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公開番号2025178931
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-09
出願番号2024085809
出願日2024-05-27
発明の名称反射型位相差構造体
出願人ウシオ電機株式会社
代理人個人,個人
主分類G02B 5/30 20060101AFI20251202BHJP(光学)
要約【課題】広帯域で均一な特性を有する反射型位相差構造体を提供する。
【解決手段】反射型位相差構造体200は、誘電体スペーサ層220、異方構造層230、誘電体保護層240を備える。異方構造層230は、複数の金属構成要素232および複数の金属構成要素232のギャップを埋める誘電体充填部材234を含む。誘電体スペーサ層220は、金属反射層と異方構造層230の間に挟まれる。金属構成要素232を断面視したとき、上辺の長さをx、底辺の長さをy、1/2高さの幅wとして、
0.6≦x/w≦1.3
1.8×w≦x+y≦2.2×w
の関係が成り立つ。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
金属反射層と、
複数の金属構成要素および前記複数の金属構成要素のギャップを埋める誘電体充填部材を含む異方構造層と、
前記金属反射層と前記異方構造層の間に挟まれる誘電体スペーサ層と、
前記異方構造層の上層に形成される誘電体保護層と、
を備え、
前記金属構成要素を断面視したとき、上辺の長さをｘ、底辺の長さをｙ、１／２高さの幅ｗとして、
０．６≦ｘ／ｗ≦１．３
１．８×ｗ≦ｘ＋ｙ≦２．２×ｗ
の関係を満たすことを特徴とする反射型位相差構造体。
続きを表示（約 280 文字）【請求項２】
使用波長が、波長範囲４００～１２００ｎｍに含まれることを特徴とする請求項１に記載の反射型位相差構造体。
【請求項３】
前記誘電体スペーサ層と前記誘電体充填部材は同一材料であることを特徴とする請求項１または２に記載の反射型位相差構造体。
【請求項４】
前記誘電体充填部材と前記誘電体保護層は同一材料であることを特徴とする請求項１または２に記載の反射型位相差構造体。
【請求項５】
前記金属構成要素の材料は、アルミニウム系金属であることを特徴とする請求項１または２に記載の反射型位相差構造体。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、反射型位相差構造体に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
光学分野において、光の位相制御は重要な技術である。光の位相を制御する光学部材として、１／４波長板や１／２波長板などの波長板が広く用いられる。
【０００３】
物体表面に、微細加工により異方的な構造を形成することにより、位相差板の機能を実現できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１５－２１０４７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来において、反射型の位相差構造体は、使用する材料によって波長特性が決まってしまうため、広帯域で均一な特性を得ることが難しいという問題があった。
【０００６】
本開示は係る課題に鑑みてなされたものであり、そのある態様の例示的な目的のひとつは、広帯域で均一な特性を有する反射型位相差構造体の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示のある態様の反射型位相差構造体は、金属反射層と、複数の金属構成要素および複数の金属構成要素のギャップを埋める誘電体充填部材を含む異方構造層と、金属反射層と異方構造層の間に挟まれる誘電体スペーサ層と、異方構造層の上層に形成される誘電体保護層と、を備える。金属構成要素を断面視したとき、上辺の長さをｘ、底辺の長さをｙ、１／２高さの幅ｗとして、
０．６≦ｘ／ｗ≦１．３
１．８×ｗ≦ｘ＋ｙ≦２．２×ｗ
の関係を満たす。
【０００８】
なお、以上の構成要素を任意に組み合わせたもの、本開示の構成要素や表現を、方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本開示の態様として有効である。
【発明の効果】
【０００９】
本開示のある態様によれば、広帯域で均一な特性を有する反射型位相差構造体を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
実施形態に係る反射型位相差構造体の斜視図である。
図１の反射型位相差構造体の断面図である。
金属構成要素の断面図である。
反射型位相差構造体のＴＥ反射率およびＴＭ反射率のトップデューティ比ｘ／ｗの依存性を示す図である。
反射型位相差構造体の位相差特性のトップデューティ比ｘ／ｗの依存性を示す図である。
反射型位相差構造体の位相差特性のトップデューティ比ｘ／ｗの依存性を示す図である。
反射型位相差構造体の製造ばらつきに対するマージンを説明する図である。
変形例１に係る反射型位相差構造体の斜視図である。
変形例１に係る異方構造層の設計パラメータを説明する平面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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