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公開番号2025164074
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-30
出願番号2024067827
出願日2024-04-18
発明の名称光ファイバ母材の製造方法
出願人信越化学工業株式会社
代理人個人
主分類C03B 37/018 20060101AFI20251023BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約【課題】長手方向の特性変動が抑制された光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法を提供する。
【解決手段】VAD法による光ファイバ母材の製造方法において、堆積中の多孔質ガラス母材の先端位置を検出し、先端位置が一定となるように引き上げ速度を調整し、堆積初期においては、堆積時間ごとに目標の引き上げ速度を設定し、目標の引き上げ速度となるように、バーナーへの原料ガス流量を所定の補正間隔ごとに調整し補正することで、所定の時間まで漸次的に引き上げ速度を変化させ、堆積し、定常状態においては、引き上げ速度が一定となるように堆積し、多孔質ガラス母材を生成した後、多孔質ガラス母材を加熱炉で脱水、透明ガラス化することで、光ファイバガラス母材を得る。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ＶＡＤ法による光ファイバ母材の製造方法において、
堆積中の多孔質ガラス母材の先端位置を検出し、先端位置が一定となるように引き上げ速度を調整し、
堆積初期においては、堆積時間ごとに目標の引き上げ速度を設定し、目標の引き上げ速度となるように、バーナーへの原料ガス流量を所定の補正間隔ごとに調整し補正することで、所定の時間まで漸次的に引き上げ速度を変化させつつ堆積し、
定常状態においては、引き上げ速度が一定となるように堆積し、多孔質ガラス母材を生成した後、
前記多孔質ガラス母材を加熱炉で脱水、透明ガラス化することで、光ファイバガラス母材を得ることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
続きを表示（約 520 文字）【請求項２】
前記多孔質ガラス母材の製造方法において、引き上げ速度を漸次的に変化させる前記所定の時間は堆積開始から３００～５００分であることを特徴とする、請求項１に記載の光ファイバ母材の製造方法。
【請求項３】
前記多孔質ガラス母材の製造方法において、堆積初期におけるバーナーへの原料ガス流量の前記補正間隔を１５～３００秒とすることを特徴する、請求項１または２に記載の光ファイバ母材の製造方法。
【請求項４】
前記多孔質ガラス母材の製造方法において、堆積初期におけるバーナーへの原料ガス流量の前記補正間隔を３０～９０秒とすることを特徴する、請求項１または２に記載の光ファイバ母材の製造方法。
【請求項５】
前記光ファイバ母材を屈折率分布測定装置で測定し、長手方向のカットオフ波長を算出推定し、その得られた結果に基づき、堆積開始側のカットオフ波長を上昇させたいときは堆積初期の目標の引き上げ速度を減少させ、堆積開始側のカットオフ波長を減少させたいときは堆積初期の目標の引き上げ速度を上昇させるよう、堆積条件に反映させることを特徴する、請求項１または２に記載の光ファイバ母材の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＶＡＤ法による光ファイバ母材の製造方法に関し、特に、光ファイバ母材の長手方向の特性変動を安定させることのできる光ファイバ母材の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
ＶＡＤ法は、バーナーに可燃性ガスと助燃性ガスとを送り込んで酸水素火炎を発生させ、この火炎中に、四塩化ケイ素や四塩化ゲルマニウムなどの原料ガスを導入して加水分解反応させることによりガラス微粒子を生成する。この生成されたガラス微粒子を回転しつつ上昇するシャフトに取り付けられた出発部材の軸方向に堆積させることにより、ガラス微粒子堆積体を円柱状に成長させ、多孔質ガラス母材を形成する。得られた多孔質ガラス母材は、その後、加熱炉で脱水、透明ガラス化され、光ファイバ用ガラス母材とされる。
【０００３】
ＶＡＤ法により製造した光ファイバ用ガラス母材の長手方向の特性変動を抑制する方法として、引き上げ速度に応じてバーナーに導入するガス流量を変化させる方法（特許文献１参照）や、堆積形状に基づいてバーナーの位置や流量を変化させる方法（特許文献２参照）などが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０００－０３４１３１号公報
特開平０９－２２７１４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような製造方法においては、ＶＡＤ法の堆積中、コアスートの先端位置が一定となっていることが、光ファイバ母材の光学特性を安定させるために望ましい。ここで言う光学特性とは、カットオフ波長、モードフィールド径、分散特性等の光学特性のことである。コアスートの先端位置はＣＣＤカメラ等で検出され、その位置が一定となるように、引き上げ速度あるいはバーナーへの原料ガス流量を逐次調整することが一般的に行われている。引き上げ速度あるいは原料ガスの流量に大きな変動が生じると、堆積状態が変化し、光ファイバ母材の特性変動も大きくなってしまう。
【０００６】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、本発明は、長手方向の特性変動が抑制された光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
課題を解決するため、本発明は、ＶＡＤ法による光ファイバ母材の製造方法において、堆積中の多孔質ガラス母材の先端位置を検出し、先端位置が一定となるように引き上げ速度を調整し、堆積初期においては、堆積時間ごとに目標の引き上げ速度を設定し、目標の引き上げ速度となるように、バーナーへの原料ガス流量を逐次調整し補正することで、所定の時間まで漸次的に引き上げ速度を変化させつつ堆積し、定常状態においては、引き上げ速度が一定となるように堆積し、多孔質ガラス母材を生成した後、多孔質ガラス母材を加熱炉で脱水、透明ガラス化することで、光ファイバガラス母材を得ることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法を提供する。
【０００８】
本発明では、多孔質ガラス母材の製造方法において、引き上げ速度を漸次的に変化させる所定の時間は堆積開始から３００～５００分であるとよい。
【０００９】
本発明では、多孔質ガラス母材の製造方法において、堆積初期におけるバーナーへの原料ガス流量の補正間隔を１５～３００秒とするとよい。
【００１０】
本発明では、多孔質ガラス母材の製造方法において、堆積初期におけるバーナーへの原料ガス流量の補正間隔を３０～９０秒とするとよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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