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公開番号2024056419
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-23
出願番号2022163281
出願日2022-10-11
発明の名称基板処理装置
出願人東京エレクトロン株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20240416BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】搬送装置を大型化することなく、カセットの保管量を増やすことができる技術を提供する。
【解決手段】本開示の一態様による基板処理装置は、基板を収容した容器が搬入出される第1側面と、前記第1側面と反対側の第2側面とを有する搬入出部と、前記第2側面と直交する第1方向に沿って延びる基板搬送部と、前記基板搬送部の長手方向に沿って隣接する複数のバッチ処理部と、を備え、前記搬入出部は、前記容器を搬送可能な第1搬送装置及び第2搬送装置と、前記第1搬送装置がアクセス可能であり、前記容器を保管する複数の第1保管棚を含む第1領域と、前記第2搬送装置がアクセス可能であり、前記容器を保管する複数の第2保管棚を含む第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間で移動可能な可動棚と、を有する。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
基板を収容した容器が搬入出される第１側面と、前記第１側面と反対側の第２側面とを有する搬入出部と、
前記第２側面と直交する第１方向に沿って延びる基板搬送部と、
前記基板搬送部の長手方向に沿って隣接する複数のバッチ処理部と、
を備え、
前記搬入出部は、
前記容器を搬送可能な第１搬送装置及び第２搬送装置と、
前記第１搬送装置がアクセス可能であり、前記容器を保管する複数の第１保管棚を含む第１領域と、
前記第２搬送装置がアクセス可能であり、前記容器を保管する複数の第２保管棚を含む第２領域と、
前記第１領域と前記第２領域との間で移動可能な可動棚と、
を有する、
基板処理装置。
続きを表示（約 580 文字）【請求項２】
前記第１領域と前記第２領域とは水平方向に隣接し、
前記可動棚は、水平方向に沿って移動可能である、
請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記複数の第１保管棚は、鉛直方向及び水平方向に並んで配置され、
前記複数の第２保管棚は、鉛直方向及び水平方向に並んで配置される、
請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記搬入出部は、前記基板搬送部からアクセス可能であり、ダミー基板を収容する第３保管棚を有する、
請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記搬入出部は、前記可動棚を前記第１領域と前記第２領域との間で移動させる駆動機構を有し、
前記駆動機構は、ロッドレスシリンダを含む、
請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記第１搬送装置は、前記第２領域にアクセス不可能であり、
前記第２搬送装置は、前記第１領域にアクセス不可能である、
請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記第１領域又は前記第２領域と、当該基板処理装置の隣に設けられる別の基板処理装置との間で移動可能な第２可動棚を有する、
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の基板処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、基板処理装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
カセットを一時的に保管する保管棚と、保管棚にアクセス可能なカセット搬送装置とを有する搬入出部を備える基板処理装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１１３７４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、搬送装置を大型化することなく、カセットの保管量を増やすことができる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様による基板処理装置は、基板を収容した容器が搬入出される第１側面と、前記第１側面と反対側の第２側面とを有する搬入出部と、前記第２側面と直交する第１方向に沿って延びる基板搬送部と、前記基板搬送部の長手方向に沿って隣接する複数のバッチ処理部と、を備え、前記搬入出部は、前記容器を搬送可能な第１搬送装置及び第２搬送装置と、前記第１搬送装置がアクセス可能であり、前記容器を保管する複数の第１保管棚を含む第１領域と、前記第２搬送装置がアクセス可能であり、前記容器を保管する複数の第２保管棚を含む第２領域と、前記第１領域と前記第２領域との間で移動可能な可動棚と、を有する。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、搬送装置を大型化することなく、カセットの保管量を増やすことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、実施形態に係る基板処理装置を示す斜視図（１）である。
図２は、実施形態に係る基板処理装置を示す斜視図（２）である。
図３は、実施形態に係る基板処理装置を示す斜視図（３）である。
図４は、搬入出部の一例を示す概略図（１）である。
図５は、搬入出部の一例を示す概略図（２）である。
図６は、可動ユニットの一例を示す側面図である。
図７は、可動ユニットの別の一例を示す側面図である。
図８は、搬入出部の別の一例を示す概略図（１）である。
図９は、搬入出部の別の一例を示す概略図（２）である。
図１０は、基板搬送部及びバッチ処理部を示す概略図である。
図１１は、実施形態に係る基板処理装置群の搬入出部の一例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、添付の図面を参照しながら、本開示の限定的でない例示の実施形態について説明する。添付の全図面中、同一又は対応する部材又は部品については、同一又は対応する参照符号を付し、重複する説明を省略する。
【０００９】
図１～図１０を参照し、実施形態に係る基板処理装置１について説明する。図１～図３は、実施形態に係る基板処理装置１を示す斜視図であり、それぞれ異なる方向から基板処理装置１を見たときの図である。
【００１０】
基板処理装置１は、搬入出部２と、基板搬送部３と、複数のバッチ処理部４とを備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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