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公開番号2024052005
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-11
出願番号2022158432
出願日2022-09-30
発明の名称搬送システムおよび搬送方法
出願人株式会社安川電機
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20240404BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板のたわみがあった場合であっても接触による基板の破損を防止すること。
【解決手段】実施形態に係る搬送システムは、ロボットと、コントローラとを備える。コントローラは、ロボットの動作を制御する。ロボットは、ハンドと昇降機構とを備える。ハンドは、基板を搬送する。昇降機構はハンドを昇降させる。ハンドは、保持している基板の下面との距離を検出可能なセンサを備える。コントローラは、記憶部と、検出部と、算出部とを備える。記憶部は、基板の載置位置における載置高さを含む載置情報を記憶する。検出部は、載置高さからハンドを下降させた場合に、基板がハンドから離れた離反高さを検出する。算出部は、載置高さと離反高さとの差分に基づいて基板のたわみ量を算出する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ロボットと、
前記ロボットの動作を制御するコントローラと
を備え、
前記ロボットは、
基板を搬送するハンドと、
前記ハンドを昇降させる昇降機構と
を備え、
前記ハンドは、
保持している前記基板の下面との距離を検出可能なセンサを備え、
前記コントローラは、
前記基板の載置位置における載置高さを含む載置情報を記憶する記憶部と、
前記載置高さから前記ハンドを下降させた場合に、当該基板が前記ハンドから離れた離反高さを検出する検出部と、
当該載置高さと当該離反高さとの差分に基づいて当該基板のたわみ量を算出する算出部と
を備えることを特徴とする搬送システム。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記ロボットは、
前記基板を多段に収容するカセットに対して前記基板の搬出入を行い、
前記載置情報は、
前記カセットの各段における載置高さを含むこと
を特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記基板は、
矩形のパネルであり、
前記カセットは、
該カセットの正面からみて前記基板の両端をそれぞれ支持する第１支持部および第２支持部と、
前記正面からみて前記基板を前記第１支持部および前記第２支持部の中間位置で支持する第３支持部と
を備え、
前記ハンドは、
前記第１支持部と前記第３支持部との間に挿入可能な第１延伸部と、前記第２支持部と前記第３支持部との間に挿入可能な第２延伸部とを少なくとも備え、
前記センサは、
前記第１延伸部および前記第２延伸部の基端側にそれぞれ設けられること
を特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記第３支持部は、
前記カセットの背面から前記正面へ向けて延伸するバーであり、上面視で、前記第１支持部および前記第２支持部の最前端よりも最前端が前記カセットの背面寄りにあること
を特徴とする請求項３に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記センサは、
前記ハンドが前記カセットの内部における前記基板の受け渡し位置にある場合に、上面視で、前記第３支持部の最前端と、当該基板の最前端との間にあること
を特徴とする請求項４に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記検出部は、
前記第１延伸部および前記第２延伸部の基端側にそれぞれ設けられた前記センサに前記基板における前記ハンド寄りの辺を検出させることによって、搬送対象となる当該基板の前記ハンドに対する向きを検出すること
を特徴とする請求項３に記載の搬送システム。
【請求項７】
前記ロボットは、
前記カセットへの前記基板の搬入を上段から下段へ向かう順序で行い、
前記コントローラは、
前記カセットに対して最後に搬入した前記基板のたわみ量に基づいて直下の段へのあらたな前記基板の搬入可否を判定する判定部
をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
【請求項８】
前記センサは、
前記ハンドの基端側に設けられること
を特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項９】
前記検出部は、
前記基板が前記ハンドによって保持されているか否かを前記センサによって検出すること
を特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項１０】
前記ロボットは、
前記基板の向きを整えるアライナに対して前記基板の搬出入を行い、
前記載置情報は、
前記アライナにおける載置高さを含むこと
を特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
開示の実施形態は、搬送システムおよび搬送方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ウェハやパネルといった基板を搬送するハンドを有するロボットを用いて、基板を収容するカセットとの間で基板の搬出入を行う搬送システムが知られている。
【０００３】
たとえば、ロボットと、カセットに収容済のウェハとが接触する可能性の有無を、ウェハ搬送アームやカセットのセンサによって検出する技術が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００７－２３４９３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記した従来技術には、カセットに収容済の基板のたわみがあった場合に、収容済の基板と、ロボットやあらたに搬入する基板とが接触する可能性がある。
【０００６】
実施形態の一態様は、基板のたわみがあった場合であっても接触による基板の破損を防止することができる搬送システムおよび搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態の一態様に係る搬送システムは、ロボットと、前記ロボットの動作を制御するコントローラとを備える。前記ロボットは、基板を搬送するハンドと、前記ハンドを昇降させる昇降機構とを備える。前記ハンドは、保持している前記基板の下面との距離を検出可能なセンサを備える。前記コントローラは、記憶部と、検出部と、算出部とを備える。記憶部は、前記基板の載置位置における載置高さを含む載置情報を記憶する。検出部は、前記載置高さから前記ハンドを下降させた場合に、当該基板が前記ハンドから離れた離反高さを検出する。算出部は、当該載置高さと当該離反高さとの差分に基づいて当該基板のたわみ量を算出する。
【発明の効果】
【０００８】
実施形態の一態様によれば、基板のたわみがあった場合であっても接触による基板の破損を防止することができる搬送システムおよび搬送方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、搬送システムの概要を示す上面模式図である。
図２は、センサの検出範囲を示す側面模式図である。
図３は、ロボットの斜視図である。
図４Ａは、カセットの正面模式図である。
図４Ｂは、カセットの上面模式図である。
図５は、基板の搬入可否に関する判定処理の説明図である。
図６は、基板向き検出処理の説明図である。
図７は、搬送室の上面図である。
図８は、搬送システムのブロック図である。
図９は、たわみ量情報の説明図である。
図１０は、搬送高さ調整処理の処理手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本願の開示する搬送システムおよび搬送方法を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
（【００１１】以降は省略されています）

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