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公開番号2024031535
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-07
出願番号2022135170
出願日2022-08-26
発明の名称コイル部品
出願人TDK株式会社
代理人個人,個人
主分類H01F 17/00 20060101AFI20240229BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】層間絶縁膜と導体層が交互に積層されてなるコイル部が素体で埋め込まれた構造を有するコイル部品において、諸特性をより改善する。
【解決手段】コイル部品1は、磁性素体Mと、磁性素体Mに埋め込まれ、層間絶縁膜10～14と導体層C0～C3が交互に積層されたコイル部3とを備える。磁性素体Mは、Z方向から見て、X方向を長辺とし、Y方向を短辺とする矩形状である。導体層C0～C3はそれぞれコイルパターンを有し、導体層C0に含まれるコイルパターン100は、X方向に沿った区間が蛇行している。これにより、コイルパターンの蛇行によって、導体層と層間絶縁膜の密着性や、コイルパターンの抵抗値などの諸特性が改善される。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
素体と、
前記素体に埋め込まれ、複数の層間絶縁膜と複数の導体層が交互に積層されたコイル部と、を備え、
前記素体は、前記コイル部のコイル軸方向から見て、第１の方向を長辺とし、前記第１の方向と直交する第２の方向を短辺とする矩形状であり、
前記複数の導体層は、それぞれコイルパターンを有し、
前記複数の導体層の少なくとも一つに含まれる所定のコイルパターンは、前記第１の方向に沿った区間が蛇行している、コイル部品。
続きを表示（約 250 文字）【請求項２】
前記所定のコイルパターンは、前記第２の方向に沿った区間に比べて、前記第１の方向に沿った区間の方が大きく蛇行している、請求項１に記載のコイル部品。
【請求項３】
前記所定のコイルパターンの前記蛇行している部分のパターン幅は、前記コイル軸方向に一定である、請求項１に記載のコイル部品。
【請求項４】
前記所定のコイルパターンの前記蛇行している部分のパターン幅は、前記コイル軸方向における一方の端面から他方の端面に向かって変化する、請求項１に記載のコイル部品。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示はコイル部品に関し、特に、層間絶縁膜と導体層が交互に積層されてなるコイル部が、素体で埋め込まれた構造を有するチップ型のコイル部品に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示されたコイル部品は、層間絶縁膜と導体層が交互に積層されてなるコイル部が素体で埋め込まれた構造を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１５５５０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のコイル部品は、コイル軸方向から見ると素体が矩形状であり、コイルパターンの一部が素体の長辺に沿って直線的に延在している。
【０００５】
本開示においては、層間絶縁膜と導体層が交互に積層されてなるコイル部が素体で埋め込まれた構造を有するコイル部品において、諸特性をより改善する技術が説明される。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一側面によるコイル部品は、素体と、素体に埋め込まれ、複数の層間絶縁膜と複数の導体層が交互に積層されたコイル部とを備え、素体は、コイル部のコイル軸方向から見て、第１の方向を長辺とし、第１の方向と直交する第２の方向を短辺とする矩形状であり、複数の導体層はそれぞれコイルパターンを有し、複数の導体層の少なくとも一つに含まれる所定のコイルパターンは、第１の方向に沿った区間が蛇行している。
【０００７】
本開示によれば、コイルパターンの蛇行によって、導体層と層間絶縁膜の密着性や、コイルパターンの抵抗値などの諸特性が改善される。
【０００８】
本開示において、所定のコイルパターンは、第２の方向に沿った区間に比べて、第１の方向に沿った区間の方が大きく蛇行していても構わない。これによれば、諸特性をより改善することが可能となる。
【０００９】
本開示において、所定のコイルパターンの蛇行している部分のパターン幅は、コイル軸方向に一定であっても構わない。このような形状は、蛇行形状を有するマスクを用いた露光によってレジストを形成した後、コイルパターンを形成することによって得ることができる。
【００１０】
本開示において、所定のコイルパターンの蛇行している部分のパターン幅は、コイル軸方向における一方の端面から他方の端面に向かって変化しても構わない。このような形状は、蛇行しないレジストを形成した後、レジストを変形させてからコイルパターンを形成することによって得ることができる。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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