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公開番号2024033210
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-13
出願番号2022136665
出願日2022-08-30
発明の名称深紫外線発光装置
出願人旭化成株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 33/60 20100101AFI20240306BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】紫外線発光装置の使用を継続しても、所望の波長の光が外部へ放射されてしまうことを抑制する事が可能な深紫外線発光装置を提供する。
【解決手段】深紫外線発光装置は、紫外線発光光源と、前記深紫外線発光光源から発せられる光の入射角度がθ1となる位置に配置され、所定の波長の光を反射する第一フィルタと、前記深紫外線発光光源から発せられる光の入射角度がθ2となり、かつ前記入射角度θ2が前記入射角度θ1よりも大きくなる位置に配置され、前記所定の波長の光を反射する第二フィルタと、を備えている。深紫外線発光光源から発せられる光の波長は、220nm以上240nm未満であることが好ましく、第一フィルタ及び第二フィルタの所定の波長の光に対する反射率は90%超であることが好ましい。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
深紫外線発光光源と、
前記深紫外線発光光源から発せられる光の入射角度がθ１となる位置に配置され、所定の波長の光を反射する第一フィルタと、
前記深紫外線発光光源から発せられる光の入射角度がθ２となり、かつ前記入射角度θ２が前記入射角度θ１よりも大きくなる位置に配置され、前記所定の波長の光を反射する第二フィルタと、
を備える
深紫外線発光装置。
続きを表示（約 990 文字）【請求項２】
前記深紫外線発光光源から発せられる光の波長は、２２０ｎｍ以上２４０ｎｍ未満である
請求項１に記載の深紫外線発光装置。
【請求項３】
前記深紫外線発光光源は、深紫外線ＬＥＤである
請求項２に記載の深紫外線発光装置。
【請求項４】
前記第一フィルタは、前記入射角度θ１で入射した波長２４０ｎｍ以上２６０ｎｍ以下の光の透過率が１０％以下であり、
前記第二フィルタは、前記入射角度θ２で入射した波長２４０ｎｍ以上２６０ｎｍ以下の光の透過率が１０％以下である
請求項３に記載の深紫外線発光装置。
【請求項５】
前記第一フィルタ及び前記第二フィルタの前記所定の波長の光に対する反射率は、９０％超である
請求項１に記載の深紫外線発光装置。
【請求項６】
前記第一フィルタ及び前記第二フィルタは、前記入射角度θ１が前記入射角度θ２より０°以上６０°未満の範囲で小さくなる位置に配置されている
請求項１に記載の深紫外線発光装置。
【請求項７】
前記第二フィルタは、前記入射角度θ２が３０°以上９０°未満となる位置に配置されている
請求項１に記載の深紫外線発光装置。
【請求項８】
第一フィルタ及び第二フィルタは、ＳｉＯ
２
、Ａｌ
２
Ｏ
３
、ＨｆＯ
２
、ＡｌＮ、ＡｌＯＮ、Ｔａ
２
Ｏ
５
の材料の中から複数種類を周期的に積層させた誘電体多層膜を有している
請求項１に記載の深紫外線発光装置。
【請求項９】
前記第二フィルタの前記誘電体多層膜の各層の膜厚は、前記第一フィルタの前記誘電体多層膜の各層の膜厚より小さい
請求項７に記載の深紫外線発光装置。
【請求項１０】
前記深紫外線発光光源は、パッケージに収容されており、
前記第一フィルタ及び前記第二フィルタの少なくとも一方は、前記パッケージの一部であり、前記深紫外線発光光源からの光を透過する窓材と接するように設けられている
請求項１に記載の深紫外線発光装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、深紫外線発光装置に関する。
続きを表示（約 2,500 文字）【背景技術】
【０００２】
深紫外線発光装置は、波長に応じて様々な用途に用いられる。例えば、硝酸イオンや亜硝酸イオン等を計測する光源として用いられたり（特許文献１）、ウイルスや細菌に作用して不活性化する光源として用いられたりしている。
深紫外線発光装置を用いた場合、照射光の波長が異なると深紫外線照射による効果も異なる。このため、最も高い深紫外線照射効果を得るためには、最適な波長あるいは波長域で対象へ照射することが要求される。深紫外線発光装置の発光波長を特定の波長に制御するためには、誘電体多層膜等の波長フィルタを用いる方法が知られている（特許文献２）。誘電体多層膜をフィルタとして用いた場合には、光源からの紫外線の放射角度に応じて、つまり、紫外線がフィルタに入射する角度に応じて透過する紫外線の波長域が変化する。このため、フィルタの出口に周壁部を設けて、周壁部に吸収材を塗布して好ましくない波長の光の放射を抑制する方法が開示されている（特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０００－１２１５５６号公報
特開２０１９－１１５５２５号公報
特開２０１８－１１４１９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述したような好ましくない波長の光の放射を抑制する構成の深紫外線発光装置を用いたとしても、例えば波長２３０ｎｍ以上の波長域の紫外線光等の、好ましくない波長域の光を完全に除去することは出来ない場合がある。例えば、特許文献３で記載した紫外線発光装置の使用を継続すると、紫外線吸収部材の劣化により、外部への放射を抑制したい所望の波長の光（例えば、人体に対して有害な波長２３０ｎｍ以上の波長域の紫外線光）が外部へ放射されてしまう。
【０００５】
上述した課題を解決するために、本開示は、紫外線発光装置の使用を継続しても、所望の波長の光が外部へ放射されてしまうことを抑制する事が可能な深紫外線発光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決するために、本開示の一態様に係る深紫外線発光装置は、紫外線発光光源と、前記深紫外線発光光源から発せられる光の入射角度がθ１となる位置に配置され、所定の波長の光を反射する第一フィルタと、前記深紫外線発光光源から発せられる光の入射角度がθ２となり、かつ前記入射角度θ２が前記入射角度θ１よりも大きくなる位置に配置され、前記所定の波長の光を反射する第二フィルタと、を備えている。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、紫外線発光装置の使用を継続しても、所望の波長の光が外部へ放射されてしまうことを抑制する事が可能な深紫外線発光装置を提供する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本開示の実施形態に係る深紫外線発光装置の一構成例を示す模式図である。
本開示の実施形態に係る深紫外線発光装置の一構成例を示す断面図である。
本開示の実施形態に係る深紫外線発光装置の深紫外線発光光源の一構成例を示す断面図である。
本開示の実施形態に係る深紫外線発光装置において光をフィルタに垂直に入射（θ１＝０°）させた際の透過率の波長依存性を示すグラフの一例である。
本開示の実施形態に係る深紫外線発光装置において光をフィルタに入射させた際の波長２３０ｎｍの光の透過率の入射角度依存性を示すグラフの一例である。
本開示の実施形態に係る深紫外線発光装置において光をフィルタに垂直に入射（θ１＝０°）させた際の透過率の波長依存性を示すグラフの他の例である。
本開示の実施形態に係る深紫外線発光装置において光をフィルタに入射させた際の波長２３０ｎｍの光の透過率の入射角度依存性を示すグラフの他の例である。
本開示の実施形態に係る深紫外線発光装置の第一の構成例を示す断面図である。
本開示の実施形態に係る深紫外線発光装置の第一の構成の変形例を示す断面図である。
本開示の実施形態に係る深紫外線発光装置の第一の構成の変形例を示す断面図である。
本開示の実施形態に係る深紫外線発光装置の第一の構成の変形例を示す断面図である。
本開示の実施形態に係る深紫外線発光装置の第二の構成の一例を示す断面図である。
本開示の実施形態に係る深紫外線発光装置の第二の構成の他の例を示す断面図である。
本開示の実施形態に係る深紫外線発光装置の第三の構成の一例を示す断面図である。
本開示の実施形態に係る深紫外線発光装置の第三の構成の他の例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、実施形態を通じて本開示に係る深紫外線発光装置を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明に限定されない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１０】
１．深紫外線発光装置
以下、本開示の実施形態に係る深紫外線発光装置１について、図１から図１３を参照して説明する。
本実施形態の深紫外線発光装置１は、図１に示すように、深紫外線発光光源１０と、第一フィルタ３１と、第二フィルタ３２とを備えている。図２に示すように、第一フィルタ３１は、深紫外線発光光源１０から発せられる光の入射角度がθ１となる位置に配置され、所定の波長λ［ｎｍ］の光を反射する。また、第二フィルタ３２は、深紫外線発光光源１０から発せられる光の入射角度がθ２となり、かつ入射角度θ２が入射角度θ１よりも大きくなる（θ２＞θ１）位置に配置され、所定の波長λ［ｎｍ］の光を反射する。
（【００１１】以降は省略されています）

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