し、基板吸着のための負圧力がアップすることで、大きな反りを有する基板であっても平坦性良く吸着でき、位置ズレなどのバラツキの発生を抑制することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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