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公開番号2025083878
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-02
出願番号2023197527
出願日2023-11-21
発明の名称検査装置及び検査方法
出願人レーザーテック株式会社
代理人個人
主分類G01N 21/64 20060101AFI20250526BHJP(測定;試験)
要約【課題】試料に与えるダメージを低減させつつ高スループットで試料を観察することができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る検査装置1は、試料500を励起させる照明光L10を試料500の試料面510に平行な面内においてX軸方向に移動させるように光学素子113aを駆動させる駆動部KDと、試料500から生じたPL光PLを検出する検出部220と、照明光L10を調整する調整部130と、駆動部KD及び調整部130を制御する制御部300と、を備え、照明光L10が試料面510において移動するX軸方向に対応して、照明光L10が照明光L10の光路L11に直交する直交面610において移動する方向をα軸方向とした場合に、調整部130は、直交面610においてα軸方向に移動する照明光L10の移動経路620における移動端部620a及び620bに位置した照明光L10を調整する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
試料を励起させる照明光を前記試料の試料面に平行な面内において第１方向に移動させるように光学素子を駆動させる駆動部と、
前記照明光で照明された前記試料から生じたＰＬ光を検出する検出部と、
前記照明光を調整する調整部と、
前記駆動部を制御する制御部と、
を備え、
前記照明光が前記試料面において移動する前記第１方向に対応して、前記照明光が前記照明光の光路に直交する直交面において移動する方向を第２方向とした場合に、
前記調整部は、前記直交面において前記第２方向に移動する前記照明光の移動経路における移動端部に位置した前記照明光を調整する、
検査装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記調整部は、前記照明光の光路上において、前記試料面に共役な共役位置に配置された遮蔽部により、前記移動端部に位置した前記照明光の遮蔽、及び、前記移動端部に位置した前記照明光のエネルギーの低減の少なくともいずれかを行うことで、前記移動端部に位置した前記照明光の強度を調整する、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記調整部は、前記移動端部の位置に応じて、前記遮蔽部の位置を変動させる、
請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記遮蔽部は、前記照明光を前記第２方向における両側から挟むように配置され、
前記調整部は、前記遮蔽部の間の開口部を開閉するように前記遮蔽部を前記第２方向に移動させることによって、前記照明光が通る前記開口部の幅を変動させる、
請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記遮蔽部は、前記照明光を前記第２方向における両側から挟むような形状を有し、
前記遮蔽部の間の開口部は、前記第２方向に直交する第３方向の位置によって、前記第２方向の長さが変化し、
前記調整部は、前記遮蔽部を前記第３方向に移動させることにより、前記照明光が通る前記開口部の幅を変動させる、
請求項３に記載の検査装置。
【請求項６】
前記調整部は、前記制御部をして前記移動端部に位置した前記照明光が前記試料の端部よりも外側を照明するように前記駆動部に前記光学素子を駆動させることで、前記移動端部に位置した前記照明光を調整する、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項７】
前記移動経路に入射する前記照明光のエネルギーは、前記移動端部を含む前記移動経路に渡って略一定である、
請求項１～５のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記調整部は、前記移動端部に位置した前記照明光の出力を、移動端部以外の前記移動経路に位置した前記照明光の前記出力よりも小さくすることで、前記移動端部に位置した前記照明光の強度を調整する、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項９】
前記照明光は、
前記試料に含まれた材料のバンドギャップに対応する波長よりも長い前記波長を含み、
前記試料を多光子励起させる、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記照明光は、前記試料を２光子励起させるエネルギーに対応する波長を含む、
請求項９に記載の検査装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、検査装置及び検査方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、試料に対して励起光を照射してフォトルミネッセンス光（以下、ＰＬ光と呼ぶ。）を観察する装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００３－１９４７１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
試料の検査領域を広範囲にスキャンさせてＰＬ光を観察する際に、試料に与えるダメージを低減させつつ高スループットで観察することが求められている。
【０００５】
本開示は、このような問題点を鑑みてなされたものであり、試料に与えるダメージを低減させつつ高スループットで試料を観察することができる検査装置及び検査方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本実施形態の一態様に係る検査装置は、試料を励起させる照明光を前記試料の試料面に平行な面内において第１方向に移動させるように光学素子を駆動させる駆動部と、前記照明光で照明された前記試料から生じたＰＬ光を検出する検出部と、前記照明光を調整する調整部と、前記駆動部を制御する制御部と、を備え、前記照明光が前記試料面において移動する前記第１方向に対応して、前記照明光が前記照明光の光路に直交する直交面において移動する方向を第２方向とした場合に、前記調整部は、前記直交面において前記第２方向に移動する前記照明光の移動経路における移動端部に位置した前記照明光を調整する。
【０００７】
上記の検査装置では、前記照明光の光路上において、前記試料面に共役な共役位置に配置された遮蔽部により、前記移動端部に位置した前記照明光の遮蔽、及び、前記移動端部に位置した前記照明光のエネルギーの低減の少なくともいずれかを行うことで、前記移動端部に位置した前記照明光の強度を調整してもよい。
【０００８】
上記の検査装置では、前記調整部は、前記移動端部の位置に応じて、前記遮蔽部の位置を変動させてもよい。
【０００９】
上記の検査装置では、前記遮蔽部は、前記照明光を前記第２方向における両側から挟むように配置され、前記調整部は、前記遮蔽部の間の開口部を開閉するように前記遮蔽部を前記第２方向に移動させることによって、前記照明光が通る前記開口部の幅を変動させてもよい。
【００１０】
上記の検査装置では、前記遮蔽部は、前記照明光を前記第２方向における両側から挟むような形状を有し、前記遮蔽部の間の開口部は、前記第２方向に直交する第３方向の位置によって、前記第２方向の長さが変化し、前記調整部は、前記遮蔽部を前記第３方向に移動させることにより、前記照明光が通る前記開口部の幅を変動させてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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