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公開番号2025172008
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-20
出願番号2025076309
出願日2025-05-01
発明の名称両用ロードポート
出願人盛詮科技股フン有限公司
代理人弁理士法人WisePlus
主分類H01L 21/677 20060101AFI20251113BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】異なるサイズのウェハ搬送カセットに対応可能であり、ウェハの搬送動線が複雑化するという問題を解決する両用ロードポートを提供する。
【解決手段】両用ロードポートは、台座10、載置台20、開口部30、プレート40及び切換ユニット50を備える。載置台は、台座の上面に設けられ、かつ、ウェハ搬送カセットを搬送するのに用いられる。開口部は、台座の一側面に設けられ、かつ、開口が貫通している。プレートは、開口部を封止可能である。切換ユニットは、プレート上に設けられており、第1クランプ組及び第2クランプ組を有しており、両クランプ組は、異なる水平面に位置し、かつ、接続位置および待機位置にまで移動可能である。本発明のメリットは、切換ユニットを増設することで、切換ユニット中の第1クランプ組と第2クランプ組とがウェハ搬送カセットに選択的に接続され、サイズの異なる2種類のウェハ搬送カセットに対応可能なことである。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウェハ搬送カセットを搬送するのに用いられる両用ロードポートであって、
上面を有する台座と、
上記上面上に設けられており、かつ上記ウェハ搬送カセットを搬送するのに用いられるとともに、上記台座に対して移動可能である載置台と、
上記台座の一側面に設けられており、かつ上記載置台に隣接する開口が貫通している開口部と、
上記開口部の上記開口を封止可能であるプレートと、
上記プレート上に設けられている切換ユニットであって、
異なる水平面に位置しており、かつ接続位置および待機位置にまで移動可能である第１クランプ組および第２クランプ組
を有する切換ユニットと、
を含むことを特徴とする両用ロードポート。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
上記切換ユニットは、
駆動手段と、
上記駆動手段および上記第１クランプ組に接続されている第１接続部材であって、上記駆動手段が上記第１接続部材および上記第１クランプ組を上記接続位置および上記待機位置にまで移動させることが可能である、第１接続部材と、
上記駆動手段および上記第２クランプ組に接続されている第２接続部材であって、上記駆動手段が上記第２接続部材および上記第２クランプ組を上記接続位置および上記待機位置にまで移動させることが可能である、第２接続部材と、
を含む、請求項１に記載の両用ロードポート。
【請求項３】
上記切換ユニットは、
上記第１接続部材に固設されており、かつ第１斜面を有する第１スライダと、
上記駆動手段に固設されており、かつ上記第１スライダの上記第１斜面に沿ってスライド移動可能である第２スライダと、
を備える第１スライドレール組と、
上記第２接続部材に固設されており、かつ第２斜面を有する第３スライダと、
上記駆動手段に固設されており、かつ上記第３スライダの上記第２斜面に沿ってスライド移動可能である第４スライダと、
を備える第２スライドレール組と、
を含む、請求項２に記載の両用ロードポート。
【請求項４】
上記第２スライダが上記第１斜面上で上記プレートから離れた位置に位置するとき、上記第１クランプ組は上記接続位置にまで連動され、上記第２スライダが上記第１斜面上で上記プレートに近い位置に位置するとき、上記第１クランプ組は上記待機位置にまで連動され、
上記第４スライダが上記第２斜面上で上記プレートから離れた位置に位置するとき、上記第２クランプ組は上記接続位置にまで連動され、上記第４スライダが上記第２斜面上で上記プレートに近い位置に位置するとき、上記第２クランプ組は上記待機位置にまで連動される、請求項３に記載の両用ロードポート。
【請求項５】
上記第１クランプ組が上記接続位置に位置しているとき、上記第２クランプ組は上記待機位置に位置し、かつ、
上記第１クランプ組が上記待機位置に位置しているとき、上記第２クランプ組は上記接続位置に位置する、請求項４に記載の両用ロードポート。
【請求項６】
上記第１斜面と上記第２斜面とは傾斜方向が反対であり、かつ、
上記駆動手段は移動部材を有しており、上記第２スライダおよび上記第４スライダが上記移動部材に固設されている、請求項５に記載の両用ロードポート。
【請求項７】
上記第１スライドレール組は合計で２つの上記第１スライダおよび２つの上記第２スライダを有しており、上記２つの上記第２スライダはそれぞれ上記２つの上記第１スライダの上記第１斜面に沿ってスライド移動し、上記２つの上記第１スライダの上記第１斜面の傾斜方向は反対であり、かつ、
上記第２スライドレール組は合計で２つの上記第３スライダおよび２つの上記第４スライダを有しており、上記２つの上記第４スライダはそれぞれ上記２つの上記第３スライダの上記第２斜面に沿ってスライド移動し、上記２つの上記第３スライダの上記第２斜面の傾斜方向は反対である、請求項３に記載の両用ロードポート。
【請求項８】
上記切換ユニットは、
上記第１接続部材に固設されており、かつ上記第１接続部材に付随して上記接続位置および上記待機位置にまで移動可能である第１ガスノズル組と、
上記第２接続部材に固設されており、かつ上記第２接続部材に付随して上記接続位置および上記待機位置にまで移動可能である第２ガスノズル組と、
を備える、請求項２に記載の両用ロードポート。
【請求項９】
上記開口部は、上記開口の一部を選択的に遮蔽可能であるスライドカバーをさらに有する、請求項１に記載の両用ロードポート。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は両用ロードポートに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
現在、半導体の製造プロセスにおいて、ウェハは複数のワークステーションを経て加工処理されるが、ワークステーション間で待機または搬送中に汚染されるのを防止するために、まずウェハをウェハ搬送カセット（ＦＯＵＰ）中に収容するとともに、ロードポート（ＬｏａｄＰｏｒｔ）によりウェハ搬送カセットの蓋を開閉することで、常にウェハの無塵状態を保っている。例えば、台湾発明公告第ＴＷＩ３７９３７４Ｂ号の容器中の物体処理方法および該方法を用いた蓋開閉システムがある。
【０００３】
サイズの異なるウェハに対応するために、ウェハ搬送カセットでも異なるサイズが必要になるが、異なるウェハ搬送カセットに対応するためには、ロードポートでも異なるサイズに変更しなければならない。しかしながら、ロードポートを増設するとウェハ工場の空間を占有してしまい、ウェハの搬送動線が複雑化して、コストも増加してしまう。
【０００４】
これに鑑みて、より好ましい改善策の提案は、業界で解決が待たれる問題であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
台湾発明公告第ＴＷＩ３７９３７４Ｂ号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が提案する主な目的は、２種類の異なるサイズのウェハ搬送カセットに対応可能であり、さらに、ウェハ搬送カセットをサイズの異なるロードポートに対応させなければならないことから複数のロードポートが必要になり、ウェハの搬送動線が複雑化するという問題を解決できる両用ロードポートを提案することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明では、ウェハ搬送カセットを搬送するのに用いられる両用ロードポートであって、
上面を有する台座と、
該上面上に設けられており、かつウェハ搬送カセットを搬送するのに用いられるとともに、台座に対して移動可能である載置台と、
台座の一側面に設けられており、かつ載置台に隣接する開口が貫通している開口部と、
開口部の開口を封止可能であるプレートと、
プレート上に設けられている切換ユニットであって、
異なる水平面に位置しており、かつ接続位置および待機位置にまで移動可能である第１クランプ組および第２クランプ組
を有する切換ユニットと、
を含む両用ロードポートを提供する。
【０００８】
本発明のメリットは、切換ユニット中の第１クランプ組と第２クランプ組とがウェハ搬送カセットに選択的に接続可能であることで、両用ロードポートは２種類の異なるサイズのウェハ搬送カセットに対応することができ、ロードポート１台を増設するコストを節約できるのみならず、ウェハの搬送動線を簡素化できることにある。これ以外に、両用ロードポート上にスライドカバーを増設して、第２クランプ組に切り換えたとき、第１クランプ組と外部とを隔絶し、切換ユニットが汚染されるのを回避できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の立体模式図である。
本発明の分解模式図である。
本発明の切換ユニットの分解模式図である。
本発明の切換ユニットの分解模式図である。
本発明の切換ユニットの断面模式図である。
本発明にて第１クランプが接続位置に位置しているときの部分断面模式図である。
本発明にて第１クランプが接続位置に位置しているときの部分立体模式図である。
本発明にて第２クランプが接続位置に位置しているときの部分断面模式図である。
本発明にて第２クランプが接続位置に位置しているときの部分立体模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１および図２を参照されたい。本発明では、ウェハ搬送カセットを搬送するのに用いられる両用ロードポートであって、台座１０と、載置台２０と、開口部３０と、プレート４０と、切換ユニット５０とを含む両用ロードポートを提供する。
（【００１１】以降は省略されています）

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