特許ウォッチ

公開番号2025042147
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-27
出願番号2023148990
出願日2023-09-14
発明の名称搬送トレイおよびワーク作業装置
出願人国立大学法人東京大学,株式会社椿本チエイン
代理人個人,個人
主分類H01L 21/673 20060101AFI20250319BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】簡単な構成で、周囲に干渉物の多い箇所にもワークを搬送可能で、作業者の負担の増加や作業効率の低下がなく、作業位置でワークの向きや傾きを微調整可能な搬送トレイを提供すること。
【解決手段】磁気によって搬送路M上を浮上して移動可能な本体部110と、本体部110に接続された支持アーム112と、支持アーム112に設けられたワーク保持部113とを有する搬送トレイ100であって、支持アーム112は、本体部110の側方に延びてワーク保持部113でワークWの側方を1対で支持するように構成され、ワーク保持部113は、支持アーム112のうち、本体部110に対して上下方向に干渉しない位置に設けられていること。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
磁気によって搬送路上を浮上して移動可能な本体部と、前記本体部に接続された支持アームと、前記支持アームに設けられたワーク保持部とを有する搬送トレイであって、
前記支持アームは、前記本体部の側方に延びて前記ワーク保持部でワークの側方を１対で支持するように構成され、
前記ワーク保持部は、前記支持アームのうち、前記本体部に対して上下方向に干渉しない位置に設けられていることを特徴とする搬送トレイ。
続きを表示（約 930 文字）【請求項２】
前記ワーク保持部には、ワークを上下方向に挟持可能な保持ツメが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の搬送トレイ。
【請求項３】
前記保持ツメは、ワークを上下方向に挟持する際にワークの上部に接触する上部押え部およびワークの下部に接触する下部押え部と、前記上部押え部と前記下部押え部とを接続する接続片とを有し、
前記接続片は、前記ワーク保持部と回転軸を介して傾動可能に接続されていることを特徴とする請求項２に記載の搬送トレイ。
【請求項４】
前記支持アームは、１対の第１支持アームと、１対の第２支持アームとを少なくとも有し、
前記第２支持アームには、前記第１支持アームに設けられた第１ワーク保持部と別にワークを保持可能な第２ワーク保持部を有することを特徴とする請求項１に記載の搬送トレイ。
【請求項５】
前記第２支持アームは、前記本体部を挟んで前記第１支持アームと反対側に延びるように設けられ、
前記第２ワーク保持部は、前記本体部を挟んで前記第１ワーク保持部と反対側の位置に設けられていることを特徴とする請求項４に記載の搬送トレイ。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の搬送トレイを搬送可能な磁気式搬送路と、前記搬送トレイにワークを搬入出するワーク搬入出ユニットと、前記搬送トレイに搭載したワークに対して作業を実施する作業ユニットと、前記磁気式搬送路を制御する制御ユニットとを有するワーク作業装置であって、
前記ワーク搬入出機構は、前記磁気式搬送路上の搬入出位置に配置された前記搬送トレイにワークを搬入出可能に構成され、
前記作業ユニットは、前記磁気式搬送路上の作業位置に配置された前記搬送トレイに保持されたワークに対して作業を実施可能に構成されていることを特徴とするワーク作業装置。
【請求項７】
前記作業ユニットは、前記磁気式搬送路上の作業位置に配置された前記搬送トレイに保持されたワークのうち、前記磁気式搬送路外に位置するワークに対して作業することを特徴とする請求項６に記載のワーク作業装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気によって搬送路上を浮上して移動可能な搬送トレイに関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、磁気によって搬送路上を浮上して移動可能な搬送トレイは、様々なものが提案されており、例えば特許文献１に記載の基板を処理するシステムの搬送トレイ（搬送モジュール）が公知である。
【０００３】
この特許文献１で公知の搬送トレイ（搬送モジュール２０、３０、６０）は、作業空間（真空搬送室１２０）内で第１の磁石が設けられた磁気搬送路（床面部１０）上を、磁気浮上によって浮いた状態で移動可能であり、作業空間（真空搬送室１２０）内の所定の位置（載置部４）に搬送トレイ（搬送モジュール２０、３０、６０）を位置させ、ロボットアーム（ウエハ搬送アーム５）によって搬送トレイ（搬送モジュール２０、３０、６０）上のワーク（ウエハＷ）をウエハ処理室１１０へ搬送できるものである。
【０００４】
また、例えば、特許文献２に記載の基板検査装置１では、ワーク（ウエハＷ）を搬送するためにロボットアーム（搬送ロボット１２）を使用しているものが公知である。
この特許文献２で公知の基板検査装置１は、ロボットアーム（搬送ロボット１２）でカセット１３から取り出したワーク（ウエハＷ）をマクロ検査およびミクロ検査を行うための装置であり、マクロ検査では目視で検査し、ミクロ検査では顕微鏡５によりワーク（ウエハＷ）の表面を部分拡大して検査するものである。
顕微鏡５は顕微鏡５の観察光軸に直交するＸ軸Ｙ軸の２軸方向に移動可能であり、ミクロ検査を行う場合、顕微鏡５の観察位置に到達させることでロボットアーム（搬送ロボット１２）に保持されたワーク（ウエハＷ）の表面を検査可能にするものである。
【０００５】
ロボットアーム（搬送ロボット１２）は検査位置までワーク（ウエハＷ）を保持して移動可能な構成であればよいため、例えば、特許文献１で公知の磁気浮上で移動可能な搬送トレイ（搬送モジュール２０、３０、６０）を、特許文献２に記載されているような基板検査装置１のロボットアーム（搬送ロボット１２）の代わりに使用することもできる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０２２－１１３５４８号公報
特開２００９－２１０４１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、特許文献１で公知の搬送トレイおよび特許文献２で公知の基板検査装置には、未だ改善の余地があった。
【０００８】
すなわち、特許文献２で公知の基板検査装置は、顕微鏡がワークの表面に照射された照射光を反射光として受光することでワーク表面をミクロ検査可能とするものだが、例えば、プレパラートやシャーレ等のワーク内の細胞等の検体に上方または下方から照射光を照射し、ワーク内の検体を透過した透過光を受光して検体を観察する方式の透過型顕微鏡では、特許文献１で公知の磁気浮上する搬送トレイ上に乗せたままのワークを観察位置まで搬送できない虞があった。
また、ロボットアームでワークの周囲を保持して作業位置から観察位置まで差し入れることも考えられるが、特に、透過型顕微鏡の一種である倒立型顕微鏡では、観察位置でワーク内の検体をマニプレータやシリンジ等で操作することも多く、観察位置の周囲にマニプレータやシリンジ等の機材が固定的に配置された場合、ロボットアームが機材に干渉してワークを観察位置に進入困難になる虞や、機材を避けながらワークを観察位置に進入できたとしても、ロボットアームによる作業位置からのワークの向きや傾きの微調整が困難になる虞があった。
また、観察位置の周囲の機材を移動可能に構成した場合でも、ワークを観察位置に進入させる度に機材を移動させる手間がかかり、作業者の負担が増加する虞や、作業効率が低下してしまう虞があった。
【０００９】
本発明は、これらの問題点を解決するものであり、簡単な構成で、透過型顕微鏡の観察位置のような周囲に干渉物の多い箇所にもワークを搬送可能で、作業者の負担の増加や作業効率の低下がなく、作業位置でワークの向きや傾きを微調整可能な搬送トレイを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の搬送トレイは、磁気によって搬送路上を浮上して移動可能な本体部と、前記本体部に接続された支持アームと、前記支持アームに設けられたワーク保持部とを有する搬送トレイであって、前記支持アームは、前記本体部の側方に延びて前記ワーク保持部でワークの側方を１対で支持するように構成され、前記ワーク保持部は、前記支持アームのうち、前記本体部に対して上下方向に干渉しない位置に設けられていることにより、前記課題を解決するものである。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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