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公開番号2024049112
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-09
出願番号2022155377
出願日2022-09-28
発明の名称マスク装置及びマスク装置の製造方法
出願人大日本印刷株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類C23C 14/04 20060101AFI20240402BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】フレームを大型化しても、第1辺及び第2辺に生じる復元力と、マスクに加わる張力との間のバランスが適切に調整されたマスク装置を提供する。
【解決手段】開口を挟んで第1方向において対向する第1辺及び第2辺と、開口を挟んで前記第1方向に交差する第2方向において対向する第3辺及び第4辺と、を含むフレームと、第1辺及び第2辺に固定された端部を含み、第2方向に沿って並ぶ複数のマスクと、第1辺及び第2辺に固定された端部を含み、第2方向に沿って並ぶ複数のカバーマスクと、を備える。複数のマスクの各々は、複数の貫通孔を含んでもよい。複数のカバーマスクの各々は、平面視において、第2方向において隣り合う2つのマスクの両方に部分的に重なってもよい。少なくとも1つのカバーマスクは、少なくとも1つのカバーマークを含み、カバーマークは、平面視において、第2方向において隣り合う2つのマスクの間に位置してもよい。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
マスク装置であって、
開口を挟んで第１方向において対向する第１辺及び第２辺と、前記開口を挟んで前記第１方向に交差する第２方向において対向する第３辺及び第４辺と、を含むフレームと、
前記第１辺及び前記第２辺に固定された端部を含み、前記第２方向に沿って並ぶ複数のマスクと、
前記第１辺及び前記第２辺に固定された端部を含み、前記第２方向に沿って並ぶ複数のカバーマスクと、を備え、
前記複数のマスクの各々は、前記フレームに面する第２面と、前記第２面の反対側に位置する第１面と、前記第１面から前記第２面に至る複数の貫通孔と、を含み、
前記複数のカバーマスクの各々は、前記フレームに面するカバー第２面と、前記カバー第２面の反対側に位置するカバー第１面と、を含み、且つ、平面視において、前記第２方向において隣り合う２つの前記マスクの両方に部分的に重なり、
少なくとも１つの前記カバーマスクは、前記カバー第１面に位置する少なくとも１つのカバーマークを含み、
前記カバーマークは、平面視において、前記第２方向において隣り合う２つの前記マスクの間に位置する、マスク装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記カバーマークは、前記カバーマスクを貫通しない凹部を含む、請求項１に記載のマスク装置。
【請求項３】
前記カバーマスクは、前記第２方向において隣り合う２つの前記マスクの間に位置し、前記カバーマスクを貫通する貫通孔を含まない、請求項２に記載のマスク装置。
【請求項４】
前記カバーマスクは、前記第２方向において２．０ｍｍ以上１０．０ｍｍ以下の寸法を有する、請求項１に記載のマスク装置。
【請求項５】
前記カバーマークは、平面視において前記開口に重なり、且つ前記第１辺又は前記第２辺に近接し、
前記第１方向における前記カバーマークから前記第１辺又は前記第２辺までの距離が、３．０ｍｍ以下である、請求項１～４のいずれか一項に記載のマスク装置。
【請求項６】
前記カバーマークは、平面視において前記第１辺又は前記第２辺に重なる、請求項１～４のいずれか一項に記載のマスク装置。
【請求項７】
前記カバーマスクは、前記第２方向に並び、前記フレームに溶接されている複数の溶接部を含む第１列と、前記第１列と前記開口との間に位置し、前記第２方向に並び、前記フレームに溶接されている複数の溶接部を含む第２列と、を含み、
前記カバーマークは、前記第１方向において前記第１列と前記第２列との間に位置する、請求項６に記載のマスク装置。
【請求項８】
前記少なくとも１つのカバーマークは、平面視において前記第１辺に重なる又は前記第１辺に近接する第１カバーマークと、平面視において前記第２辺に重なる又は前記第２辺に近接する第２カバーマークと、を含む、請求項１～４のいずれか一項に記載のマスク装置。
【請求項９】
前記複数のカバーマスクは、
前記カバー第１面に位置する少なくとも１つの前記カバーマークを含む中央カバーマスクと、
前記カバー第１面に位置する少なくとも１つの前記カバーマークを含み、前記第２方向において前記中央カバーマスクと前記第３辺との間に位置する第１カバーマスクと、
前記カバー第１面に位置する少なくとも１つの前記カバーマークを含み、前記第２方向において前記中央カバーマスクと前記第４辺との間に位置する第２カバーマスクと、を含む、請求項１～４のいずれか一項に記載のマスク装置。
【請求項１０】
前記中央カバーマスクの前記カバーマークは、前記第１カバーマスクの前記カバーマーク及び前記第２カバーマスクの前記カバーマークよりも、前記第１方向において内側に位置する、請求項９に記載のマスク装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示の実施形態は、マスク装置及びマスク装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ表示装置などの有機デバイスが注目されている。有機デバイスの素子を形成する方法として、素子を構成する材料を蒸着により基板に付着させる方法が知られている。例えば、まず、素子に対応するパターンで第１電極が形成されている基板を準備する。続いて、マスク装置を用いて蒸着工程を実施する。マスク装置は、貫通孔を含むマスクと、マスクを支持するフレームと、を備える。マスクの貫通孔を通った有機材料が第１電極の上に付着することにより、第１電極の上に有機層が形成される。
【０００３】
フレームは、マスクの端部が固定されている第１辺及び第２辺を含む。第１辺及び第２辺は、開口を挟んで第１方向において対向している。フレームは、第１方向においてマスクに張力を加えた状態でマスクを支持する。これにより、マスクに撓みが生じることが抑制される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開２０１９／０４９６００号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
マスク装置の製造方法においては、開口に向かう方向においてフレームの第１辺及び第２辺に押圧力を加えた状態で、第１辺及び第２辺に、複数のマスクが順に固定される。各マスクは、マスクに張力が加えられた状態でフレームの第１辺及び第２辺に固定される。全てのマスクがフレームに固定された後、押圧力が取り除かれる。押圧力が取り除かれた後、フレームの第１辺及び第２辺には、弾性的な復元力が生じる。この結果、マスクがフレームに固定された後にも、マスクに張力が加えられる。マスクに加わる張力が適切であれば、マスクの貫通孔が適切に位置付けられる。
【０００６】
有機デバイスの製造コストを低減する手段の１つとして、基板の大型化が考えられる。基板が大型化すると、フレームも大型化する。フレームが大型化すると、第１辺及び第２辺に生じる復元力と、マスクに加わる張力との間のバランス調整の難易度が高くなる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一実施形態によるマスク装置は、開口を挟んで第１方向において対向する第１辺及び第２辺と、前記開口を挟んで前記第１方向に交差する第２方向において対向する第３辺及び第４辺と、を含むフレームと、前記第１辺及び前記第２辺に固定された端部を含み、前記第２方向に沿って並ぶ複数のマスクと、前記第１辺及び前記第２辺に固定された端部を含み、前記第２方向に沿って並ぶ複数のカバーマスクと、を備えてもよい。前記複数のマスクの各々は、前記フレームに面する第２面と、前記第２面の反対側に位置する第１面と、前記第１面から前記第２面に至る複数の貫通孔と、を含んでもよい。前記複数のカバーマスクの各々は、前記フレームに面するカバー第２面と、前記カバー第２面の反対側に位置するカバー第１面と、を含んでもよい。前記複数のカバーマスクの各々は、平面視において、前記第２方向において隣り合う２つの前記マスクの両方に部分的に重なってもよい。少なくとも１つの前記カバーマスクは、前記カバー第１面に位置する少なくとも１つのカバーマークを含んでもよい。前記カバーマークは、平面視において、前記第２方向において隣り合う２つの前記マスクの間に位置してもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の実施形態によれば、第１辺及び第２辺に生じる復元力と、マスクに加わる張力との間のバランスが適切に調整されたマスク装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
有機デバイスの一例を示す断面図である。
有機デバイス群の一例を示す平面図である。
蒸着装置の一例を示す断面図である。
マスク装置の一例を示す平面図である。
マスクの一例を示す平面図である。
マスクの一例を示す断面図である。
マスク及びカバーマスクを拡大して示す平面図である。
図７のVIIIA-VIIIAに沿った断面図である。
カバーマスクの一例を示す断面図である。
マスク装置の製造装置の一例を示す平面図である。
マスク装置の製造方法の一例を示すフローチャートである。
カバーマスクを固定する工程の一例を示す平面図である。
支持マスクを固定する工程の一例を示す平面図である。
アライメントマスクを固定する工程の一例を示す平面図である。
取付工程の一例を示すフローチャートである。
第１押圧工程の一例を示す平面図である。
第１固定工程の一例を示す平面図である。
第１固定工程及び第１検査工程の一例を示す平面図である。
第２取付工程の一例を示す平面図である。
第３取付工程～第８取付工程の一例を示す平面図である。
第９取付工程及び第１０取付工程の一例を示す平面図である。
解放工程及び最終検査工程の一例を示す平面図である。
カバーマスクの一例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、「基板」や「基材」や「板」や「シート」や「フィルム」などのある構成の基礎となる物質を意味する用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。
（【００１１】以降は省略されています）

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