特許ウォッチ

公開番号2024029450
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-06
出願番号2022131718
出願日2022-08-22
発明の名称スクライブヘッドおよびスクライブ装置
出願人三星ダイヤモンド工業株式会社
代理人個人,個人
主分類B28D 5/00 20060101AFI20240228BHJP(セメント,粘土,または石材の加工)
要約【課題】簡易な構成により安定的かつ確実にカッターホイールをロックすることが可能なスクライブヘッドおよびスクライブ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】スクライブヘッド10は、ベース部材110と、上下動可能にベース部材110に支持された支持部材210と、回転軸R10について回転可能に支持部材210に支持された先細り形状のホルダ240と、回転軸R10から離間してホルダ240の下面に保持されたカッターホイール251aと、支持部材210に上下動可能に支持されたガイドシャフト221と、ガイドシャフト221を上方向に付勢するバネ222と、ガイドシャフト221の下端に設けられ、バネ222からの付勢によりホルダ240の外側面241aに圧接される圧接面231aを有する押圧部材230と、ベース部材110に設けられ、ガイドシャフト221の上端221cに対向する下面110aと、を備える。
【選択図】図9
特許請求の範囲【請求項１】
スクライブ装置側の昇降機構により昇降されるベース部材と、
所定範囲において上下動可能に前記ベース部材に支持された支持部材と、
回転軸について回転可能に前記支持部材に支持された先細り形状のホルダと、
前記回転軸から離間して前記ホルダの下面に保持されたカッターホイールと、
前記支持部材に上下動可能に支持されたガイドシャフトと、
前記ガイドシャフトを上方向に付勢する付勢部材と、
前記ガイドシャフトの下端に設けられ、前記付勢部材からの付勢により前記ホルダの外側面に圧接される圧接面を有する押圧部材と、
前記ベース部材に設けられ、前記支持部材が前記所定範囲の下限に位置づけられた状態において前記ガイドシャフトの上端に所定の距離で対向する対向面と、を備える、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
請求項１に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記ベース部材は、ブロック形状を有し、
前記支持部材および前記ガイドシャフトは、前記ベース部材の下方に配置され、
前記対向面は、前記ベース部材の下面である、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項３】
請求項１に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記ホルダの前記外側面は、平面視において略円形状であり、下方に向かうにつれて径が小さくなっており、
前記押圧部材は、前記ホルダが上方から挿入される円形の開口を有し、
前記開口の径を前記ホルダの外側面と同様に下方に向かうにつれて小さくすることにより、前記開口の内周面に前記圧接面が形成されている、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記ホルダは、円錐体の外側面の一部を平坦に切り欠いた形状を含む、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項５】
請求項１に記載のスクライブヘッドにおいて、
空気圧により前記支持部材を駆動して前記カッターホイールに荷重を付与するヘッド駆動部を備える、
ことを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項６】
請求項１ないし５の何れか一項に記載のスクライブヘッドと、
前記昇降機構と、
前記昇降機構とともに前記スクライブヘッドをスクライブ方向に移送する移送機構と、
前記昇降機構および前記移送機構を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記カッターホイールのロックを解除する制御として、
前記カッターホイールが被接触面に接触するまで前記ベース部材を下降させた後、さらに、前記ホルダの外側面と前記圧接面との接触が解除されるまで、前記ベース部材を下降させる制御を実行する、
ことを特徴とするスクライブ装置。
【請求項７】
請求項６に記載のスクライブ装置において、
前記制御部は、前記カッターホイールのロックを解除する制御を実行した後、前記スクライブヘッドを前記スクライブ方向に移送させつつ前記ホルダの外側面と前記圧接面とが接触するまで前記ベース部材を上昇させる制御を実行する、
ことを特徴とするスクライブ装置。
【請求項８】
請求項７に記載のスクライブ装置において、
前記制御部は、前記カッターホイールのロックを解除する制御を実行した後、前記スクライブヘッドを前記スクライブ方向に移送させ、その後、前記スクライブヘッドを前記スクライブ方向に移送させつつ前記ホルダの外側面と前記圧接面とが接触するまで前記ベース部材を上昇させる制御を実行する、
ことを特徴とするスクライブ装置。
【請求項９】
請求項６に記載のスクライブ装置において、
前記カッターホイールが被接触面に接触したことを検出するセンサを備え、
前記制御部は、前記センサからの出力に基づいて前記カッターホイールが被接触面に接触したことが検出された位置から所定量だけ前記ベース部材を下降させることにより、前記ホルダの外側面と前記圧接面との接触を解除する、
ことを特徴とするスクライブ装置。
【請求項１０】
請求項９に記載のスクライブ装置において、
前記センサは、前記カッターホイールに付与される荷重を検出するためのロードセルである、
ことを特徴とするスクライブ装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板にスクライブラインを形成するためのスクライブヘッドおよび当該スクライブヘッドを備えたスクライブ装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ウエハー等の被加工物にスクライブラインを形成するスクライブ装置が知られている。以下の特許文献１には、圧力をシリンダ室内に供給することにより、ピストンロッドを付勢部材の付勢力に抗して下方に押し、スクライブ刃ユニットを揺動しないようにロックするスクライブ装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第４８４１９３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載のスクライブ装置では、スクライブ刃をロックするための構成として、シリンダ室と、シリンダ室に配置されたピストンと、シリンダ室に空気を供給するための圧力エアー供給源とが必要となるため、ロックのための構造が複雑となる。また、圧力エアー供給源からの空気圧によりピストンロッドの下面を支持軸の上面に圧接させる構成であるため、ロックの安定性および信頼性が低い。
【０００５】
かかる課題に鑑み、本発明は、簡易な構成により安定的かつ確実にカッターホイールをロックすることが可能なスクライブヘッドおよびスクライブ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様は、スクライブヘッドに関する。本態様に係るスクライブヘッドは、スクライブ装置側の昇降機構により昇降されるベース部材と、所定範囲において上下動可能に前記ベース部材に支持された支持部材と、回転軸について回転可能に前記支持部材に支持された先細り形状のホルダと、前記回転軸から離間して前記ホルダの下面に保持されたカッターホイールと、前記支持部材に上下動可能に支持されたガイドシャフトと、前記ガイドシャフトを上方向に付勢する付勢部材と、前記ガイドシャフトの下端に設けられ、前記付勢部材からの付勢により前記ホルダの外側面に圧接される圧接面を有する押圧部材と、前記ベース部材に設けられ、前記支持部材が前記所定範囲の下限に位置づけられた状態において前記ガイドシャフトの上端に所定の距離で対向する対向面と、を備える。
【０００７】
本態様に係るスクライブヘッドによれば、支持部材が所定範囲の下限に位置づけられた状態において、スクライブ装置側の昇降機構によりベース部材を下降させると、カッターホイールが被当接面に当接する。その後、さらにベース部材を下降させると、カッターホイールの下降が被当接面により規制されるため、支持部材、ホルダ、ガイドシャフトおよび押圧部材は下降せず、ベース部材のみが下降する。これにより、ガイドシャフトの上端とベース部材の対向面との距離が縮まり、やがて当接する。この状態からさらにベース部材を下降させると、ガイドシャフトの上端が対向面に押されて、ガイドシャフトが付勢部材の付勢に抗して下方に移動する。このとき、押圧部材がガイドシャフトとともに下方に移動し、押圧部材の圧接面がホルダの外側面から離間する。これにより、ホルダは回転軸について回転可能となり、ホルダに保持されたカッターホイールも回転可能となる。また、上記の工程とは逆に、ベース部材を上昇させることで、押圧部材の圧接面がホルダの外側面に圧接され、ホルダおよびカッターホイールがロックされる。
【０００８】
このように、本態様に係るスクライブヘッドによれば、ガイドシャフト、付勢部材および押圧部材を追加するのみの簡素な構成により、ホルダおよびカッターホイールのロックおよび非ロックを切り替えることができる。また、押圧部材の圧接面を先細りのホルダの外側面に面接触により圧接させてロックが行われるため、安定的かつ確実に、ホルダおよびカッターホイールをロックできる。さらに、ベース部材を昇降させるといった極めて簡単な制御により、ホルダおよびカッターホイールのロックおよび非ロックを切り替えることができる。このため、非ロック状態でカッターホイールを走行させながらスクライブヘッドを上昇させることにより、ホルダおよびカッターホイールをロックでき、カッターホイールをロック直前の直線走行可能な状態に正確にロックできる。
【０００９】
本態様に係るスクライブヘッドにおいて、前記ベース部材は、ブロック形状を有し、前記支持部材および前記ガイドシャフトは、前記ベース部材の下方に配置され、前記対向面は、前記ベース部材の下面である。
【００１０】
この構成によれば、支持部材およびガイドシャフトがベース部材の下方に配置されるため、ベース部材、支持部材およびガイドシャフトからなる構造体をコンパクトにできる。また、ベース部材の下面が対向面に共用されるため、この構造体の構成を簡素にできる。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許