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公開番号2024056810
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-23
出願番号2024017801,2022120923
出願日2024-02-08,2011-06-16
発明の名称薄膜形成装置および薄膜形成方法
出願人AIメカテック株式会社
代理人弁理士法人磯野国際特許商標事務所
主分類B05C 5/00 20060101AFI20240416BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】高精度で均一な塗布が可能な薄膜形成装置及び薄膜形成方法を提供する。
【解決手段】塗布対象物100を吸着保持する吸着テーブル9と、吸着テーブル9に吸着保持された塗布対象物100の表面にインクジェット式ノズルから塗布材を吐出しながら薄膜形成を行う複数の塗布ヘッド4と、塗布ヘッド4を塗布対象物100の上方位置で移動させるガントリ3と、を備える薄膜形成装置1であって、ガントリ3に、塗布対象物100の表面を加熱する熱源装置31を更に備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
薄膜を塗布する塗布対象物を吸着保持する吸着テーブルを備えた架台と、
当該架台上に設けられ当該架台の長手方向に移動可能なガントリと、
当該ガントリに設けられ、前記架台の長手方向に直交する当該架台の幅方向及び当該架台の載置面の鉛直方向に移動可能で、前記塗布対象物の表面に薄膜を塗布する複数の塗布ヘッドを有する塗布ヘッドユニットと、
前記架台に備えた吸着テーブルに隣接して設けたヘッド回復装置と、を備え、
前記ヘッド回復装置は、前記複数の塗布ヘッドの各々を吸引回復する複数の吸込口を備え、当該吸込口の各々は一列に配置して成るとともに、
前記塗布ヘッドのノズルから吐出される材料の液滴を確認する発光素子と、前記発光素子が点灯することで影として撮影するカメラと、各塗布ヘッド間の１回あたりの吐出量を調整する電子天秤と、から成り、
対向配置された前記発光素子と前記カメラは、各々の移動機構を各々制御して、前記ノズルの座標と一致するように移動することを特徴とする
インクジェット方式の薄膜形成装置。
続きを表示（約 610 文字）【請求項２】
薄膜を塗布する塗布対象物を吸着保持する吸着テーブルを備えた架台と、
当該架台上に設けられ当該架台の長手方向に移動可能なガントリと、
当該ガントリに設けられ、前記架台の長手方向に直交する当該架台の幅方向及び当該架台の載置面の鉛直方向に移動可能で、前記塗布対象物の表面に薄膜を塗布する複数の塗布ヘッドを有する塗布ヘッドユニットと、
前記架台に備えた吸着テーブルに隣接して設けたヘッド回復装置と、を備え、
前記ヘッド回復装置は、前記塗布ヘッドのノズルから吐出される材料の液滴を確認する発光素子と、前記発光素子が点灯することで影として撮影するカメラと、各塗布ヘッド間の１回あたりの吐出量を調整する電子天秤と、から成り、
当該発光素子は、前記複数の塗布ヘッドの各々に対応し、一列に配置して成り、
対向配置された前記発光素子と前記カメラは、各々の移動機構を各々制御して、前記ノズルの座標と一致するように移動することを特徴とする
インクジェット方式の薄膜形成装置。
【請求項３】
薄膜を塗布する塗布対象物は基板であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のインクジェット方式の薄膜形成装置。
【請求項４】
薄膜を塗布する塗布対象物はガラス基板であることを特徴とする請求項１または請求項に記載のインクジェット方式の薄膜形成装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の薄膜形成装置および薄膜形成方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
インクジェット方式とは、塗布ヘッドとしての気泡または圧電素子を利用したインクジェット塗布ヘッドから塗布材料としてのインク液滴を少量ずつ高精度に吐出する方式である。このインク液滴の高精度な吐出によって塗布対象とする部材にインク液滴を塗布する処理を装置化したものが、インクジェット塗布装置である。これは、インクの高精細な塗布を実現できる装置として近年注目されており、紙への印刷に限らず、あらゆる産業分野でその適用可能性が探られており、既に実用化されているものもある。
【０００３】
塗布ヘッドの下面先端には、複数のノズルが所定のピッチで設けられ、このノズルのピッチによって塗布材料である液滴の吐出間隔が決まる。このノズルのピッチは小さく、ノズルごとに吐出の有無を個別に管理できることから、フレキソ印刷法のような版型を不要として、平面内の自由な形状の塗布が可能となる。
【０００４】
一方で、ノズルから液滴の吐出が可能なように塗布材料の粘度が調整されることから、吐出された後の基板上で塗布材料の濡れ広がりが発生する。このため、液滴の１滴と隣りの液滴の１滴とが作る面形状の安定性が問題となり、特に面形状の最外周でのライン形状は製作物の品質に大きく影響する。
【０００５】
例えば、特許文献１は、インクジェットヘッドにより配向膜材料を吐出して基板上に付着させるものである。乾燥固化させて配向膜を形成する方法において、インクジェットでの吐出に適した粘度とするための配向膜材料に添加する表面張力調整の溶剤や、脱気溶剤が示されている。これは、インクジェットの吐出動作と吐出後の基板上でのレベリング性を向上しようとするものであり、乾燥固化については別工程として次の乾燥させる装置に移されるものである（非特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特許第３０７３４９３号公報
【非特許文献】
【０００７】
岩井善弘・越石健司著、「液晶・ＰＤＰ・有機ＥＬ徹底比較」、初版、株式会社工業調査会、2004年7月、p. 50―58
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
これまで、インクジェット方式の塗布における高い塗布位置精度や膜厚の均一性を求める上では、主に、目標とする塗布間隔と塗布ヘッドのノズルピッチとの相対的な位置関係が着目されていた。
しかしながら、インクジェット方式の塗布を様々な分野で活用していく上では、塗布する時点の動作に加えて、塗布した直後から乾燥して基板上に固着するまでをいかに管理するかも重要である。
【０００９】
特に、液晶ガラス基板の製造に適用した事例では、基板の大型化が進むにつれ、どのような固着状態となるかが極めて重要となる。このため、インクジェット方式により位置を管理して塗布し、管理された位置を保持できるよう速やかに乾燥させることが望ましい。
しかしながら、非特許文献１に示すような従来の方法では、一連の塗布処理が終了した後に、乾燥処理が行われる。このため、塗布処理開始から乾燥装置にセットされ乾燥処理が開始されるまでの間に、乾燥処理が行われないこととなる。このため、乾燥処理を開始するまでの間にガラス基板に塗布された液滴が動いてしまったり、液滴間のオーバーラップによるレベリングが意図しない状態で連鎖的に発生したりするおそれがある。
【００１０】
そこで、本発明は、高精度で均一な塗布が可能な薄膜形成装置及び薄膜形成方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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