特許ウォッチ

公開番号2024053653
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-16
出願番号2022159992
出願日2022-10-04
発明の名称切削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B23Q 15/24 20060101AFI20240409BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】状況に応じた頻度で切削ブレードの位置のずれを確認できる切削装置を提供する。
【解決手段】切削装置は、加工予定ラインが設定された被加工物を保持するチャックテーブルと、切削ブレードが装着されるスピンドルを有する切削ユニットと、カメラと、処理装置及び記憶装置を有するコントローラーと、を含む。コントローラーは、記憶装置に記憶されたプログラムに従い、切削ユニットで切削された後の被加工物を、記憶装置に記憶されている頻度でカメラに撮影させて、切削痕が写る画像を取得し、画像に写る切削痕の位置に基づき、記憶装置に記憶されている切削ブレードの位置と実際の切削ブレードの位置とのずれの量を算出し、切削ユニットが切削した加工予定ラインの数と、算出されたずれの量と、に基づき、被加工物をカメラに撮影させる頻度を再設定する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
加工予定ラインが設定された被加工物を保持するチャックテーブルと、
切削ブレードが装着されるスピンドルを有し、該チャックテーブルにより保持された被加工物の該加工予定ラインを該切削ブレードで切削して被加工物に切削痕を形成する切削ユニットと、
該チャックテーブルにより保持された被加工物を撮影するカメラと、
処理装置及び記憶装置を有し、該記憶装置に記憶されている一又は複数のプログラムに従い動作するコントローラーと、を含み、
該コントローラーは、該プログラムに従い、
該切削ユニットで切削された後の被加工物を、該記憶装置に記憶されている頻度で該カメラに撮影させて、該切削痕が写る画像を取得し、
該画像に写る該切削痕の位置に基づき、該記憶装置に記憶されている該切削ブレードの位置と実際の該切削ブレードの位置とのずれの量を算出し、
該切削ユニットが切削した該加工予定ラインの数と、算出された該ずれの量と、に基づき、被加工物を該カメラに撮影させる該頻度を再設定する、切削装置。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
該ずれの量に関する情報を報知する報知ユニットを更に含み、
該コントローラーは、該プログラムに従い、
算出された該ずれの量が、所定の大きさのずれの量が属する第１範囲と、該第１範囲に比べて小さなずれの量が属する第２範囲と、のいずれに属するかを判定し、
算出された該ずれの量が該第１範囲に属する場合に、その旨を報知ユニットに報知させ、算出された該ずれの量が該第２範囲に属する場合に、算出された該ずれの量に基づき該記憶装置に記憶されている該切削ブレードの位置を補正する、請求項１に記載の切削装置。
【請求項３】
該コントローラーは、該プログラムに従い、
算出された該ずれの量が、所定の大きさのずれの量が属する第１範囲と、該第１範囲に比べて小さなずれの量が属する第２範囲と、該第２範囲に比べて小さなずれの量が属する第３範囲と、のいずれに属するかを判定し、
算出された該ずれの量が該第３範囲に属する場合に、該記憶装置に記憶されている該切削ブレードの位置を補正することなく該切削ユニットによる被加工物の切削を継続させる、請求項２に記載の切削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を切削する際に用いられる切削装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を切削（切削加工）する際には、例えば、環状の切削ブレードをスピンドルに装着した切削装置が使用される。高速に回転させた切削ブレードを被加工物に切り込ませながら、切削ブレードと被加工物とを相対的に移動させることで、この移動の経路に沿って被加工物が切削される。
【０００３】
ところで、上述のような切削装置では、被加工物の切削に伴い発生する熱等の影響でスピンドルが伸縮し、このスピンドルに装着されている切削ブレードの位置が、予め切削装置に記憶されている切削ブレードの位置からずれることがある。このように、切削ブレードの位置が、予め記憶されている位置からずれると、被加工物に対する切削ブレードの位置もずれて、被加工物の切削にかかる精度が低下する。
【０００４】
そこで、被加工物を切削することで形成される切削痕をカメラ等で撮影し、生成された画像内の切削痕の位置に基づいて切削ブレードの位置を確認するカーフチェック等と呼ばれる検査が、所定の頻度で行われている（例えば、特許文献１参照）。この検査で切削ブレードの位置のずれが検出されると、切削装置は、例えば、自身が記憶している切削ブレードの位置を、検出されたずれの量等に応じて補正する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１３－７４１９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、スピンドルの伸縮の程度は、被加工物の切削にかかる条件等に応じて大きく変動するので、切削ブレードの位置のずれの量が、事前に想定されている範囲内に収まらないこともある。そして、予め決められた所定の頻度で検査を行う上述の方法では、切削ブレードの位置のずれの量が想定よりも小さい状況や、想定よりも大きい状況に対して、十分に対応できない。
【０００７】
例えば、実際の切削ブレードの位置のずれの量が想定よりも小さい状況では、結果的に余分な数の検査を行うことになるので、理想的な頻度で検査を行う場合に比べて、切削装置が被加工物を切削できない時間が増える。一方で、切削ブレードのずれの量が想定よりも大きい状況では、検査の数が不足することになり、被加工物の切削にかかる精度が低下し易い。
【０００８】
よって、本発明の目的は、状況に応じた頻度で切削ブレードの位置のずれを確認できる切削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一側面によれば、加工予定ラインが設定された被加工物を保持するチャックテーブルと、切削ブレードが装着されるスピンドルを有し、該チャックテーブルにより保持された被加工物の該加工予定ラインを該切削ブレードで切削して被加工物に切削痕を形成する切削ユニットと、該チャックテーブルにより保持された被加工物を撮影するカメラと、処理装置及び記憶装置を有し、該記憶装置に記憶されている一又は複数のプログラムに従い動作するコントローラーと、を含み、該コントローラーは、該プログラムに従い、該切削ユニットで切削された後の被加工物を、該記憶装置に記憶されている頻度で該カメラに撮影させて、該切削痕が写る画像を取得し、該画像に写る該切削痕の位置に基づき、該記憶装置に記憶されている該切削ブレードの位置と実際の該切削ブレードの位置とのずれの量を算出し、該切削ユニットが切削した該加工予定ラインの数と、算出された該ずれの量と、に基づき、被加工物を該カメラに撮影させる該頻度を再設定する、切削装置が提供される。
【００１０】
好ましくは、該ずれの量に関する情報を報知する報知ユニットを更に含み、該コントローラーは、該プログラムに従い、算出された該ずれの量が、所定の大きさのずれの量が属する第１範囲と、該第１範囲に比べて小さなずれの量が属する第２範囲と、のいずれに属するかを判定し、算出された該ずれの量が該第１範囲に属する場合に、その旨を報知ユニットに報知させ、算出された該ずれの量が該第２範囲に属する場合に、算出された該ずれの量に基づき該記憶装置に記憶されている該切削ブレードの位置を補正する。
（【００１１】以降は省略されています）

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