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公開番号2025126143
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-28
出願番号2025018818
出願日2025-02-07
発明の名称ウエハリング位置決めステージ
出願人盛詮科技股フン有限公司
代理人弁理士法人テックロー国際知財事務所,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250821BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウエハリングを挟持固定する力が過大になることによるウエハリングの変形を防止するウエハリング位置決めステージを提供する。
【解決手段】ウエハリングAを載置する本体部20を有するウエハリング位置決めステージにおいて、本体部には、水平的に本体部に設置される第1平面21と、それぞれが本体部の対向する二つの端部に位置し、第1平面に設置される第1固定当接部231材及び第1移動当接部材241と、ウエハリングを挟持するように、第1固定当接部材に対して接近又は離間するように第1移動当接部材を駆動する駆動部材と、第1移動当接部材が第1固定当接部材から離れるように第1移動当接部材を付勢する弾性部材と、を有する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ウエハリングを載置するウエハリング位置決めステージであって、
ベースと、前記ウエハリングを載置するように前記ベースに固設される本体部を備え、
前記本体部には、
水平的に前記本体部に設置される第１平面と、
前記本体部の一端部に位置し、前記第１平面に固設される第１固定当接部材と、
移動可能に前記本体部の他端部に設置され、前記第１固定当接部材と対向する第１移動当接部材と、
前記第１平面の高さより高く、水平的に前記本体部に設置される第２平面と、
前記第１固定当接部材と共に前記本体部の前記一端部に位置し、前記第２平面に固設される第２固定当接部材と、
移動可能に前記本体部の前記他端部に設置され、前記第２固定当接部材と対向する第２移動当接部材と、
前記第１移動当接部材に接続され、前記第１固定当接部材に対して選択的に接近又は離間するように前記第１移動当接部材を駆動させる駆動部材と、
前記第１移動当接部材に接続され、前記第１移動当接部材が前記第１固定当接部材から離れるように前記第１移動当接部材を付勢する弾性部材と、を有する、ウエハリング位置決めステージ。
続きを表示（約 650 文字）【請求項２】
前記ベースに固設され、且つ間隔をあけて前記本体部の両側に設置される複数の支持部材を有し、
前記支持部材の各々の頂部の高さは、前記第１平面の高さと同一であることを特徴とする請求項１に記載のウエハリング位置決めステージ。
【請求項３】
前記ベースに固設され、且つ間隔をあけて前記本体部の両側に設置される複数の支持部材を有し、
前記支持部材の各々の頂部は、
高さが前記第１平面の高さと同一の第１階段と、
高さが前記第２平面の高さと同一の第２階段と、を有することを特徴とする請求項１に記載のウエハリング位置決めステージ。
【請求項４】
前記第１移動当接部材の位置を計測するセンサアセンブリを有し、その計測結果に基づき、前記駆動部材は前記第１移動当接部材を駆動させることを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載のウエハリング位置決めステージ。
【請求項５】
前記センサアセンブリが光学センサであることを特徴とする請求項４に記載のウエハリング位置決めステージ。
【請求項６】
前記ウエハリングに接触し、帯電防止のコーティングが施された表面を更に有することを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載のウエハリング位置決めステージ。
【請求項７】
前記ウエハリングに接触し、帯電防止のコーティングが施された表面を更に有することを特徴とする請求項４に記載のウエハリング位置決めステージ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハリング位置決めステージに関するものである。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体産業では、ウエハに対し切断や研磨等の加工を施す時、加工過程においてウエハの摺動を避けるために、ウエハリングに薄いフィルムを貼り付けた上で、そのフィルムにウエハを載置する。また、加工完了後、クリーニングされたウエハリングは再度使用することができる。つまり、加工の過程において、ウエハはウエハリングに固設されて、ウエハリングと共に移動する。
【０００３】
例えば、米国特許出願公開第２０２１／０３０１８７１号明細書と米国特許出願公開第２０１９／０２０３３７３号明細書に記載される通り、ウエハ生産ラインの各加工ステーションには、加工過程においてウエハの変位を避けるために、ウエハリングを係合して固定し、ウエハとウエハリングを正確な加工位置に位置決めするウエハリング位置決めステージが設置されている。また、ウエハとウエハリングが加工ステーションのウエハリング位置決めステージの間を移動する際、ロボットアームで一つのウエハリング位置決めステージからウエハリングを持ち上げて、該ウエハリングを別のウエハリング位置決めステージに係合する。
【０００４】
しかしながら、従来のウエハリング位置決めステージにおけるウエハリングを挟持するための部材は、ベースに固設されており、且つベース上において移動することができない。即ち、このようなウエハリング位置決めステージでは、挟持力や挟持範囲を調整することができず、ウエハリングの弾性変形により着脱作業を行う必要があるので、ウエハリングの変形（deformation）は容易に発生して、ウエハの加工に支障が起こし、ウエハリングの再利用もできなくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
米国特許出願公開第２０２１／０３０１８７１号明細書
米国特許出願公開第２０１９／０２０３３７３号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、ウエハリングを挟持固定する力が過大になることによる、ウエハリングの変形を防止するウエハリング位置決めステージを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のウエハリング位置決めステージは、ウエハリングを載置するウエハリング位置決めステージであって、
ベースと、前記ウエハリングを載置するように前記ベースに固設される本体部を備え、
前記本体部には、
水平的に前記本体部に設置される第１平面と、
前記本体部の一端部に位置し、前記第１平面に固設する第１固定当接部材と、
移動可能に前記本体部の他端部に設置され、前記第１固定当接部材と対向する第１移動当接部材と、
前記第１平面の高さより高く、水平的に前記本体部に設置される第２平面と、
前記第１固定当接部材と共に前記本体部の前記一端部に位置し、前記第２平面に固設される第２固定当接部材と、
移動可能に前記本体部の前記他端部に設置され、前記第２固定当接部材と対向する第２移動当接部材と、
前記第１移動当接部材に接続され、前記第１固定当接部材に対して選択的に接近又は離間するように前記第１移動当接部材を駆動させる駆動部材と、
前記第１移動当接部材に接続され、前記第１移動当接部材が前記第１固定当接部材から離れるように前記第１移動当接部材を付勢する弾性部材と、を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のウエハリング位置決めステージには、弾性部材と駆動部材を有することから、ウエハリングを挟持、固定する際に、弾性部材がウエハリングが変形しないように、第１移動当接部材を付勢し、第１固定当接部材と第１移動当接部材との間の距離や、その間に発生する挟持力を、ウエハリングの状況に合わせるように調整することができる。
【０００９】
上記のウエハリング位置決めステージにおいては、前記ベースに固設され、且つ間隔をあけて前記本体部の両側に設置される複数の支持部材を有し、前記支持部材の各々の頂部の高さは、前記第１平面の高さと同一である。
【００１０】
上記のウエハリング位置決めステージにおいては、前記ベースに固設され、且つ間隔をあけて前記本体部の両側に設置される複数の支持部材を有し、前記支持部材の各々の頂部は、高さが前記第１平面の高さと同一の第１階段と、高さが前記第２平面の高さと同一の第２階段と、を有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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