特許ウォッチ

公開番号2025102843
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-08
出願番号2025049474,2021547467
出願日2025-03-25,2020-02-14
発明の名称ガラス基板とコーターとの間の距離を決定するための装置およびプロセス
出願人ピルキントングループリミテッド
代理人個人,個人
主分類C23C 16/52 20060101AFI20250701BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】ガラス基板とコーターとの間の距離を決定するための装置の組み合わせおよびプロセスを提供する。
【解決手段】化学蒸着(CVD)コーターおよび少なくとも1つの静電容量式近接センサーの組み合わせであって、CVDコーターと、前記CVDコーターに取り付けられた少なくとも1つの静電容量式近接センサーと、を含み、前記少なくとも1つの静電容量式近接センサーが、ガラス基板と前記CVDコーターとの間の距離を決定するように構成されている、組み合わせとする。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
化学蒸着（ＣＶＤ）コーターおよび少なくとも１つの静電容量式近接センサーの組み合
わせであって、
ＣＶＤコーターと、
前記ＣＶＤコーターに取り付けられた少なくとも１つの静電容量式近接センサーと、を
含み、
前記少なくとも１つの静電容量式近接センサーが、ガラス基板と前記ＣＶＤコーターと
の間の距離を決定するように構成されている、組み合わせ。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記静電容量式近接センサーが、センサーユニット、制御ユニットおよびケーブルを含
み、前記センサーユニットおよび前記制御ユニットが、使用時に前記ケーブルによって互
いに電気的に結合されるように構成されている、請求項１に記載の組み合わせ。
【請求項３】
前記センサーユニットおよび前記ケーブルが、少なくとも６５０℃、より好ましくは少
なくとも７００℃、さらにより好ましくは少なくとも７５０℃、最も好ましくは少なくと
も８００℃の温度で動作可能である、請求項２に記載の組み合わせ。
【請求項４】
前記ＣＶＤコーターが、前記ガラス基板の表面と前記ＣＶＤコーターの表面との間の距
離を変化させるため移動するように構成されている、請求項１～３のいずれかに記載の組
み合わせ。
【請求項５】
前記組み合わせが、前記ＣＶＤコーターに取り付けられた２つ以上の静電容量式近接セ
ンサーを含む、請求項１～４のいずれかに記載の組み合わせ。
【請求項６】
前記センサーユニットが、ハウジングによって少なくとも部分的に囲まれており、前記
ＣＶＤコーターの一部が、前記ハウジングの一部を構成し、前記ハウジングの一部を構成
する前記コーターの前記一部の温度が、冷却手段を用いて調整され、かつ、前記センサー
ユニットの温度が、前記ハウジングの一部を構成する前記コーターの前記一部によって調
整される、請求項２～５のいずれかに記載の組み合わせ。
【請求項７】
前記センサーユニットの少なくとも一部が、防汚コーティングおよび／または防汚シー
トによって周囲の大気から保護されている、請求項２～６のいずれかに記載の組み合わせ
。
【請求項８】
さもなければ周囲の大気に露出されるであろう前記センサーユニットのいずれの部分も
、防汚コーティングおよび／または防汚シートによって周囲の大気から保護されている、
請求項７に記載の組み合わせ。
【請求項９】
前記防汚コーティングが、非電導性材料、好ましくは、重炭酸ナトリウムおよび重炭酸
カルシウムなどの重炭酸塩、硫酸ナトリウムおよび硫酸カルシウムなどの硫酸塩、窒化ホ
ウ素および窒化アルミニウムなどの窒化物、低沸点水素処理ナフタ、ポリシラザンなどの
シラザン、アルカリケイ酸塩、シリカ、および／または有機シリカの１つ以上を含む、請
求項７または８に記載の組み合わせ。
【請求項１０】
前記防汚コーティングおよび／または防汚シートが、除去可能である、請求項７～９の
いずれかに記載の組み合わせ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板とコーターとの間の距離を決定する(determine)ための装置およ
びプロセスに関する。より具体的には、本発明は、化学蒸着（ＣＶＤ）によるガラス基板
のコーティング、特にコーティングが形成されるガラス基板の位置に対するコーターの位
置のセンシングに関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
コーティングの再現性を確保するためには、コーターの高さを設定する迅速で繰り返し
可能な方法を提供することが望ましい。さらに、フロートガラス製造プロセスにおけるガ
ラスリボンなどのガラス基板にコーターが落下して、基板の破損およびコーターの損傷を
引き起こすのを防ぐアプローチが有利であろう。そのようなアプローチは、ガラス基板へ
のコーターの近接をオペレーターに警告する警告信号を、有益に提供することもできるだ
ろう。
【０００３】
ガラスリボンとコーターとの間の間隔を決定するための既知のアプローチは、米国特許
第５２９８０７３号に記載されており、これは、差圧の使用に関する。位置センサーが、
選択した位置でコーターに取り付けられる。該センサーは、ガラス表面に対して該表面に
近接した位置から適合性ガスが放出される環状出口、およびガラス表面に対するガスの衝
突から生じる背圧を測定するための中央開口部を包含する。背圧は、ガラス表面からの環
状出口の距離の関数であり、環状通路のサイズとそれを通るガス流量とにより、コーター
が動作することが意図される距離の範囲について、滑らかで明確に定義された圧力対距離
曲線が生成されるようになる。観察された圧力と既知の距離での圧力との比較により、セ
ンサーからガラスまで、すなわちコーターからガラスまでの距離が示される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、差圧アプローチに関連する欠点がある。例えば、この手法では、パイプ
の複雑な構成が必要であり、また、ガス圧の変化に対する較正および感度に関する問題が
発生する可能性がある。
【０００５】
したがって、前述の問題を少なくとも軽減し、好ましくは解決するアプローチを提供す
ることが、有利であろう。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様によれば、化学蒸着（ＣＶＤ）コーターおよび少なくとも１つの静
電容量式近接センサーの組み合わせであって、
ＣＶＤコーターと、
前記ＣＶＤコーターに取り付けられた少なくとも１つの静電容量式近接センサーと、を
含み、
前記少なくとも１つの静電容量式近接センサーが、ガラス基板と前記ＣＶＤコーターと
の間の距離を決定するように構成されている、組み合わせが提供される。
【発明の効果】
【０００７】
驚くべきことに、第１の態様の組み合わせが、ガラス基板とＣＶＤコーターとの間の距
離を決定する便利で正確な方法を提供することが見出された。この組み合わせは、既知の
アプローチの特徴的な欠点なしに、コーター高さのリアルタイムのモニタリングを可能に
する。
【０００８】
本発明の以下の議論において、反対を述べられない限りにおいて、パラメータの許容範
囲の上限または下限の代替値の開示は、上記の値の一方が他方よりも非常に好ましいとい
う示唆と相まって、前記代替値のより好ましいものとより好ましくないものとの間にある
前記パラメータの各中間値が、それ自体、前記のより好ましくない値に対して、および前
記のより好ましくない値と前記中間値との間にある各値に対しても、より好ましい、とい
う暗黙の記述として解釈されるべきである。
【０００９】
本明細書全体を通して、「含む(comprising)」または「含む(comprises)」という用語
は、特定した成分を包含することを意味するが、他の成分の存在を排除するものではない
。「本質的に～からなる(consisting essentially of)」または「本質的に～からなる(co
nsists essentially of)」という用語は、特定の成分を包含するが、不純物として存在す
る材料、上記成分を提供するために用いられるプロセスの結果として存在する不可避材料
、および本発明の技術的効果を達成すること以外の目的で追加された成分以外の他の成分
を排除することを意味する。典型的には、組成物に言及する場合、本質的にある一組の成
分からなる組成物は、５重量％未満、典型的には３重量％未満、より典型的には１重量％
未満の特定しない成分を含む。
【００１０】
「からなるconsisting of)」または「からなる(consisting of)」という用語は、特定
した成分を包含し、他の成分を除外することを意味する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許