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公開番号2025161493
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-24
出願番号2024064716
出願日2024-04-12
発明の名称プローブの製造方法
出願人株式会社日本マイクロニクス
代理人個人,個人
主分類G01R 1/067 20060101AFI20251017BHJP(測定;試験)
要約【課題】軸方向に伸縮するプローブの製造方法を提供する。
【解決手段】プローブの製造方法は、第1交差方向に延伸する第1斜梁1211が配列された第1金属板111、第1斜梁1211の間隔で平行梁1212が2列に配列された第2金属板112、第1交差方向と対称な第2交差方向に延伸する第2斜梁1213が配列された第3金属板113を準備し、第1金属板111、第2金属板112および第3金属板113を順に積層する。平行梁1212を介して第1斜梁1211の端部と第2斜梁1213の端部を接続させ、第1斜梁1211、平行梁1212および第2斜梁1213が順に連結したコイルスプリング部121を含むバネ部12を構成する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
検査対象物の電気的特性の検査に使用されるプローブの製造方法であって、
第１方向および前記第１方向に垂直な第２方向により定義される平面において、前記第１方向と前記第２方向のそれぞれと斜めに交差する第１交差方向に延伸する複数の第１斜梁が前記第２方向に沿って配列された第１伸縮部を含む第１金属板と、
前記第１方向および前記第２方向のそれぞれと垂直な第３方向に延伸する複数の平行梁が前記第２方向に沿って配列された第２伸縮部を含む第２金属板であって、前記第１斜梁の前記第１方向に沿った長さの間隔で前記平行梁が２列に配列された前記第２金属板と、
前記平面において、前記第２方向を対称軸として前記第１交差方向と対称な第２交差方向に延伸し、前記第１方向に沿った長さが前記第１斜梁と同じである複数の第２斜梁が前記第２方向に沿って配列された第３伸縮部を含む第３金属板と、
を準備し、
前記平行梁を介して前記第１斜梁の端部と前記第２斜梁の端部を接続させ、前記第１斜梁、前記平行梁および前記第２斜梁が順に連結したコイルスプリング部を含むバネ部を構成するように、前記第３金属板、前記第２金属板および前記第１金属板を前記第３方向に順に積層する、
を含むプローブの製造方法。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記第１金属板が、前記第２方向の一方の端部に配置された板状の第１先端部、および前記第２方向の他方の端部に配置された板状の第１基端部を有し、
前記第２金属板が、前記第２方向の一方の端部に配置された板状の第２先端部、および前記第２方向の他方の端部に配置された板状の第２基端部を有し、
前記第３金属板が、前記第２方向の一方の端部に配置された板状の第３先端部、および前記第２方向の他方の端部に配置された板状の第３基端部を有し、
前記第３金属板、前記第２金属板および前記第１金属板を前記第３方向に順に積層して、前記第３先端部、前記第２先端部および前記第１先端部が積層された先端部、および、前記第３基端部、前記第２基端部および前記第１基端部が積層された基端部を構成する、
を含む請求項１に記載のプローブの製造方法。
【請求項３】
前記第１金属板が、複数の第１伸縮部、および前記第１伸縮部の相互間に配置された板状の第１連結部を含み、
前記第２金属板が、複数の第２伸縮部、および前記第２伸縮部の相互間に配置された板状の第２連結部を含み、
前記第３金属板が、複数の第３伸縮部、および前記第３伸縮部の相互間に配置された板状の第３連結部を含み、
前記第３金属板、前記第２金属板および前記第１金属板を前記第３方向に順に積層して、弾性を有する複数の前記コイルスプリング部が、前記第３連結部、前記第２連結部および前記第１連結部が積層されて構成された弾性を有さない連結部を介して前記第２方向に沿って連結された前記バネ部を構成する、
を含む請求項２に記載のプローブの製造方法。
【請求項４】
前記第２金属板と前記第１金属板を積層する前に、前記先端部と前記基端部を電気的に接続する柱状部材を前記バネ部の内側に配置する、請求項３に記載のプローブの製造方法。
【請求項５】
前記先端部と前記連結部の間、２つの前記連結部の間、および前記連結部と前記基端部の間を架橋する複数の前記柱状部材を含み、
前記柱状部材それぞれの一方の端部を、前記先端部、前記連結部および前記基端部のいずれかに固定し、
前記バネ部が前記第２方向に収縮する際に前記柱状部材それぞれの他方の端部が挿入する凹部を、前記先端部、前記連結部および前記基端部のいずれかに形成する、
請求項４に記載のプローブの製造方法。
【請求項６】
前記第２方向に貫通する貫通孔を前記連結部に形成し、
単一の前記柱状部材を前記先端部と前記基端部に到達するように前記貫通孔を通過させ、
前記バネ部が前記第２方向に収縮する際に前記柱状部材の端部が挿入する凹部を、前記先端部と前記基端部の少なくともいずれかに形成する、
請求項４に記載のプローブの製造方法。
【請求項７】
前記第１金属板および前記第３金属板に前記柱状部材を接続部品により接合する、請求項６に記載のプローブの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の電気的特性の検査に使用するプローブの製造方法に関する。
続きを表示（約 2,700 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路などの検査対象物の電気的特性をウェハ状態で検査するために、プローブを含む電気的接続装置が使用されている。プローブを用いた検査では、プローブの一方の端部が検査対象物の電極に接触し、プローブの他方の端部が電気的接続装置に含まれる基板に配置された端子（以下において「ランド」も称する。）に接触する。ランドは、テスタなどの検査装置と電気的に接続される。
【０００３】
検査対象物の電気的特性を正確に検査するために、検査対象物とランドとをプローブを介して安定して電気的に接続する必要がある。このため、プローブ自体が軸方向の弾性を有さない場合に、電気的接続装置のプローブヘッドなどに湾曲させた状態でプローブを保持する方法が採用されている。湾曲したプローブを検査対象物に押し付けて更にプローブを湾曲させるオーバードライブにより、プローブの弾性によってプローブを安定して検査対象物とランドに接触させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１８－４２６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、プローブを湾曲させた状態で保持する電気的接続装置では、プローブの交換が必要になった場合に、プローブヘッドに保持されたプローブを湾曲させた状態からまっすぐな状態に戻した後に、プローブヘッドからプローブを取り外す必要がある。このため、プローブの交換に時間を要する。
【０００６】
これに対し、軸方向に伸縮するプローブであれば、プローブを湾曲させた状態で電気的接続装置に保持する必要がない。本発明は、軸方向に伸縮するプローブの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係るプローブの製造方法は、第１金属板、第２金属板および第３金属板を積層してプローブを製造する。第１金属板は、第１交差方向に延伸する第１斜梁が配列されている。第２金属板は、第１斜梁の長さの間隔で平行梁が２列に配列されている。第３金属板は、第１交差方向と対称な第２交差方向に延伸する第２斜梁が配列されている。第１金属板、第２金属板および第３金属板を順に積層することにより、平行梁を介して第１斜梁の端部と第２斜梁の端部を接続させ、第１斜梁、平行梁および第２斜梁が順に連結したコイルスプリング部を含むバネ部を構成する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、軸方向に伸縮するプローブの製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、第１の実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な側面図である。
図２は、第１の実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な平面図である。
図３は、図１に示すプローブを構成する第１金属板を示す模式図である。
図４は、図１に示すプローブを構成する第２金属板を示す模式図である。
図５は、図１に示すプローブを構成する第３金属板を示す模式図である。
図６は、第１の実施形態に係るプローブのコイルスプリング部の構成を示す模式図である。
図７は、第１の実施形態に係るプローブのコイルスプリング部を示す模式的な斜視図である。
図８は、図１に示すプローブを構成する第４金属板を示す模式図である。
図９は、図１に示すプローブの先端部と柱状部材の接続を示す模式図である。
図１０は、図１に示すプローブの連結部と柱状部材の接続を示す模式図である。
図１１は、第１の実施形態に係るプローブのコイルスプリング部の各線の形状を示す模式図である。
図１２は、第１の実施形態に係るプローブの製造に使用される基板の構成を示す模式図である。
図１３は、第２の実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。
図１４は、図１３に示すプローブを構成する第１金属板を示す模式図である。
図１５は、図１３に示すプローブを構成する第２金属板を示す模式図である。
図１６は、図１３に示すプローブを構成する第３金属板を示す模式図である。
図１７は、図１３に示すプローブを構成する第４金属板を示す模式図である。
図１８は、図１３に示すプローブの柱状部材の接続方法を示す模式図である。
図１９は、第２の実施形態の変形例に係るプローブを構成する第１金属板を示す模式図である。
図２０Ａは、図１９に示す第１金属板の模式的な側面図である。
図２０Ｂは、図１９に示す第１金属板の模式的な斜視図である。
図２１は、第２の実施形態の変形例に係るプローブを構成する第２金属板を示す模式図である。
図２２Ａは、図２１に示す第２金属板の模式的な側面図である。
図２２Ｂは、図２１に示す第２金属板の模式的な斜視図である。
図２３は、第２の実施形態の変形例に係るプローブを構成する第３金属板を示す模式図である。
図２４Ａは、図２３に示す第３金属板の模式的な側面図である。
図２４Ｂは、図２３に示す第３金属板の模式的な斜視図である。
図２５は、第２の実施形態の変形例に係るプローブを構成する第４金属板の模式的な斜視図である。
図２６は、基板に形成された金属板のパターンを示す模式図である。
図２７は、その他の実施形態に係るプローブの連結部の開口形状の例を示す模式的な断面図である。
図２８は、その他の実施形態に係るプローブの連結部の開口形状の他の例を示す模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造および配置などを下記のものに特定するものでない。
（【００１１】以降は省略されています）

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