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公開番号2025152751
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024054806
出願日2024-03-28
発明の名称光スペクトル測定プログラム、光スペクトル測定方法、及び光スペクトラムアナライザ
出願人横河電機株式会社,横河計測株式会社,国立大学法人横浜国立大学,地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01J 3/02 20060101AFI20251002BHJP(測定;試験)
要約【課題】複数の被測定光のそれぞれの測定条件の差を小さくできる光スペクトル測定プログラム、光スペクトル測定方法、及び光スペクトラムアナライザを提供する。
【解決手段】1回の掃引中に複数の被測定光の光スペクトルを測定する光スペクトル測定プログラムは、複数の被測定光から1つずつ選択された被測定光の強度の測定結果を取得することと、測定時に選択されていた被測定光と取得した測定結果とを対応づけることによって各被測定光の光スペクトルを生成することとをプロセッサに実行させる。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
１回の掃引中に複数の被測定光の光スペクトルを測定するプログラムであって、
前記複数の被測定光から１つずつ選択された被測定光の強度の測定結果を取得することと、
測定時に選択されていた被測定光と取得した測定結果とを対応づけることによって前記各被測定光の光スペクトルを生成することと
をプロセッサに実行させる、光スペクトル測定プログラム。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記複数の被測定光の中から測定する被測定光を選択することを前記プロセッサに実行させる、請求項１に記載の光スペクトル測定プログラム。
【請求項３】
掃引中に第１波長の光強度を測定する第１期間において、前記複数の被測定光から１つずつ選択した少なくとも１つの被測定光の前記第１波長の光強度の測定結果を取得することを前記プロセッサに実行させる、請求項２に記載の光スペクトル測定プログラム。
【請求項４】
前記第１期間において、前記複数の被測定光の全ての被測定光の前記第１波長の光強度の測定結果を取得することを前記プロセッサに実行させる、請求項３に記載の光スペクトル測定プログラム。
【請求項５】
掃引中に第２波長の光強度を測定する第２期間において選択する被測定光の数が前記第１期間において選択する被測定光の数と異なるように、前記被測定光を選択することを前記プロセッサに実行させる、請求項３に記載の光スペクトル測定プログラム。
【請求項６】
掃引中に各波長の光強度を測定する各期間において選択する被測定光の数を、前記各被測定光の測定に要求される精度に基づいて決定することを前記プロセッサに実行させる、請求項３に記載の光スペクトル測定プログラム。
【請求項７】
前記複数の被測定光から１つの被測定光を選択して切り替えてから無効期間が経過した後の測定結果を取得することを前記プロセッサに実行させる、請求項１から６までのいずれか一項に記載の光スペクトル測定プログラム。
【請求項８】
測定波長の光強度の複数回の測定を実行した場合、前記複数回の測定のそれぞれで取得した複数の測定値に対する統計処理を実行して算出した値を、前記測定波長の光強度の測定結果として取得することを前記プロセッサに実行させる、請求項１から６までのいずれか一項に記載の光スペクトル測定プログラム。
【請求項９】
１回の掃引中に複数の被測定光の光スペクトルを生成する方法であって、
前記複数の被測定光から１つずつ選択された被測定光の強度の測定結果を取得することと、
測定時に選択されていた被測定光と取得した測定結果とを対応づけることによって前記各被測定光の光スペクトルを生成することと
を含む、光スペクトル測定方法。
【請求項１０】
１回の掃引中に複数の被測定光の光スペクトルを生成する光スペクトラムアナライザであって、
前記複数の被測定光から１つずつ選択された被測定光の強度を測定する少なくとも１台の測定部と、
前記測定部による光強度の測定時に選択されていた被測定光と前記測定部による光強度の測定結果とを対応づけることによって前記各被測定光の光スペクトルを生成する制御部と
を備える、光スペクトラムアナライザ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、光スペクトル測定プログラム、光スペクトル測定方法、及び光スペクトラムアナライザに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載されているように、回動可能なグレーティングを備える分光器が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第５３３９０２７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
光スペクトラムアナライザは、光スペクトルを測定する際、測定波長範囲の開始波長から終了波長までの各波長に対応する角度でグレーティングを回転させ、各波長の光強度である光スペクトルを測定する。光スペクトラムアナライザは、複数の被測定光の光スペクトルを測定することがある。光スペクトラムアナライザは、１つの被測定光について光スペクトルを測定した後、次の被測定光に切り替えて光スペクトルを測定する。この場合、複数の被測定光のそれぞれの測定に時間差が生じる。各被測定光の測定に時間差が生じることによって、各被測定光の測定条件が変動することがある。各被測定光の測定条件が変動することによって、各被測定光の測定結果を正しく比較できないことが有る。各被測定光の測定結果を正しく比較するために、各被測定光の測定条件の差を小さくすることが求められる。
【０００５】
本開示は、上述の点に鑑みてなされたものであり、複数の被測定光のそれぞれの測定条件の差を小さくできる光スペクトル測定プログラム、光スペクトル測定方法、及び光スペクトラムアナライザを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
幾つかの実施形態に係る（１）光スペクトル測定プログラムは、１回の掃引中に複数の被測定光の光スペクトルを測定するプログラムである。前記光スペクトル測定プログラムは、前記複数の被測定光から１つずつ選択された被測定光の強度の測定結果を取得することと、測定時に選択されていた被測定光と取得した測定結果とを対応づけることによって前記各被測定光の光スペクトルを生成することとをプロセッサに実行させる。このようにすることで、複数の被測定光の同じ測定波長の強度を測定する時間差が小さくなる。その結果、複数の被測定光のそれぞれの測定条件の差が小さくなる。
【０００７】
（２）上記（１）に記載の光スペクトル測定プログラムは、前記複数の被測定光の中から測定する被測定光を選択することを前記プロセッサに実行させてよい。プロセッサが被測定光を選択することによって、入力される被測定光を特定する情報を取得しなくてもよい。
【０００８】
（３）上記（２）に記載の光スペクトル測定プログラムは、掃引中に第１波長の光強度を測定する第１期間において、前記複数の被測定光から１つずつ選択した少なくとも１つの被測定光の前記第１波長の光強度の測定結果を取得することを前記プロセッサに実行させてよい。このようにすることで各被測定光の切り替え頻度の重みづけが実行される。その結果、被測定光の切り替え頻度が低減される。
【０００９】
（４）上記（３）に記載の光スペクトル測定プログラムは、前記第１期間において、前記複数の被測定光の全ての被測定光の前記第１波長の光強度の測定結果を取得することを前記プロセッサに実行させてよい。このようにすることで全ての被測定光についての第１波長の光強度が比較可能になる。その結果、ユーザの利便性が向上する。
【００１０】
（５）上記（３）又は（４）に記載の光スペクトル測定プログラムは、掃引中に第２波長の光強度を測定する第２期間において選択する被測定光の数が前記第１期間において選択する被測定光の数と異なるように、前記被測定光を選択することを前記プロセッサに実行させてよい。このようにすることで各被測定光の切り替え頻度の重みづけが実行される。その結果、被測定光の切り替え頻度が低減される。
（【００１１】以降は省略されています）

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