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公開番号2025177966
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-05
出願番号2024085147
出願日2024-05-24
発明の名称ウェーハの搬送方法及びウェーハの搬送装置
出願人株式会社SUMCO
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20251128BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】本発明は、生産性を大きく低下させることなく、ウェーハ搬送によってウェーハへのゴム微粒子の付着してしまうのを抑制することのできる、ウェーハの搬送方法及びウェーハの搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のウェーハの搬送方法は、ウェーハ表面を保持する保持部を備えるウェーハの搬送装置を用いて、研磨装置上のウェーハを保持して搬送する方法であり、前記保持部のうち少なくとも前記ウェーハと接触する面に付着防止用薬液を塗布した状態で、前記保持部によりウェーハを保持して搬送する。本発明のウェーハの搬送装置は、ウェーハ表面を保持する保持部と、前記保持部のうち少なくとも前記ウェーハと接触する面に付着防止用薬液を塗布する薬液塗布部と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハ表面を保持する保持部を備えるウェーハの搬送装置を用いて、研磨装置上のウェーハを保持して搬送する、ウェーハの搬送方法であって、
前記保持部のうち少なくとも前記ウェーハと接触する面に付着防止用薬液を塗布した状態で、前記保持部によりウェーハを保持して搬送することを特徴とする、ウェーハの搬送方法。
続きを表示（約 690 文字）【請求項２】
前記付着防止用薬液は、水溶性高分子の水溶液であり、
前記水溶性高分子は、ヒドロキシエチルセルロース（ＨＥＣ）、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）、及びポリプロピレングリコール（ＰＰＧ）から選択される１種以上を用いられる、請求項１に記載のウェーハの搬送方法。
【請求項３】
前記付着防止用薬液の塗布を定期的又は適時に行う、請求項１又は２に記載のウェーハの搬送方法。
【請求項４】
前記ウェーハの搬送装置は、前記付着防止用薬液を噴射する噴射ノズルを備え、
前記付着防止用薬液の塗布は、前記噴射ノズルが前記保持部に前記付着防止用薬液を噴射することで行われる、請求項１又は２に記載のウェーハの搬送方法。
【請求項５】
前記ウェーハの搬送装置は、前記付着防止用薬液を貯める薬液槽を備え、
前記付着防止用薬液の塗布は、前記保持部を前記薬液槽に貯められた前記付着防止用薬液に浸漬することで行われる、請求項１又は２に記載のウェーハの搬送方法。
【請求項６】
ウェーハ表面を保持する保持部と、
前記保持部のうち少なくとも前記ウェーハと接触する面に付着防止用薬液を塗布する薬液塗布部と、を備えることを特徴とする、ウェーハの搬送装置。
【請求項７】
前記薬液塗布部は、前記付着防止用薬液を噴射する噴射ノズルである、請求項６に記載のウェーハの搬送装置。
【請求項８】
前記薬液塗布部は、前記付着防止用薬液を貯める薬液槽である、請求項６に記載のウェーハの搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの搬送方法及びウェーハの搬送装置に関するものである。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、研磨後のウェーハの自動搬送の際には、ウェーハの搬送装置の吸着ゴムで真空引きによりウェーハを吸着していた（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１１３９８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の手法によるウェーハの搬送後には、ウェーハの表面に吸着ゴムに由来するゴム微粒子が付着し、ＬＰＤ（ＬｉｇｈｔＰｏｉｎｔＤｅｆｅｃｔ）の検査工程において吸着痕として検出される場合があった。付着したゴムの微粒子は、半導体デバイスの製造工程において歩留まりを悪化させる原因となるおそれがあった。また、このような吸着痕の発生は、吸着ゴムを新品に交換した際に特に生じやすかった。
【０００５】
これに対し、従来、吸着ゴムに由来するゴム微粒子がウェーハに付着しなくなるまでダミーランニングを行う等の対策を行っていたが、ダミーランニングの実施により生産性が低下するという課題があった。
【０００６】
本発明は、生産性を大きく低下させることなく、ウェーハ搬送によってウェーハへゴム微粒子が付着してしまうのを抑制することのできる、ウェーハの搬送方法及びウェーハの搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の要旨構成は、以下の通りである。
（１）ウェーハ表面を保持する保持部を備えるウェーハの搬送装置を用いて、研磨装置上のウェーハを保持して搬送する、ウェーハの搬送方法であって、
前記保持部のうち少なくとも前記ウェーハと接触する面に付着防止用薬液を塗布した状態で、前記保持部によりウェーハを保持して搬送することを特徴とする、ウェーハの搬送方法。
【０００８】
（２）前記付着防止用薬液は、水溶性高分子の水溶液であり、
前記水溶性高分子は、ヒドロキシエチルセルロース（ＨＥＣ）、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）、及びポリプロピレングリコール（ＰＰＧ）から選択される１種以上を用いられる、前記（１）に記載のウェーハの搬送方法。
【０００９】
（３）前記付着防止用薬液の塗布を定期的又は適時に行う、前記（１）又は（２）に記載のウェーハの搬送方法。
【００１０】
（４）前記ウェーハの搬送装置は、前記付着防止用薬液を噴射する噴射ノズルを備え、
前記付着防止用薬液の塗布は、前記噴射ノズルが前記保持部に前記付着防止用薬液を噴射することで行われる、前記（１）～（３）のいずれか１つに記載のウェーハの搬送方法。
（【００１１】以降は省略されています）

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