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公開番号2025162997
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-28
出願番号2025066478
出願日2025-04-14
発明の名称センサ評価方法及びセンサ評価装置
出願人三洋化成工業株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01N 27/12 20060101AFI20251021BHJP(測定;試験)
要約【課題】ガスセンサの評価に必要な時間を大幅に減らすことができるセンサ評価方法及センサ評価装置を提供する。
【解決手段】チャンバ内にガスセンサを配置する配置工程と、ガスセンサが配置されたチャンバ内を真空にする真空工程と、真空にされた前記チャンバに、前記チャンバ内のガスセンサが反応する評価用ガスを供給する評価用ガス供給工程と、
前記チャンバ内のガスセンサから出力される信号値に基づいてガスセンサを評価する評価工程と、を含む、センサ評価方法。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
チャンバ内にガスセンサを配置する配置工程と、
ガスセンサが配置されたチャンバ内を真空にする真空工程と、
真空にされた前記チャンバに、前記チャンバ内のガスセンサが反応する評価用ガスを供給する評価用ガス供給工程と、
前記チャンバ内のガスセンサから出力される信号値に基づいてガスセンサを評価する評価工程と、を含む、センサ評価方法。
続きを表示（約 800 文字）【請求項２】
前記チャンバ内に複数のセンサを配置する、請求項１に記載のセンサ評価方法。
【請求項３】
前記真空工程において出力される前記信号値と、前記評価用ガス供給工程において出力される前記信号値との差に基づいてガスセンサを評価する、請求項１に記載のセンサ評価方法。
【請求項４】
前記真空工程と、前記評価用ガス供給工程とを各１回ずつ含む工程を１回の測定工程とし、この測定工程の間における前記信号値の経時変化を測定する、請求項１に記載のセンサ評価方法。
【請求項５】
前記真空工程の前に、前記チャンバ内を不活性ガスで充填する不活性ガス充填工程をさらに備える、請求項１に記載のセンサ評価方法。
【請求項６】
前記不活性ガス充填工程において出力される前記信号値と、前記評価用ガス供給工程において出力される前記信号値との差に基づいてガスセンサを評価する請求項５に記載のセンサ評価方法。
【請求項７】
前記測定工程が前記不活性ガス充填工程をも含むものである、請求項４に記載のセンサ評価方法。
【請求項８】
前記真空工程において出力される前記信号値と、前記評価用ガス供給工程において出力される前記信号値との差、及び、前記不活性ガス充填工程において出力される前記信号値と、前記評価用ガス供給工程において出力される前記信号値との差に基づいてガスセンサを評価する請求項６に記載のセンサ評価方法。
【請求項９】
前記差が、予め定められた許容範囲内のものであるか否かによりガスセンサを評価する、請求項３、６及び８のいずれか一項に記載のセンサ評価方法。
【請求項１０】
前記評価用ガスとして複数種類のガスを使用する、請求項１に記載のセンサ評価方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この発明は、センサ評価方法及びセンサ評価装置に関するものである。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、匂いセンサ等のガスセンサの評価においては、窒素ガス等の不活性ガスで充填されたチャンバ内に、ガスセンサに反応する評価用ガスを注入し、ガスセンサからの出力信号が所定の値となっていることを確認することによりガスセンサを評価している。
【０００３】
しかしながら、この従来の評価方法においては、チャンバ内の不活性ガスが評価用ガスで均一に置換されるのを待つ必要があるため、ガスセンサの評価に時間がかかってしまうという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第４９４４９７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は前述した課題に鑑みてなされたものであり、ガスセンサの評価に必要な時間を大幅に減らすことができるセンサ評価方法及センサ評価装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
すなわち本発明に係るセンサ評価方法及びセンサ評価装置は、以下の通りである。
［１］チャンバ内にガスセンサを配置する配置工程と、
ガスセンサが配置されたチャンバ内を真空にする真空工程と、
真空にされた前記チャンバに、前記チャンバ内のガスセンサが反応する評価用ガスを供給する評価用ガス供給工程と、
前記チャンバ内のガスセンサから出力される信号値に基づいてガスセンサを評価する評価工程と、を含む、センサ評価方法。
［２］前記チャンバ内に複数のガスセンサを配置する、［１］に記載のセンサ評価方法。
［３］前記真空工程において出力される前記信号値と、前記評価用ガス供給工程において出力される前記信号値との差に基づいてガスセンサを評価する、［１］又は［２］に記載のセンサ評価方法。
［４］前記真空工程と、前記評価用ガス供給工程とを各１回ずつ含む工程を１回の測定工程とし、この測定工程の間における前記信号値の経時変化を測定する、［１］～［３］のいずれかに記載のセンサ評価方法。
［５］前記真空工程の前に、前記チャンバ内を不活性ガスで充填する不活性ガス充填工程をさらに備える、［１］～［４］のいずれかに記載のセンサ評価方法。
［６］前記不活性ガス充填工程において出力される前記信号値と、前記評価用ガス供給工程において出力される前記信号値との差に基づいてガスセンサを評価する、［５］に記載のセンサ評価方法。
［７］前記測定工程が前記不活性ガス充填工程をも含むものである、［４］に記載のセンサ評価方法。
［８］前記真空工程において出力される前記信号値と、前記評価用ガス供給工程において出力される前記信号値との差、及び、前記不活性ガス充填工程において出力される前記信号値と、前記評価用ガス供給工程において出力される前記信号値との差に基づいてガスセンサを評価する［５］又は［６］に記載のセンサ評価方法。
［９］前記差が、予め定められた許容範囲内のものであるか否かによりガスセンサを評価する、［３］、［６］及び［８］のいずれかに記載のセンサ評価方法。
［１０］前記評価用ガスとして複数種類のガスを使用する、［１］～［９］のいずれかに記載のセンサ評価方法。
［１１］前記不活性ガスが窒素ガスである、［５］に記載のセンサ評価方法。
［１２］前記真空が２０ｋＰａ以下の真空である、［１］～［１１］のいずれかに記載のセンサ評価方法。
［１３］ガスセンサを内部に収容するチャンバと、
前記チャンバ内のガスセンサが反応する評価用ガスを供給するガス供給機構と、
前記チャンバを真空にする真空機構と、
前記チャンバ内のガスセンサから出力される信号値に基づいてガスセンサを評価する評価部と、を備え、
前記真空機構が、前記チャンバ内に前記評価用ガスが供給される前に、前記チャンバを真空にするものである、センサ評価装置。
［１４］前記チャンバ内に配置されるものであり、前記ガスセンサを複数個載置可能な基板をさらに備えた、［１３］に記載のセンサ評価装置。
［１５］前記ガス供給機構が、ガスバッグ又はガスボンベを備えたものである、［１３］又は［１４］に記載のセンサ評価装置。
［１６］前記チャンバ内の圧力が所定値を超えた場合に作動する安全弁を備えたものである、［１３］～［１５］のいずれかに記載のセンサ評価装置。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ガスセンサの評価に必要な時間を大幅に減らすことができるセンサ評価方法及センサ評価装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の一実施形態に係るセンサ評価装置の全体模式図。
本実施形態に係るセンサ評価装置のチャンバ内の構造を示す模式図。
本実施形態に係るセンサ評価装置によってガスセンサを評価する方法及び手順を示す模式図。
本実施形態に係るセンサ評価装置によって得られるセンサからの信号値の一例。
本実施形態に係るセンサ評価装置の評価対象のセンサの一例を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。
【００１０】
＜本実施形態に係るセンサ評価装置の構成＞
本実施形態に係るセンサ評価装置１００は、例えば、図１に示すように、チャンバ１と、前記チャンバ１内にガスを供給するガス供給機構２と、前記ガスセンサＳから出力される信号値に基づいてガスセンサＳ（以下、単にセンサＳともいう。）を評価する評価部３と、を備えたものである。
（【００１１】以降は省略されています）

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