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公開番号2024052748
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-12
出願番号2024015863,2020550519
出願日2024-02-05,2019-10-02
発明の名称窓材、光学パッケージ
出願人AGC株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 23/02 20060101AFI20240405BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】 回路基板と接合した際に割れが生じることを抑制した窓材を提供することを目的とする。
【解決手段】 光学素子を備えた光学パッケージ用の窓材であって、
無機材料の基体と、
前記無機材料の基体の一方の面上に、前記無機材料の基体の外周に沿って配置された接合層とを有し、
前記接合層の幅が0.2mm以上2mm以下であり、
前記接合層の厚さが15μmより厚く100μm以下である窓材を提供する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項1】
光学素子を備えた光学パッケージ用の窓材であって、
無機材料の基体と、
前記無機材料の基体の一方の面上に、前記無機材料の基体の外周に沿って配置された接合層とを有し、
前記接合層の幅が0.2mm以上2mm以下であり、
前記接合層の厚さが15μmより厚く100μm以下である窓材。
続きを表示(約 350 文字)【請求項2】
前記接合層は半田層を有しており、前記半田層に含まれる半田のヤング率Eが50GPa以下である請求項1に記載の窓材。
【請求項3】
20℃以上200℃以下における、前記無機材料の基体の熱膨張係数と前記半田の熱膨張係数との差が30ppm/℃以下である請求項2に記載の窓材。
【請求項4】
前記無機材料の基体と、前記接合層との界面における残留応力が100MPa以下である請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の窓材。
【請求項5】
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の窓材と、光学素子を備えた回路基板とを有する光学パッケージ。
【請求項6】
前記回路基板はセラミックス製の絶縁性基材を有する請求項5に記載の光学パッケージ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、窓材、光学パッケージに関する。
続きを表示(約 1,400 文字)【背景技術】
【0002】
従来から発光ダイオード等の光学素子を回路基板の凹部内に配置後、該凹部の開口部を、透明樹脂基材等を備えた窓材により封止し、光学パッケージとして用いる場合があった。
【0003】
この場合、窓材は樹脂製の接着剤等により回路基板と接合されていたが、光学素子の種類等によっては気密封止性の向上が求められていた。このため、回路基板と窓材とを樹脂製の接着剤に代えて、金属材料により接合することが検討されてきた。
【0004】
例えば特許文献1には、実装基板と、前記実装基板に実装された紫外線発光素子と、前記実装基板上に配置され前記紫外線発光素子を露出させる貫通孔が形成されたスペーサと、前記スペーサの前記貫通孔を塞ぐように前記スペーサ上に配置されたカバーと、を備え、前記紫外線発光素子は、紫外線の波長域に発光ピーク波長を有し、前記実装基板は、支持体と、前記支持体に支持された第1接合用金属層と、を備え、前記スペーサは、Siにより形成されたスペーサ本体と、前記スペーサ本体における前記実装基板との対向面側で前記実装基板の前記第1接合用金属層に対向しており前記対向面における外周縁の全周に沿って形成されている第2接合用金属層と、を備え、前記貫通孔は、前記スペーサ本体に形成されており、前記貫通孔は、前記実装基板から離れるにつれて開口面積が漸次増加しており、前記カバーは、前記紫外線発光素子から放射される紫外線を透過するガラスにより形成され、前記スペーサと前記カバーとが直接接合されており、前記スペーサの第2接合用金属層と前記実装基板の前記第1接合用金属層とが前記第2接合用金属層の全周に亘ってAuSnにより接合されている、ことを特徴とする発光装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
日本国特許第5877487号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
特許文献1に開示された発光装置では、カバーとスペーサとを陽極接合により直接接合するとされているが、接合後、カバーに割れを生じる場合があった。
【0007】
上記従来技術が有する問題に鑑み、本発明の一側面では、回路基板と接合した際に割れが生じることを抑制した窓材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記課題を解決するため本発明の一態様では、光学素子を備えた光学パッケージ用の窓材であって、
無機材料の基体と、
前記無機材料の基体の一方の面上に、前記無機材料の基体の外周に沿って配置された接合層とを有し、
前記接合層の幅が0.2mm以上2mm以下であり、
前記接合層の厚さが15μmより厚く100μm以下である窓材を提供する。
【発明の効果】
【0009】
本発明の一態様によれば、回路基板と接合した際に割れが生じることを抑制した窓材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
本実施形態の窓材の構成説明図。
無機材料の基体の側面の構成例の説明図。
本実施形態の光学パッケージの構成説明図。
【発明を実施するための形態】
(【0011】以降は省略されています)

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