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公開番号2024052563
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-11
出願番号2023144733
出願日2023-09-06
発明の名称チャック機構及び成膜装置
出願人芝浦メカトロニクス株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類C23C 14/50 20060101AFI20240404BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】複数のワークを一括して保持又は解放可能なチャック機構及び成膜装置を提供する。
【解決手段】チャック機構500は、軸部510から放射状に延びた複数本の第1のアーム522を有し、第1のアームの先端に設けられ、ワークの外縁に接離する第1の保持部523を有する第1の回動部520、第1の回動部と同軸に回動可能に設けられ、軸部510から放射状に延びた複数本の第2のアーム532を有し、第1のアーム522と第2のアーム532が一対の組となり、第2のアームの先端に設けられ、ワークの外縁に接離する第2の保持部533を有する第2の回動部530、第1の回動部520及び第2の回動部530を同期して回動させ、一対の第1の保持部523及び第2の保持部533の各組を、ワークを保持する保持位置と、ワークを解放する解放位置との間で同時に移動させることにより、複数のワークを一括して保持又は解放させる駆動部540を有する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
軸部を中心に回動可能に設けられ、前記軸部から放射状に延びた複数本の第１のアームを有し、前記第１のアームのそれぞれの先端に設けられ、ワークの外縁に接離する第１の保持部を有する第１の回動部と、
前記第１の回動部と同軸に回動可能に設けられ、前記軸部から放射状に延びた複数本の第２のアームを有し、前記第２のアームのそれぞれの先端に設けられ、前記ワークの外縁に接離する第２の保持部を有する第２の回動部と、
前記複数本の第１のアームのそれぞれと前記複数本の第２のアームのそれぞれとが一対の組となり、前記第１の回動部及び前記第２の回動部を同期して回動させ、一対の前記第１の保持部及び前記第２の保持部の組を、前記ワークを保持する保持位置と、前記ワークを解放する解放位置との間で同時に移動させることにより、複数の前記ワークを一括して保持又は解放させる駆動部と、
を有することを特徴とするチャック機構。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記駆動部は、前記第１の回動部と前記第２の回動部を同期して互いに逆方向に回動させることを特徴とする請求項１記載のチャック機構。
【請求項３】
前記第１の保持部と前記第２の保持部の保持位置は、前記ワークを前記軸部の軸方向に直交する方向に保持可能となるように設定されていることを特徴とする請求項１記載のチャック機構。
【請求項４】
前記駆動部は、
駆動軸を直線移動させる駆動源と、
前記駆動源による前記駆動軸の直線移動を、前記第１の回動部及び前記第２の回動部の回動に変換する変換機構と、
を有することを特徴とする請求項１記載のチャック機構。
【請求項５】
前記変換機構は、
前記軸部に向かって直線移動する前記駆動軸と、
前記駆動軸の軸部に近い端部に、一端が回動可能に連結された一対の連結部材と、
を有し、
一方の前記連結部材の他端が、前記第１の回動部における前記駆動軸に最も近い一つの前記第１のアームに回動可能に連結され、
他方の前記連結部材の他端が、前記第２の回動部における前記駆動軸に最も近い一つの前記第２のアームに回動可能に連結されていることを特徴とする請求項４記載のチャック機構。
【請求項６】
前記第１のアームは３本以上であり、
前記第２のアームは３本以上であり、
３つ以上の前記ワークを同時に保持又は解放可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載のチャック機構。
【請求項７】
真空とすることが可能なチャンバと、
前記チャンバに設けられ、ターゲットを有する成膜室において、複数のワークに対してスパッタリングにより成膜を行う成膜部と、
前記チャンバに設けられ、複数の前記ワークを、前記成膜室に対向する位置に搬送する搬送体と、
前記ワークを前記チャンバ内に搬入搬出する搬入搬出部と、
請求項１記載のチャック機構を有し、前記搬入搬出部に複数の前記ワークを一括して受け渡す供給部と、
を有することを特徴とする成膜装置。
【請求項８】
前記供給部は、前記チャック機構によって、一括して保持される複数の前記ワークをそれぞれ積層して収容するストッカを有することを特徴とする請求項７記載の成膜装置。
【請求項９】
前記チャック機構は、前記ワークと平行な方向に回動可能に設けられ、
複数の前記ストッカが、前記チャック機構の回動に応じて、前記第１の保持部及び前記第２の保持部が複数の前記ワークを一括して保持可能な位置に、複数設けられていることを特徴とする請求項８記載の成膜装置。
【請求項１０】
真空とすることが可能なチャンバと、
前記チャンバに設けられ、ターゲットを有する成膜室において、複数のワークに対してスパッタリングにより成膜を行う成膜部と、
前記成膜部において成膜された複数の前記ワークを、請求項１記載のチャック機構により保持して一括して反転させる反転部と、
を有することを特徴とする成膜装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャック機構及び成膜装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
基板などの成膜対象物であるワークの表面に成膜を行う装置として、スパッタリングによる成膜装置が広く用いられている。スパッタリングは、真空引きされたチャンバ内に導入したガスをプラズマ化することによりイオンを発生させ、発生したイオンが、成膜材料であるターゲットの表面に衝突することにより、成膜材料が飛び出して基板に付着することを利用した技術である。
【０００３】
このようなスパッタリングにおいては、個々の基板の成膜に所定の時間が必要となるため、多数の基板を一枚ずつ成膜する場合、所要時間が長くなる。これに対処するため、ターゲットに対して複数の基板を対向配置して、一括して成膜することが行われている（引用文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平０１－２１２７５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、複数の基板に対して成膜処理を一括して行うとしても、基板を、ストッカから一つずつ取り出して、チャンバ内に搬入搬出を行う場合には、所要時間が長くなり、生産性の向上が妨げられる。また、基板の両面に対して成膜する場合に、成膜後の基板を、一つずつ反転させる場合にも、所要時間が長くなり、生産性が低下する。基板を、チャンバ内に搬入搬出を行う機構や、反転する機構を複数設けるとしても、機構が増大するとともに、必要な部材が多くなり、構造が複雑化する。
【０００６】
本発明の実施形態は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、複数のワークを一括して保持又は解放可能なチャック機構及び成膜装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するため、実施形態のチャック機構は、軸部を中心に回動可能に設けられ、前記軸部から放射状に延びた複数本の第１のアームを有し、前記第１のアームのそれぞれの先端に設けられ、ワークの外縁に接離する第１の保持部を有する第１の回動部と、前記第１の回動部と同軸に回動可能に設けられ、前記軸部から放射状に延びた複数本の第２のアームを有し、前記第２のアームのそれぞれの先端に設けられ、前記ワークの外縁に接離する第２の保持部を有する第２の回動部と、前記複数本の第１のアームのそれぞれと前記複数本の第２のアームのそれぞれとが一対の組となり、前記第１の回動部及び前記第２の回動部を同期して回動させ、一対の前記第１の保持部及び前記第２の保持部の組を、前記ワークを保持する保持位置と、前記ワークを解放する解放位置との間で同時に移動させることにより、複数の前記ワークを一括して保持又は解放させる駆動部と、を有する。
【０００８】
実施形態の成膜装置は、真空とすることが可能なチャンバと、前記チャンバに設けられ、ターゲットを有する成膜室において、複数のワークに対してスパッタリングにより成膜を行う成膜部と、前記チャンバに設けられ、前記複数のワークを、前記成膜室に対向する位置に搬送する搬送体と、前記ワークを前記チャンバ内に搬入搬出する搬入搬出部と、前記チャック機構を有し、前記搬入搬出部に複数の前記ワークを一括して受け渡す供給部と、を有する。
【０００９】
また、実施形態の成膜装置は、真空とすることが可能なチャンバと、前記チャンバに設けられ、ターゲットを有する成膜室において、複数のワークに対してスパッタリングにより成膜を行う成膜部と、前記成膜部において成膜された複数のワークを、前記チャック機構により保持して一括して反転させる反転部と、を有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の実施形態によれば、複数のワークを一括して保持又は解放可能なチャック機構及び成膜装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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