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公開番号2025090697
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-17
出願番号2025037238,2022004686
出願日2025-03-10,2017-04-04
発明の名称液体送達システム
出願人アイコール・システムズ・インク
代理人弁理士法人山崎国際特許事務所,個人,個人,個人,個人
主分類F17D 1/08 20060101AFI20250610BHJP(ガスまたは液体の貯蔵または分配)
要約【課題】液体化学物質の分配を可能にするモジュール式システムを提供する。
【解決手段】液体化学物質の分配を可能にするモジュール式システム200であって、基板ブロックを備え、基板ブロックが、ブロックの第1の主表面に形成された少なくとも2つのポートと、これらの2つのポート間に延びる流体通路とを含むモジュール式システム。流体の流れが完全に隈なく流路全体を流れ、前記流路内に滞留する停滞容積または領域が存在しないように、この流体経路は、流体経路の容積全体が所望の流体の流れと完全に一致した、継目のない滑らかな経路であることが好ましい。基板ブロックは、フッ素ポリマーから、新規の組成および製造プロセスを使用して形成することができる。交換可能なインサート型シールとモジュール式構成要素内に形成された突縁と溝状のシールとの組合せを使用する密封アセンブリが提供される。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１の表面に形成された第１の基板ポートおよび第２の基板ポートと、第１の方向に延びて前記第１の基板ポートと前記第２の基板ポートを流体接続する第１の液体通路とを含む基板ブロックと、
前記第１の基板ポートに流体接続された第１の能動構成要素と、前記第１の能動構成要素とは別の第２の能動構成要素であって、前記第２の基板ポートに流体接続された第２の能動構成要素と
を備え、
前記第１の液体通路が、液体が滞留する停滞容積または領域を持たない
液体送達システム。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
前記第１の液体通路が、液体の流れが前記液体通路の容積全体を隈なく流れるように形成された、請求項１に記載の液体送達システム。
【請求項３】
前記第１の液体通路の容積全体が流体の流れと一致する、請求項１に記載の液体送達システム。
【請求項４】
前記基板ブロックがポリマーまたはフッ素ポリマーを含む、請求項１に記載の液体送達システム。
【請求項５】
前記基板ブロックが、ポリプロピレン、ＰＴＦＥ、改質ＰＴＦＥまたはＰＦＡを含む、請求項１に記載の液体送達システム。
【請求項６】
前記基板ブロックが、前記第１の表面に形成された第３および第４の基板ポート、および前記第３の基板ポートを前記第４の基板ポートに流体接続する第２の液体通路を備える、請求項１に記載の液体送達システム。
【請求項７】
第１の基板層の上面に滑らかな溝を機械加工し、第２の基板層の底面に、整合した滑らかな溝を機械加工し、整合したこれらの溝が液体通路を形成するように前記第１の基板層上に前記第２の基板層を配置し、前記２つの層を接着して１つにすることにより、前記基板ブロックが形成された、請求項１に記載の液体送達システム。
【請求項８】
第１のポートおよび第２のポートを、形成された前記溝の両端に前記第２の層を貫通して穿設することをさらに含む、請求項７に記載の液体送達システム。
【請求項９】
前記２つの基板層を接着することが、熱および圧力を加えることにより２つのポリマーまたはフッ素ポリマー層を溶融接着して１つにすることを含む、請求項１に記載の液体送達システム。
【請求項１０】
前記基板ブロックが、ポリマーまたはフッ素ポリマーを成形することにより形成された、請求項１に記載の液体送達システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本出願は、その全体が参照により本明細書に組み込まれている、２０１６年４月４日に出願された「ＬＩＱＵＩＤＤＥＬＩＶＥＲＹＳＹＳＴＥＭ」という名称のＣｈｒｉｓＭｅｌｃｅｒ他による米国仮特許出願第６２／３１８，２０２号の優先権を主張するものである。
続きを表示（約 1,600 文字）【０００２】
本発明は、液体化学物質送達システムに関し、より詳細には、専有面積が大幅に低減されたモジュール式の無管液体化学物質送達システムに関する。
【背景技術】
【０００３】
液体送達および分配システムは、半導体デバイスの製造、医薬品の製造などを含むさまざまな用途で使用されている。例えば、半導体ウェーハは、その製造プロセス中に、エッチング、洗浄、研磨、乾燥および材料付着など、さまざまな液体処理プロセスにかけられる。半導体基板処理では一般に、要求に応じて精確な量の液体化学物質が送達されること、気泡を含まないこと、基板の使用可能部分上の厚さが均一であること、ならびにコストおよび環境上の懸念から化学廃棄物を最小限に抑えることが要求される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
米国仮特許出願第６２／３１８，２０２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
流量制御器、圧力変換器、流量測定センサ、圧力調節器、弁などのさまざまなタイプの能動構成要素を使用するプロセスに供給源から液体化学物質を送達するために、さまざまなタイプの液体送達システムが使用されている。これらの用途の多くで、液体化学物質分配システムのサイズはコストに劇的な影響を及ぼしうる。例えば、半導体デバイスの製造において、液体分配システムまたは液体分配システムのある部分は通常、クリーン・ルームなどの極めてクリーンな環境の中に収容される。さらに、半導体の製造において使用される液体の多くは有毒であるかもしくは反応性が高いか、またはその両方であるため、このような分配システムはしばしば、特別な封じ込めおよび排気機器を必要とする。このようなシステムについては、流体分配システムのサイズの低減が有利である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の実施形態によれば、液体化学物質の分配を可能にするモジュール式システムが提供される。このシステムは、基板ブロックを備え、この基板ブロックは、ブロックの第１の主表面に形成された少なくとも２つのポートと、それらの２つのポート間に延びる流体通路とを含む。流体の流れが流路全体を隈なく完全に広がって流れ、前記流体通路内で滞留する停滞容積または領域が存在しないように、この流体経路は、流体経路の容積全体が所望の流体の流れに完全に一致した、継目のない滑らかな経路であることが好ましい。
【０００７】
本発明の別の実施形態によれば、新規の組成および製造プロセスを使用して、フッ素ポリマーから基板ブロックを形成することができる。
【０００８】
本発明の別の実施形態によれば、交換可能なインサート型シールとモジュール式構成要素内に形成された突縁と溝状のシールとの組合せを使用した密封アセンブリが提供される。
【０００９】
以上では、以下の本発明の詳細な説明をより十分に理解できるように、本発明の特徴および技術上の利点をかなりおおまかに概説した。以下では、本発明の追加の特徴および追加の利点を説明する。開示される着想および特定の実施形態を、本発明の同じ目的を達成するために他の構造を変更または設計するためのベースとして容易に利用することができることを当業者は理解すべきである。さらに、このような等価の構造は、添付の特許請求の範囲に記載された本発明の趣旨および範囲を逸脱しないことを当業者は理解すべきである。
【００１０】
次に、本発明および本発明の利点のより完全な理解のため、添付図面に関して書かれた以下の説明を参照する。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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