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公開番号2025088820
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-12
出願番号2023203551
出願日2023-12-01
発明の名称真空熱処理装置の排気構造
出願人株式会社不二越
代理人個人,個人
主分類F16K 27/02 20060101AFI20250605BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】圧力調整弁に関して、ガスの液化によって弁体が弁座に固着することを抑制可能な真空熱処理装置の排気構造を提供する。
【解決手段】排気構造14の一部を構成する圧力調整弁22は、ボディ40の一次室R1及と二次室R1とを上下方向に連通させる流通孔54が設けられるとともに上下方向に略直交する方向に延びる着座面52を有する弁座50と、一次室R1内に設けられ、かつ上下方向の移動を通じて着座面52に対して離座又は着座することにより流通孔54を開閉する弁体60と、下方又は斜め下方に向かって延び、かつガスの流路の断面積が狭くなるように、二次室R2内に形成されている絞り部80と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
熱処理室内のガスを吸引して排気する真空ポンプと、
前記熱処理室内と前記真空ポンプとを接続する排気管に設けられ、かつ前記熱処理室内の圧力を調整する圧力調整弁と、
を備え、
前記圧力調整弁は、
内部空間における鉛直方向の上側に一次室が設けられ、かつ前記内部空間における前記一次室よりも前記鉛直方向の下側に二次室が設けられているボディと、
前記一次室と前記二次室とを上下方向に連通させる流通孔が設けられるとともに前記上下方向に略直交する方向に延びる着座面を有する弁座と、
前記一次室内に設けられ、かつ前記上下方向の移動を通じて前記着座面に対して離座又は着座することにより前記流通孔を開閉する弁体と、
下方又は斜め下方に向かって延び、かつ前記ガスの流路の断面積が狭くなるように、前記二次室内に形成されている絞り部と、
を備えることを特徴とする、真空熱処理装置の排気構造。
続きを表示（約 350 文字）【請求項２】
前記弁体は、前記流通孔に対向する平坦面を有する本体部と、前記平坦面から下方に突出する突出部と、を含んで構成され、
前記絞り部は、前記二次室の内壁と、前記突出部とに囲まれてなることを特徴とする請求項１に記載の、真空熱処理装置の排気構造。
【請求項３】
前記圧力調整弁は、前記二次室内に設けられ、前記ガスの液化により発生する粘着性物質を前記絞り部から分離して下方に案内するガイド部材をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の、真空熱処理装置の排気構造。
【請求項４】
前記ガイド部材は、中空の円錐台形状であり、上側から下側に向かうにつれて中心軸からの距離が短くなるテーパ状の曲面を有することを特徴とする請求項３に記載の、真空熱処理装置の排気構造。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱処理室内のガスを吸引して排気する真空熱処理装置の排気構造に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、被処理物の表面を減圧下で熱処理する真空熱処理装置が知られている。この熱処理に先立って、熱処理室内のガスを真空ポンプにより吸引することで、熱処理室内を減圧する「真空排気」が行われる。
【０００３】
特許文献１に、排気管路の大気開放側端部に圧力調整弁を設け、真空ポンプ下流側の排気管内の圧力を大気圧よりも高く保つ排気装置が開示されている。この排気装置では、蒸発油を捕集するトラップが排気管路内に設けられている。
【０００４】
特許文献２に、真空浸炭炉の下側が、垂直配管部、ガスクーラー、水平配管部、及びコントロールバルブを介して真空ポンプに接続される真空排気装置が開示されている。この真空排気装置では、煤又はタールの回収容器が、垂直配管部の垂下部に着脱可能に設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００９－０６３１９６号公報
特開２００５－２８１７７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図４は、従来例における圧力調整弁１が有する構造を模式的に示す図である。圧力調整弁１が有するボディ２の内部空間に、ガスの流通孔３が設けられている。弁体４は、流通孔３の上方に設けられており、上下方向に移動することで流通孔３を開閉するように構成される。図４の構造例では、ガスは、弁座５の上側にある一次室から、流通孔３を介して、弁座５の下側にある二次室に流通する。
【０００７】
ところで、図４に示す構造によれば、弁体４が開状態である場合、弁体４の下面と弁座５の着座面６とに囲まれて形成される流路の断面積が狭くなっており、流通孔３に到達した位置で流路の断面積が急激に拡がっている。そうすると、断熱膨張による凝集反応によってガスがミスト状になり、粘着性物質Ｍが発生しやすくなる。例えば、粘着性物質Ｍがボディ２の内壁７に付着した場合、この粘着性物質Ｍは、内壁７を伝って落下する。ところが、粘着性物質Ｍが弁座５の着座面６に付着した場合、この粘着性物質Ｍは、移動せずに着座面６上に留まってしまう。その結果、粘着性物質Ｍの介在によって弁体４が弁座５に固着し、圧力調整弁１が機能しなくなるという問題がある。
【０００８】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧力調整弁に関して、ガスの液化によって弁体が弁座に固着することを抑制可能な真空熱処理装置の排気構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明における真空熱処理装置の排気構造は、熱処理室内のガスを吸引して排気する真空ポンプと、前記熱処理室内と前記真空ポンプとを接続する排気管に設けられ、かつ前記熱処理室内の圧力を調整する圧力調整弁と、を備え、前記圧力調整弁は、内部空間における鉛直方向の上側に一次室が設けられ、かつ前記内部空間における前記一次室よりも前記鉛直方向の下側に二次室が設けられているボディと、前記一次室と前記二次室とを上下方向に連通させる流通孔が設けられるとともに前記上下方向に略直交する方向に延びる着座面を有する弁座と、前記一次室内に設けられ、かつ前記上下方向の移動を通じて前記着座面に対して離座又は着座することにより前記流通孔を開閉する弁体と、下方又は斜め下方に向かって延び、かつ前記ガスの流路の断面積が狭くなるように、前記二次室内に形成されている絞り部と、を備える。
【００１０】
また、前記弁体は、前記流通孔に対向する平坦面を有する本体部と、前記平坦面から下方に突出する突出部と、を含んで構成され、前記絞り部は、前記二次室の内壁と、前記突出部とに囲まれてなる。
（【００１１】以降は省略されています）

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