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公開番号2023078843
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-06-07
出願番号2021192145
出願日2021-11-26
発明の名称ディスク装置用サスペンションの検査方法、製造方法および検査システム
出願人日本発條株式会社
代理人弁理士法人スズエ国際特許事務所
主分類G11B 21/21 20060101AFI20230531BHJP(情報記憶)
要約【課題】接着剤を含むサスペンションを精度良く検査する検査方法、製造方法及び検査システムを提供する。
【解決手段】検査方法は、第1方向に並ぶ第1側面及び第2側面を有する電子部品と、第1側面に沿って設けられた第1接着剤71と、第2側面に沿って設けられた第2接着剤72を含むディスク装置用サスペンションを検査するものであって、第1接着剤の第1位置P1の第1高さH1を測定する工程と、第2接着剤の第2位置P2の第2高さH2を測定する工程と、第1高さ及び第2高さに基づき、第1接着剤及び第2接着剤の第1方向における塗布位置並びに第1接着剤及び第2接着剤の塗布量の少なくとも一方が適正であるかを判定する工程と、を含む。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
第１方向に並ぶ第１側面および第２側面を有する電子部品と、前記第１側面に沿って設けられた第１接着剤と、前記第２側面に沿って設けられた第２接着剤と、を含むディスク装置用サスペンションの検査方法であって、
前記第１接着剤の第１位置の第１高さを測定する工程と、
前記第２接着剤の第２位置の第２高さを測定する工程と、
前記第１高さおよび前記第２高さに基づき、前記第１接着剤および前記第２接着剤の前記第１方向における塗布位置、および、前記第１接着剤および前記第２接着剤の塗布量の少なくとも一方が適正であるかを判定する工程と、
を含む検査方法。
続きを表示（約 2,100 文字）【請求項２】
前記第１接着剤は、前記第１方向における第１中心と、前記第１方向において前記第１中心よりも前記第２接着剤から離れた第１外縁と、を有し、
前記第２接着剤は、前記第１方向における第２中心と、前記第１方向において前記第２中心よりも前記第１接着剤から離れた第２外縁と、を有し、
前記第１位置は、前記第１接着剤の前記第１方向における塗布位置が適正である場合に、前記第１方向において前記第１中心と前記第１外縁の間に位置し、
前記第２位置は、前記第２接着剤の前記第１方向における塗布位置が適正である場合に、前記第１方向において前記第２中心と前記第２外縁の間に位置する、
請求項１に記載の検査方法。
【請求項３】
前記第１接着剤は、前記第１方向における第１中心と、前記第１方向において前記第１中心よりも前記第２接着剤に近い第１内縁と、を有し、
前記第２接着剤は、前記第１方向における第２中心と、前記第１方向において前記第２中心よりも前記第１接着剤に近い第２内縁と、を有し、
前記第１位置は、前記第１接着剤の前記第１方向における塗布位置が適正である場合に、前記第１方向において前記第１中心と前記第１内縁の間に位置し、
前記第２位置は、前記第１接着剤の前記第１方向における塗布位置が適正である場合に、前記第１方向において前記第２中心と前記第２内縁の間に位置する、
請求項１に記載の検査方法。
【請求項４】
前記判定する工程において、前記第１高さと前記第２高さの差分が予め定められた第１基準値と異なる場合に、前記第１接着剤および前記第２接着剤の前記第１方向における塗布位置が適正な位置からずれていると判定する、
請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載の検査方法。
【請求項５】
前記判定する工程において、前記第１高さおよび前記第２高さの双方が予め定められた第２基準値よりも大きい場合に前記第１接着剤および前記第２接着剤の塗布量が適正な塗布量よりも多いと判定し、前記第１高さおよび前記第２高さの双方が前記第２基準値よりも小さい場合に前記第１接着剤および前記第２接着剤の塗布量が適正な塗布量よりも少ないと判定する、
請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の検査方法。
【請求項６】
前記第１接着剤および前記第２接着剤は、前記第１方向と交差する第２方向に長尺な形状を有し、
前記第２方向において前記第１位置から離れた前記第１接着剤の第３位置の第３高さを測定する工程と、
前記第１高さおよび前記第３高さに基づき、前記第１接着剤の前記第２方向における塗布位置が適正であるかを判定する工程と、をさらに含む、
請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の検査方法。
【請求項７】
前記電子部品は、圧電体を含むアクチュエータ素子であり、
前記サスペンションは、前記第１方向において少なくとも前記第２側面に対向する第１プレートと、前記アクチュエータ素子と重なる開口を有するとともに前記第１プレートに重ねられた第２プレートと、を含み、
前記第１接着剤は、前記第１側面を覆うとともに前記第２プレートに接触し、
前記第２接着剤は、前記第２側面と前記第１プレートの間に充填されるとともに前記第２プレートに接触する、
請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載の検査方法。
【請求項８】
第１方向に並ぶ第１側面および第２側面を有する電子部品と、前記第１側面に沿って設けられた第１接着剤と、前記第２側面に沿って設けられた第２接着剤と、を含むディスク装置用サスペンションの製造方法であって、
前記第１接着剤および前記第２接着剤を塗布する工程と、
前記第１接着剤の第１位置の第１高さを測定する工程と、
前記第２接着剤の第２位置の第２高さを測定する工程と、
前記第１高さおよび前記第２高さに基づき、前記第１接着剤および前記第２接着剤の前記第１方向における塗布位置、および、前記第１接着剤および前記第２接着剤の塗布量の少なくとも一方が適正であるかを判定する工程と、
を含む製造方法。
【請求項９】
第１方向に並ぶ第１側面および第２側面を有する電子部品と、前記第１側面に沿って設けられた第１接着剤と、前記第２側面に沿って設けられた第２接着剤と、を含むディスク装置用サスペンションの検査システムであって、
前記第１接着剤の第１位置の第１高さおよび前記第２接着剤の第２位置の第２高さを測定する測定装置と、
前記第１高さおよび前記第２高さに基づき、前記第１接着剤および前記第２接着剤の前記第１方向における塗布位置、および、前記第１接着剤および前記第２接着剤の塗布量の少なくとも一方が適正であるかを判定する制御装置と、
を備える検査システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク装置等に使われるディスク装置用サスペンションの検査方法、製造方法および検査システムに関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
パーソナルコンピュータ等の情報処理装置に、ハードディスク装置（ＨＤＤ）が使用されている。ハードディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクや、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジを含んでいる。キャリッジはアクチュエータアームを有し、ボイスコイルモータ等のポジショニング用モータによってピボット軸を中心にディスクのトラック幅方向に旋回する。
【０００３】
アクチュエータアームには、ディスク装置用サスペンション（これ以降、単にサスペンションと称す場合がある）が取り付けられている。サスペンションは、ロードビームや、ロードビームに重ねて配置されるフレキシャなどを含んでいる。フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部には、磁気ヘッドを構成するスライダが取り付けられている。スライダには、データの読み取りあるいは書き込みなどのアクセスを行なうための素子（トランスジューサ）が設けられている。
【０００４】
ディスクの高記録密度化に対応するためには、ディスクの記録面に対して磁気ヘッドをさらに高精度に位置決めできるようにすることが必要である。そのために、ポジショニング用モータに加え、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などの圧電体からなるアクチュエータ素子を備えたサスペンションが開発されている。この種のサスペンションにおいては、アクチュエータ素子を変形させることによって、サスペンションの先端側をスウェイ方向（トラック幅方向）に高速で微小量移動させることができる。
【０００５】
アクチュエータ素子の動作に伴い、アクチュエータ素子の側面からパーティクルが脱落する可能性がある。これを抑制する方法としては、当該側面を接着剤にて覆うことが考えられる。この場合において、接着剤が設計上の塗布位置からずれたり、接着剤の塗布量が適正でなかったりすると、アクチュエータ素子の動作に悪影響を及ぼすなどの不具合が生じ得る。このような不具合を抑制するためには、接着剤の塗布位置や塗布量が適正であるかどうかを検査する必要がある。なお、この種の検査は、アクチュエータ素子以外の種々の電子部品の接着に用いられる接着剤についても同様に求められる。
【０００６】
例えば特許文献１には、接着剤（塗布剤）が塗布された基板に電子部品を搭載する際に、塗布剤の状態（塗布位置、塗布面積および塗布厚み）を統計的に処理して経時的な変化量を算出し、この変化量が低減されるように塗布装置をフィードバック制御する電子部品実装システムが開示されている。しかしながら、特許文献１には塗布位置等の具体的な検査手法が開示されていないし、基板および電子部品を含む個々の製品に関して塗布位置や塗布量が適正であるかどうかを検査することについても何ら言及されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０１８－９３０８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、接着剤を含むサスペンションを精度良く検査することが可能な検査方法、当該サスペンションの製造方法および検査システムを提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
一実施形態に係る検査方法は、第１方向に並ぶ第１側面および第２側面を有する電子部品と、前記第１側面に沿って設けられた第１接着剤と、前記第２側面に沿って設けられた第２接着剤と、を含むディスク装置用サスペンションを検査するものであって、前記第１接着剤の第１位置の第１高さを測定する工程と、前記第２接着剤の第２位置の第２高さを測定する工程と、前記第１高さおよび前記第２高さに基づき、前記第１接着剤および前記第２接着剤の前記第１方向における塗布位置、および、前記第１接着剤および前記第２接着剤の塗布量の少なくとも一方が適正であるかを判定する工程と、を含む。
【００１０】
一実施形態に係る製造方法は、第１方向に並ぶ第１側面および第２側面を有する電子部品と、前記第１側面に沿って設けられた第１接着剤と、前記第２側面に沿って設けられた第２接着剤と、を含むディスク装置用サスペンションを製造するものであって、前記第１接着剤および前記第２接着剤を塗布する工程と、前記第１接着剤の第１位置の第１高さを測定する工程と、前記第２接着剤の第２位置の第２高さを測定する工程と、前記第１高さおよび前記第２高さに基づき、前記第１接着剤および前記第２接着剤の前記第１方向における塗布位置、および、前記第１接着剤および前記第２接着剤の塗布量の少なくとも一方が適正であるかを判定する工程と、を含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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