特許ウォッチ

公開番号2025176047
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-03
出願番号2025139588,2023527825
出願日2025-08-25,2022-06-02
発明の名称搬送システム及び判定方法
出願人川崎重工業株式会社,カワサキロボティクス(ユーエスエー),インク.
代理人個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20251126BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウエハの位置ズレに起因してアライナ装置で発生し得る問題を未然に防止可能な搬送システム及び位置ズレを判定する判定方法を提供する。
【解決手段】搬送システムは、ロボットと、センサ(アライナセンサ、突出検出センサ)と、コントローラと、を備える。ロボットは、ウエハを支持してアライナ装置まで搬送するハンドを有する。センサは、ロボットがウエハをアライナ装置に受け渡す前に、ウエハがハンドに支持されている状態で、ウエハの位置を検出する。コントローラは、センサの検出値に基づいてウエハの位置ズレを判定する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ウエハを搬送する搬送システムにおいて、
前記ウエハを支持してアライナ装置まで搬送するハンドを有するロボットと、
前記ロボットが前記ウエハを前記アライナ装置に受け渡す前に、前記ウエハが前記ハンドに支持されている状態で、前記ウエハの位置を検出するセンサと、
前記センサの検出値に基づいて前記ウエハの位置ズレを判定する判定部と、
を備えることを特徴とする搬送システム。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
請求項１に記載の搬送システムであって、
前記判定部は、前記センサの検出値に基づいて、前記ウエハの位置ズレが許容値以下か否かを判定し、
前記ウエハの位置ズレが許容値以下であると前記判定部が判定した場合、前記ロボットは、前記アライナ装置への前記ウエハの搬送を続行することを特徴とする搬送システム。
【請求項３】
請求項２に記載の搬送システムであって、
前記ウエハの位置ズレが許容値以下であると前記判定部が判定した場合、前記ロボットは、前記ウエハの搬送の目標位置を前記ウエハの位置ズレに基づいて修正した修正目標位置に、前記ウエハを置くことを特徴とする搬送システム。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の搬送システムであって、
前記判定部が前記ウエハの位置ズレが許容値を超えると判定した場合、前記ロボットは、前記アライナ装置への前記ウエハの搬送を中断することを特徴とする搬送システム。
【請求項５】
請求項１から４までの何れか一項に記載の搬送システムであって、
前記センサは、前記アライナ装置が前記ウエハのアライメントを行う際に前記ウエハを検出するアライナセンサであることを特徴とする搬送システム。
【請求項６】
請求項５に記載の搬送システムであって、
前記アライナセンサは、
検査光を照射する投光部と、
前記検査光が前記ウエハで反射した光、又は、前記検査光の一部が前記ウエハで遮られた光を受光して光量に応じた値を出力する受光部と、
を備える光量検出センサであり、
前記ハンドによる前記ウエハの移動中において、前記アライナセンサが前記ウエハを複数回検出することを特徴とする搬送システム。
【請求項７】
請求項５に記載の搬送システムであって、
前記アライナセンサは、前記ウエハのエッジの位置を検出するＣＣＤセンサであることを特徴とする搬送システム。
【請求項８】
請求項１から７までの何れか一項に記載の搬送システムであって、
前記ハンドは、収容部に収容された前記ウエハを取り出して、前記ウエハをアライナ装置まで搬送し、
前記センサは、前記収容部の収容空間から前記ウエハが突出しているか否かを検出する突出検出センサであることを特徴とする搬送システム。
【請求項９】
請求項１から５までの何れか一項に記載の搬送システムであって、
前記センサは、投光部と受光部とを備え、投光部が投光した検査光が受光部が受光したか否かに基づいて、前記投光部と前記受光部の間に前記ウエハが存在するか否かを検出し、
前記判定部は、前記センサが前記ウエハのエッジを検出したときの前記ハンドの位置を複数求め、当該複数の前記ハンドの位置に基づいて、前記ウエハの位置ズレを判定することを特徴とする搬送システム。
【請求項１０】
請求項１から９までの何れか一項に記載の搬送システムであって、
前記ハンドは、前記ウエハをハンドに載せてエッジを保持せずに搬送するパッシブグリップ型か、前記ウエハの表面を負圧で吸着して搬送する吸着型であることを特徴とする搬送システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本出願は、主として、ロボットを用いてウエハを搬送する搬送システムに関する。詳細には、ウエハの搬送中にウエハの位置ズレを検出する構成に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、基体（ウエハ）を搬送する搬送装置を開示する。特許文献１の搬送装置は、収容容器と、搬送ユニットと、アライメントユニットと、を備える。搬送ユニットは、収容容器に収容された基体を取り出してアライメントユニットまで搬送する。アライメントユニットでは、回転台に基体を載せて回転させて基体の外縁をセンサで検出することで、回転台の中心からどれだけ離れた位置に基体が載せられたかを把握する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１３－２１１３１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１において、搬送ユニットが基体を取り出した時点で、基体の位置が大きくズレていた場合、基体をアライメントユニットを適切に置くことができなかったり、基体をアライメントユニットに置く際に基体が周囲の部材に衝突したりする可能性がある。あるいは、基体をアライメントユニットに置くことができた場合でも、基体を回転させる作業に失敗したり、基体をセンサで検出できなかったりする可能性がある。
本出願は以上の事情に鑑みてされたものであり、その主要な目的は、ウエハの位置ズレに起因してアライナ装置で発生し得る問題を未然に防止可能な搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本出願の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
【０００６】
本出願の第１の観点によれば、以下の構成の搬送システムが提供される。即ち、搬送システムは、ロボットと、センサと、判定部と、を備える。前記ロボットは、前記ウエハを支持してアライナ装置まで搬送するハンドを有する。前記センサは、前記ロボットが前記ウエハを前記アライナ装置に受け渡す前に、前記ウエハが前記ハンドに支持されている状態で、前記ウエハの位置を検出する。前記判定部は、前記センサの検出値に基づいて前記ウエハの位置ズレを判定する。
【０００７】
本出願の第２の観点によれば、以下の判定方法が提供される。即ち、判定方法では、ウエハの搬送中に前記ウエハの位置ズレを判定する。ロボットのハンドを用いて前記ウエハを支持してアライナ装置まで搬送する。前記ロボットが前記ウエハを前記アライナ装置に受け渡す前に、前記ウエハが前記ハンドに支持されている状態で、センサを用いて前記ウエハのエッジの位置を検出する。前記センサの検出値に基づいて前記ウエハの位置ズレを判定する。
【０００８】
これにより、ウエハをアライナ装置に置く前にウエハの位置ズレを検出するので、ウエハの位置ズレに起因してアライナ装置で発生し得る問題を未然に防止可能である。
【発明の効果】
【０００９】
本出願によれば、ウエハの位置ズレに起因してアライナ装置で発生し得る問題を未然に防止可能な搬送システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本出願の一実施形態に係る搬送システムの斜視図。
搬送システムのブロック図。
アライナセンサを用いてウエハの位置ズレを判定する処理を示すフローチャート。
アライナセンサを用いてウエハの位置ズレを判定する状況を示す説明図。
位置ズレに基づいてウエハの目標位置を修正する方法を示す説明図。
ウエハの位置ズレが大きくてアライナセンサで検出されない状況を示す説明図。
突出検出センサを用いてウエハの位置ズレを判定する処理を示すフローチャート。
突出検出センサを用いてウエハの位置ズレを判定する状況を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許