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公開番号2024043122
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-29
出願番号2022148127
出願日2022-09-16
発明の名称端材回収装置
出願人キオクシア株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類B23Q 11/00 20060101AFI20240322BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【目的】Si端材が混入した処理水を処理装置から排水させ、処理装置を停止させることなく、処理装置からの排水内のSi端材を回収可能な装置を提供する。
【構成】実施形態の端材回収装置100は、複数のかご10,12と、回転駆動機構122,124と、複数の回収容器40,42と、を備える。複数のかごは、上部が開口され、メッシュ状面と多孔面との少なくとも一方で形成された少なくとも1つの面を有し、端材が液体に混入した混入液を前記上部から受け、前記混入液のうち前記端材の少なくとも一部を捕集すると共に前記液体を前記少なくとも1つの面から排出する。回転駆動機構は、前記上部が下を向く方向に前記複数のかごを個別に回転させる。複数の回収容器は、前記複数のかごが個別に前記上部が下を向く方向に回転することによって落下する前記端材を回収する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
上部が開口され、メッシュ状面と多孔面との少なくとも一方で形成された少なくとも１つの面を有し、端材が液体に混入した混入液を前記上部から受け、前記混入液のうち前記端材の少なくとも一部を捕集すると共に前記液体を前記少なくとも１つの面から排出する、複数のかごと、
前記上部が下を向く方向に前記複数のかごを個別に回転させる回転駆動機構と、
前記複数のかごが個別に前記上部が下を向く方向に回転することによって落下する前記端材を回収する複数の回収容器と、
を備えたことを特徴とする端材回収装置。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
前記複数のかごは、断面がＶ字形状と、Ｕ字形状と、底辺と底辺の両端の一方に接続された１辺と他方に接続された１辺とで形成される形状と、のうちの１つの形状を有することを特徴とする請求項１記載の端材回収装置。
【請求項３】
前記複数のかごは、
外周の一辺同士が水平ではない角度で連結された第１と第２の面と、
前記第１と第２の面の連結された辺に連続する各側面側の辺同士の間の面を塞ぐ第３と第４の面と、
を有し、
前記第１と第２の面のうち、一方の面は前記メッシュ状面と前記多孔面との少なくとも一方で形成され、前記液体を排出し、他方の面は前記液体を通さないことを特徴とする請求項１記載の端材回収装置。
【請求項４】
前記複数のかごのそれぞれに溜まった前記端材を検出する複数のセンサをさらに備えたことを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の端材回収装置。
【請求項５】
前記混入液を前記複数のかごのうちのいずれか１つに選択的に流すように流路を切り替える切り替え機構をさらに備えたことを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の端材回収装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、端材回収装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造において、例えばバックグラインド加工時にシリコン（Ｓｉ）の端材が処理水に混入してしまう。そのため、かかるプロセスの処理装置内に処理水を溜め、定期的に装置を停止し、Ｓｉ端材を処理水から分離した後、作業員が手作業でＳｉ端材を装置から取り除く必要があった。
【０００３】
バックグラインド加工ではないが、例えば、ダイシング装置内部に配置された端材回収装置によりパンチングメタル上に廃液を流し、パンチングメタルで固液分離し端材を捕集する。そして、パンチングメタルが自重で垂れ下がる位置までパンチングメタルを押し出し、パンチングメタルが自重で垂れ下がることでパンチングメタル上の端材を落下させる。そして、ダイシング装置の停止中に作業者が落下した端材を装置内から取り除くといった技術が開示されている。
【０００４】
Ｓｉ端材は鋭利な形状をしている場合があり、手作業では作業員が怪我をする恐れがあった。また、かかる作業に時間がかかり、その間、装置を停止しなければならず、生産ロスが大きいといった問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００９－０９６０８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の実施形態は、Ｓｉ端材が混入した処理水を処理装置から排水させ、処理装置を停止させることなく、処理装置からの排水内のＳｉ端材を回収可能な装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態の端材回収装置は、複数のかごと、回転駆動機構と、複数の回収容器と、を備える。複数のかごは、上部が開口され、メッシュ状面と多孔面との少なくとも一方で形成された少なくとも１つの面を有し、端材が液体に混入した混入液を前記上部から受け、前記混入液のうち前記端材の少なくとも一部を捕集すると共に前記液体を前記少なくとも１つの面から排出する。回転駆動機構は、前記上部が下を向く方向に前記複数のかごを個別に回転させる。複数の回収容器は、前記複数のかごが個別に前記上部が下を向く方向に回転することによって落下する前記端材を回収する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１の実施形態における端材回収装置の構成の一例を示す図である。
第１の実施形態におけるかごの一例を示す斜視図である。
第１の実施形態におけるかごの他の一例を示す断面図である。
第１の実施形態におけるかごの他の一例を示す断面図である。
第１の実施形態における端材の分離から回収までの動作を説明するための図である。
第１の実施形態におけるかごに溜まる端材の量を測定する手法を説明するための図である。
第１の実施形態におけるかごの構成の他の一例を示す図である。
第１の実施形態におけるかごの回転動作の一例を示す図である。
第１の実施形態におけるかごの回転動作の他の一例を示す図である。
第１の実施形態におけるかごの構成の他の一例を示す図である。
第１の実施形態における複数のかごの間に空間をあけずに配置する場合を示す図である。
第１の実施形態における複数のかごの間に空間をあけて配置する場合を示す図である。
第１の実施形態における破片受けの構成の一例を示す図である。
第１の実施形態における破片受けとかごと排水受けとを配置した状態の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態における端材回収装置の構成の一例を示す図である。図１において、端材回収装置１００は、複数のかご１０，１２と、排水受け２０と、複数の破片受け３０，３２と、複数の回収容器４０，４２と、流路切替機構５０と、複数のセンサ６０，６２と、少なくとも１つの回転駆動機構１２２，１２４と、制御回路１２０と、を備える。
【００１０】
端材回収装置１００は、制御回路１２０により制御される。制御回路１２０には、一部図示を省略したバスを介して回転駆動機構１２２，１２４、流路切替機構５０、及び複数のセンサ６０，６２が接続される。また、制御回路１２０には、重量センサ４４，４５が例えば無線或いは有線で通信可能に接続される。
（【００１１】以降は省略されています）

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