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公開番号2025110601
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-29
出願番号2024004529
出願日2024-01-16
発明の名称制御装置、制御方法、制御プログラム、及びクリーンルームシステム
出願人株式会社大気社
代理人弁理士法人太陽国際特許事務所
主分類F24F 7/007 20060101AFI20250722BHJP(加熱;レンジ;換気)
要約【課題】クリーンルームへの送風を実行する際に、クリーンルーム内の湿度が低下することを抑制する。
【解決手段】制御装置22は、クリーンルームCRへ送風される空気の状態を取得する。制御装置22は、取得された空気の状態に応じて、クリーンルームCR内の清浄度に基づき決定された空気の量である送風量が変更されるように、送風機19を制御する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
クリーンルーム内の清浄度に基づき前記クリーンルームに送風部から送風する送風量を決定する送風量決定部と、
前記送風部によって前記クリーンルームへ送風される空気の状態を取得する取得部と、
前記取得部により取得された前記空気の状態に応じて、前記送風量決定部によって決定された前記送風量が変更されるように、前記送風部を制御する制御部と、
を含む制御装置。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記空気の状態は、前記空気の温度であり、
前記制御部は、前記空気の温度が低いほど前記送風量が増加し、前記空気の温度が高いほど前記送風量が減少するように、前記送風部を制御する、
請求項１に記載の制御装置。
【請求項３】
前記制御部は、
前記空気の温度が、温度に関する第１温度閾値未満である場合には、前記送風量が増加するように前記送風部を制御し、
前記空気の温度が、温度に関する第２温度閾値以上である場合には、前記送風量が減少するように前記送風部を制御し、
前記空気の温度が、前記第１温度閾値以上であり、かつ前記第２温度閾値未満である場合には、前記送風量が変更されないように前記送風部を制御する、
請求項２に記載の制御装置。
【請求項４】
前記制御部は、現在の日付情報及び現在の時刻情報の少なくとも一方を取得し、現在の日付情報及び現在の時刻情報の少なくとも一方に応じて、前記第１温度閾値及び前記第２温度閾値の少なくとも一方を変更する、
請求項３に記載の制御装置。
【請求項５】
前記空気の状態は、前記空気の湿度であり、
前記制御部は、前記空気の湿度が低いほど前記送風量が減少し、前記空気の湿度が高いほど前記送風量が増加するように、前記送風部を制御する、
請求項１に記載の制御装置。
【請求項６】
前記制御部は、
前記空気の湿度が、湿度に関する第１湿度閾値未満である場合には、前記送風量が減少するように前記送風部を制御し、
前記空気の湿度が、湿度に関する第２湿度閾値以上である場合には、前記送風量が増加するように前記送風部を制御し、
前記空気の湿度が、前記第１湿度閾値以上であり、かつ前記第２湿度閾値未満である場合には、前記送風量が変更されないように前記送風部を制御する、
請求項５に記載の制御装置。
【請求項７】
前記制御部は、現在の日付情報及び現在の時刻情報の少なくとも一方を取得し、現在の日付情報及び現在の時刻情報の少なくとも一方に応じて、前記第１湿度閾値及び前記第２湿度閾値の少なくとも一方を変更する、
請求項６に記載の制御装置。
【請求項８】
前記送風部によって送風される前記空気の温度は、前記クリーンルーム内の温度に応じて調整され、
前記制御部は、前記空気の温度が調整されている最中に、前記空気の状態に応じて、前記送風量が変更されるように前記送風部を制御する、
請求項１～請求項７の何れか１項に記載の制御装置。
【請求項９】
前記制御部は、
前記クリーンルーム内の稼働状態を表す室内稼働状態を取得し、
前記送風量決定部は、前記空気の状態と前記室内稼働状態とに応じて、前記送風量を決定する、
請求項１～請求項７の何れか１項に記載の制御装置。
【請求項１０】
前記制御部は、
前記送風部のモータへ出力するインバータ周波数信号の周波数を増加させることにより、前記送風量を増加させ、
前記送風部のモータへ出力するインバータ周波数信号の周波数を減少させることにより、前記送風量を減少させる
請求項１～請求項７の何れか１項に記載の制御装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、制御装置、制御方法、制御プログラム、及びクリーンルームシステムに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、クリーンルームにおけるエネルギーの使用量を少なくするクリーンルームシステムが開示されている。
【０００３】
具体的には、特許文献１に開示されているクリーンルームシステムは、クリーンルームの室内の温度及びクリーンルームの室内の清浄度の両方を考慮して、どちらかの条件を満たすのに送風する必要がある場合等に限定して、クリーンルームシステムが送風を行うようにする。これにより、特許文献１のクリーンルームシステムによれば、常に送風を行う場合等と比較して、クリーンルームにおけるエネルギーの使用量を少なくできる。
【０００４】
また、特許文献１のクリーンルームシステムは、クリーンルームの室内の湿度及びクリーンルームの室内の清浄度の両方を考慮して、どちらかの条件を満たすのに送風する必要がある場合等に限定して、クリーンルームシステムが送風を行うようにする。これにより、特許文献１のクリーンルームシステムによれば、常に送風を行う場合等と比較して、クリーンルームにおけるエネルギーの使用量を少なくできる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２０－１６５５５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１のクリーンルームシステムは、クリーンルーム内の清浄度に応じて、クリーンルーム内へ送風を行うか否かを判定する。特許文献１では、クリーンルームの室内の粒子の密度（個／ｍ
３
）が清浄度として定義されており（例えば、段落［００４６］、段落［００７０］、及び図６）、クリーンルーム内の粒子の密度が高い清浄度ほど、クリーンルームへの送風量が多くなるような制御が実行される（例えば、図６）。
【０００７】
ここで、クリーンルーム内における粒子の密度が小さいほど清浄度は高いと定義する。清浄度に関するこの定義に基づけば、特許文献１のクリーンルームシステムは、クリーンルーム内の清浄度が高いほど送風量が少なくなるような制御を実行する（例えば、図６（Ｂ））。また、特許文献１のクリーンルームシステムは、クリーンルーム内の温度が低いほど送風量が少なくなるような制御を実行する（例えば、図６（Ａ））。
【０００８】
このような前提に基づいて、例えば、クリーンルーム内の清浄度が高い場合であって、かつクリーンルーム内の温度がある程度高い場合を考える。このような場合、特許文献１のクリーンルームシステムは、クリーンルーム内の清浄度が高いため、送風を行わない、又は、送風量を減少させるような制御を実行することが想定される。
【０００９】
しかし、クリーンルーム内の温度がある程度高い場合には、空調機によってクリーンルームへ送風される空気が冷却されることが想定される。このような場合には、送風対象の空気が冷却されることによって除湿され、その空気の湿度が低下してしまう。具体的には、クリーンルームへ送風される空気が冷却部において冷却される際に、冷却部において結露が発生する。これにより、送風対象の空気内の水分が除かれてしまい、送風対象の空気の湿度が低下してしまう。このような空気がクリーンルーム内へ送風されると、クリーンルーム内の湿度を低下させてしまう。
【００１０】
このため、上記特許文献１のクリーンシステムは、クリーンルームの室内の清浄度に基づいてクリーンルームの室内への送風制御を実行する際に、クリーンルーム内の湿度を低下させてしまう場合がある、という課題がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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