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公開番号2024017923
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-02-08
出願番号2022120889
出願日2022-07-28
発明の名称液体フィルター用基材
出願人帝人株式会社
代理人弁理士法人太陽国際特許事務所
主分類B01D 71/26 20060101AFI20240201BHJP(物理的または化学的方法または装置一般)
要約【課題】小孔径でもろ過時間のバラツキが抑えられる液体フィルター用基材を提供すること。
【解決手段】液体フィルター用基材は、ポリオレフィン微多孔膜を含み、前記ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が、1nm～50nmであり、前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が、0.003L/min/ft²/psi～0.180L/min/ft²/psiであり、前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の変動係数が、0.100以下であるものである。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
ポリオレフィン微多孔膜を含む液体フィルター用基材であって、
前記ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が、１ｎｍ～５０ｎｍであり、
前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が、０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ
２
／ｐｓｉ～０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ
２
／ｐｓｉであり、
前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の変動係数が、０．１００以下である液体フィルター用基材。
続きを表示（約 340 文字）【請求項２】
前記ポリオレフィン微多孔膜の孔径の変動係数が、０．１００以下である請求項１に記載の液体フィルター用基材。
【請求項３】
前記ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の変動係数が、０．１００以下である請求項１に記載の液体フィルター用基材。
【請求項４】
前記ポリオレフィン微多孔膜の空孔率の変動係数が、０．１００以下である請求項１に記載の液体フィルター用基材。
【請求項５】
前記ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の平均値が、３μｍ～２０μｍである請求項１に記載の液体フィルター用基材。
【請求項６】
前記ポリオレフィン微多孔膜の空孔率の平均値が、３５％～６０％である請求項１に記載の液体フィルター用基材。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、液体フィルター用基材に関する。
続きを表示（約 2,600 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、ますます電子機器の小型化及び高性能化が進んでいる。特に、パーソナルコンピューター及びスマートフォンを代表とするデジタル機器及び携帯端末は、飛躍的な進化を遂げている。その進化を牽引し、サポートするさまざまな技術の中でも、半導体産業の技術革新が大きな役割を果たしているのは周知の事実である。近年の半導体産業において、配線パターン寸法は１０ｎｍを下回る領域での開発競争となっており、各社が最先端の製造ラインの構築を急いでいる。
【０００３】
リソグラフィ工程は、半導体部品製造にてパターンを形成する工程である。近年のパターン微細化と共に、リソグラフィ工程で使用する薬液そのものの性状のみならず、ウェハー上へ塗布するまでの薬液の取扱いも、非常に高度な技術が要求されるようになってきている。
【０００４】
高度に調製された薬液は、ウェハー上へ塗布する直前に緻密な液体フィルターで濾過され、パターン形成や歩留りに大きな影響を与える微小異物及び薬液由来のゲル状異物が除去される。パターンサイズが１０ｎｍを下回る最先端の配線パターンの形成においては、配線パターン寸法が１０ｎｍ～数ｎｍと微細化するに従い、薬液中の５ｎｍ以下の微細な異物を捕集するため、より微細な孔径と良好な透過性を両立する液体フィルターが必要である。そのため、各社フィルターメーカーは先端半導体用の液体フィルターの開発を精力的に進めているところである。
緻密な液体フィルターに適用可能な液体フィルター用基材として、小孔径のポリオレフィン微多孔膜を含む液体フィルター用基材が知られている（例えば、特許文献１～７参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１４－２１８５６３号公報
特開２０１４－２１７８００号公報
特許第５６８４９５１号公報
特許第５６８４９５２号公報
特許第５６８４９５３号公報
特開２０１８－１６７１９８号公報
特許第６８０５３７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
孔径が５０ｎｍ以下の微細孔径を有する液体フィルター用基材では、液体フィルター用基材の幅方向における、ろ過時間のバラツキの課題が生じやすい。液体フィルターのろ過時間が均一でない場合、例えば、フィルターの中央部では低圧、フィルターの端部では高圧と、フィルターの幅方向にかかる圧力が不均一となりやすく、フィルター全体で液体を均一に濾過できない。その結果、フィルター性能やろ過寿命が低下してしまったり、半導体の製造歩留まりが低下したりする懸念がある。
本開示は、上記従来の課題に鑑みてなされたものであり、小孔径でもろ過時間のバラツキが抑えられる液体フィルター用基材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
＜１＞ポリオレフィン微多孔膜を含む液体フィルター用基材であって、
前記ポリオレフィン微多孔膜の孔径の平均値が、１ｎｍ～５０ｎｍであり、
前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の平均値が、０．００３Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ
２
／ｐｓｉ～０．１８０Ｌ／ｍｉｎ／ｆｔ
２
／ｐｓｉであり、
前記ポリオレフィン微多孔膜の水流量の変動係数が、０．１００以下である液体フィルター用基材。
＜２＞前記ポリオレフィン微多孔膜の孔径の変動係数が、０．１００以下である＜１＞に記載の液体フィルター用基材。
＜３＞前記ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の変動係数が、０．１００以下である＜１＞又は＜２＞に記載の液体フィルター用基材。
＜４＞前記ポリオレフィン微多孔膜の空孔率の変動係数が、０．１００以下である＜１＞～＜３＞のいずれか１項に記載の液体フィルター用基材。
＜５＞前記ポリオレフィン微多孔膜の膜厚の平均値が、３μｍ～２０μｍである＜１＞～＜４＞のいずれか１項に記載の液体フィルター用基材。
＜６＞前記ポリオレフィン微多孔膜の空孔率の平均値が、３５％～６０％である＜１＞～＜５＞のいずれか１項に記載の液体フィルター用基材。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、小孔径でもろ過時間のバラツキが抑えられる液体フィルター用基材を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本開示の実施形態について詳細に説明する。但し、本開示は以下の実施形態に限定されるものではない。以下の実施形態において、その構成要素（要素ステップ等も含む）は、特に明示した場合を除き、必須ではない。数値及びその範囲についても同様であり、本開示を制限するものではない。
【００１０】
本開示において「工程」との語には、他の工程から独立した工程に加え、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の目的が達成されれば、当該工程も含まれる。
本開示において「～」を用いて示された数値範囲には、「～」の前後に記載される数値がそれぞれ最小値及び最大値として含まれる。
本開示中に段階的に記載されている数値範囲において、一つの数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本開示中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
本開示において、各成分には、該当する物質が複数種含まれていてもよい。組成物中に各成分に該当する物質が複数種存在する場合、各成分の含有率又は含有量は、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数種の物質の合計の含有率又は含有量を意味する。
本開示において「層」又は「膜」との語には、当該層又は膜が存在する領域を観察したときに、当該領域の全体に形成されている場合に加え、当該領域の一部にのみ形成されている場合も含まれる。
（【００１１】以降は省略されています）

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