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公開番号2025072100
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-09
出願番号2023182626
出願日2023-10-24
発明の名称光出力装置、光出力方法及び加工体の製造方法
出願人国立大学法人東京大学
代理人弁理士法人IPX
主分類H01S 3/23 20060101AFI20250430BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】光出力装置、光出力方法及び加工体の製造方法に関し、迅速に接合処理を行うことが可能な上、2つの被接合部材の間に間隙が存在しても、適正に接合を行う。
【解決手段】光出力装置1は、合成部31と、増幅部32とを備える。合成部31は、第1のレーザ装置から発振されるパルスレーザである第1のレーザL1と、第2のレーザ装置から発振される第2のレーザL2とを合成することにより、第1のレーザの成分と第2のレーザの成分とを含む合成光を出力するように構成される。増幅部32は、合成光を伝搬させることにより、合成光に含まれる第1のレーザの成分と第2のレーザの成分とをともに増幅するように構成される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
光出力装置であって、
合成部と、増幅部とを備え、
前記合成部は、第１のレーザ装置から発振されるパルスレーザである第１のレーザと、第２のレーザ装置から発振される第２のレーザとを合成することにより、前記第１のレーザの成分と前記第２のレーザの成分とを含む合成光を出力するように構成され、
前記増幅部は、前記合成光を伝搬させることにより、前記合成光に含まれる前記第１のレーザの成分と前記第２のレーザの成分とをともに増幅するように構成される、光出力装置。
続きを表示（約 1,700 文字）【請求項２】
請求項１に記載の光出力装置において、
さらに、前記第１のレーザ装置と、検出部と、生成部と、前記第２のレーザ装置とを備え、
前記第１のレーザ装置は、前記第１のレーザを発振させるように構成され、前記第１のレーザは、第１のパルス幅を有するパルスレーザであり、
前記検出部は、前記第１のレーザを検出するように構成され、
前記生成部は、前記第１のレーザの検出タイミングに応じて所定の駆動信号を生成するように構成され、
前記第２のレーザ装置は、前記駆動信号に基づき、前記第１のレーザの発振タイミングと同期されたタイミングで前記第２のレーザを発振させるように構成され、前記第２のレーザは、第２のパルス幅を有するパルスレーザである、光出力装置。
【請求項３】
請求項２に記載の光出力装置において、
前記検出部は、前記増幅部による増幅前の前記第１のレーザを検出するように構成される、光出力装置。
【請求項４】
請求項２に記載の光出力装置において、
さらにシャッター部を備え、
前記シャッター部は、前記合成部による合成前の前記第１のレーザのうちの少なくとも一部を吸収、回折、又は反射することにより、前記合成部に伝搬される前記第１のレーザのパルスの数を減らすように構成され、
前記検出部は、発振後、前記シャッター部へと伝搬される前記第１のレーザを検出するように構成される、光出力装置。
【請求項５】
請求項２に記載の光出力装置において、
さらに照射部を備え、
前記照射部は、前記合成光を照射体に照射するように構成され、
前記第１のレーザは、前記照射体によって吸収されるように構成され、これにより前記照射体による前記第１のレーザの吸収から励起期間の経過まで、前記照射体による前記第２のレーザの吸収態様を変化させ、
前記生成部は、前記合成光のうち前記第１のレーザのパルスの成分を含む部分が出力されたタイミング以後、前記励起期間の経過前に、前記合成光に含まれる前記第２のレーザのパルスの成分が出力されるように、前記駆動信号を生成するように構成される、光出力装置。
【請求項６】
請求項５に記載の光出力装置において、
前記生成部は、前記合成光のうち前記第１のレーザのパルスの成分を含む部分が出力されたタイミング以後、前記励起期間の経過前に、前記合成光に含まれる前記第２のレーザのパルスの成分が出力されるように前記駆動信号を生成し、これにより前記励起期間の経過まで前記第２のレーザを前記照射体に吸収させることにより、前記照射体に対するレーザ加工を行うように構成される、光出力装置。
【請求項７】
請求項１に記載の光出力装置において、
前記増幅部は、前記合成光が伝搬するように構成される、少なくとも１つの光ファイバアンプを含む、光出力装置。
【請求項８】
請求項７に記載の光出力装置において、
前記第１のレーザの波長と前記２のレーザの波長とは実質的に同一である、光出力装置。
【請求項９】
請求項１に記載の光出力装置において、
単位時間あたりに出力される前記第１のレーザのパルスの数は、前記単位時間あたりに出力される前記第２のレーザのパルスの数に比べて多い、光出力装置。
【請求項１０】
光出力方法であって、
合成ステップと、増幅ステップとを含み、
前記合成ステップでは、第１のレーザ装置から発振されるパルスレーザである第１のレーザと、第２のレーザ装置から発振される第２のレーザとを合成することにより、前記第１のレーザの成分と前記第２のレーザの成分とを含む合成光を出力し、
前記増幅ステップでは、前記合成光を少なくとも１つの光ファイバアンプ中で伝搬させることにより、前記合成光に含まれる前記第１のレーザの成分と前記第２のレーザの成分とをともに増幅する、光出力方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、光出力装置、光出力方法及び加工体の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、迅速に接合処理を行うことが可能な上、２つの被接合部材の間に間隙が存在しても、適正に接合を行うことが可能な接合方法が開示されている。
【０００３】
特許文献１に記載の接合方法は、第１の被接合部材と第２の被接合部材とを配置して、組立体を構成する工程と、前記組立体に第１及び第２のレーザを照射する工程であって、第１のレーザは、第１の被接合部材又は第２の被接合部材の表面に、加工起点となる光吸収性の領域を形成し、第２のレーザは、前記加工起点となる位置を含むように照射され、これにより、光吸収性の領域から溶融物が生成される工程と、第２のレーザの照射を継続する工程であって、前記溶融物の内部にガスが発生し、前記ガスの圧力により、前記溶融物を介して、第１の被接合部材と第２の被接合部材が接合される、工程と、を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－１３３３９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記方法には、さらに改良の余地がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様によれば、光出力装置が提供される。この光出力装置は、合成部と、増幅部とを備える。合成部は、第１のレーザ装置から発振されるパルスレーザである第１のレーザと、第２のレーザ装置から発振される第２のレーザとを合成することにより、第１のレーザの成分と第２のレーザの成分とを含む合成光を出力するように構成される。増幅部は、合成光を伝搬させることにより、合成光に含まれる第１のレーザの成分と第２のレーザの成分とをともに増幅するように構成される。
【０００７】
このような構成によれば、よりよい技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
光出力装置１の概要の一例を示す図である。
図１に示す光出力装置１の具体的構成の一例を示す図である。
合成光Ｌ３の波形と励起電子数との関係の一例を示す図である。
第１のレーザと第２のレーザの同期タイミングと励起電子数との関係の別例を示す図である。
第１のレーザと第２のレーザの同期タイミングと励起電子数との関係の別例を示す図である。
光出力装置１に係る光出力方法等の流れの一例を示すアクティビティ図である。
光出力装置１の変形例を示す図である。
光出力装置１の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を用いて本発明の実施形態について説明する。以下に示す実施形態中で示した各種特徴事項は、互いに組み合わせ可能である。
【００１０】
ところで、本実施形態に登場するソフトウェアを実現するためのプログラムは、コンピュータが読み取り可能な非一時的な記録媒体（Ｎｏｎ－ＴｒａｎｓｉｔｏｒｙＣｏｍｐｕｔｅｒ－ＲｅａｄａｂｌｅＭｅｄｉｕｍ）として提供されてもよいし、外部のサーバからダウンロード可能に提供されてもよいし、外部のコンピュータで当該プログラムを起動させてクライアント端末でその機能を実現（いわゆるクラウドコンピューティング）するように提供されてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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