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公開番号2025070502
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-02
出願番号2023180864
出願日2023-10-20
発明の名称電気光学装置、及び電子機器
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G02F 1/1368 20060101AFI20250424BHJP(光学)
要約【課題】光学的特性を向上させることが可能な、電気光学装置、及び電子機器を提供する。
【解決手段】トランジスターと、トランジスターに対応して設けられた画素電極と、トランジスターと画素電極との層の間に設けられたレンズ層34と、レンズ層34を貫通して設けられ、トランジスターと画素電極とを電気的に接続するコンタクトプラグ31と、コンタクトプラグ31と画素電極とを電気的に接続する第1中継層20と、を備え、第1中継層20は、平面視においてコンタクトプラグ31と同一形状である。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
トランジスターと、
前記トランジスターに対応して設けられた画素電極と、
前記トランジスターと前記画素電極との層の間に設けられたレンズ層と、
前記レンズ層を貫通して設けられ、前記トランジスターと前記画素電極とを電気的に接続する第１接続部材と、
前記第１接続部材と前記画素電極とを電気的に接続する第１中継層と、
を備え、
前記第１中継層は、平面視において前記第１接続部材と同一形状である、電気光学装置。
続きを表示（約 780 文字）【請求項２】
請求項１に記載の電気光学装置であって、
前記画素電極と前記第１中継層との層の間に設けられた第１透光層と、
前記第１透光層を貫通して設けられ、前記画素電極と前記第１中継層とを電気的に接続する第２接続部材と、
を備え、
前記第２接続部材は、平面視において前記第１中継層及び前記第１接続部材と重なって配置されている、電気光学装置。
【請求項３】
請求項１に記載の電気光学装置であって、
前記第１中継層と前記レンズ層との層の間に第２透光層を備え、
前記第１接続部材は、前記第２透光層を貫通して設けられている、電気光学装置。
【請求項４】
請求項３に記載の電気光学装置であって、
前記レンズ層及び前記第２透光層は、前記第１接続部材に対応して設けられたコンタクトホールを有し、
前記コンタクトホールの側面と前記第１接続部材との間には、絶縁部材が設けられている、電気光学装置。
【請求項５】
請求項１に記載の電気光学装置であって、
前記第１接続部材は、前記画素電極側から前記トランジスター側に向けてテーパー形状を有する第１部分と、前記第１部分よりも前記画素電極側に平面視において前記第１中継層と同一形状の第２部分と、を有する、電気光学装置。
【請求項６】
請求項１に記載の電気光学装置であって、
前記第１接続部材の前記第１中継層側とは反対側に第２中継層を備え、
平面視において、前記第２中継層は、前記第１中継層の外形形状と同一形状、又は、前記第１中継層よりも内側に設けられている、電気光学装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の電気光学装置を備える、電子機器。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置、及び電子機器に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、コンタクトホールの中に埋め込む接続電極の径を小さくし、これに伴い画素電極の面積を小さくすることにより、高精細化が可能な電気光学装置の構成が開示されている。画素電極は、接続電極を介して中継層と電気的に接続されている。接続電極は、コンタクトホールの側壁にシュリンク化膜として機能するＡＬＤ（原子堆積）膜を成膜してコンタクトホールの径を小さくすることにより形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１８４００５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の構成では、コンタクトホールの中にＡＬＤ膜を成膜した後、中継層の上のＡＬＤ膜を除去するためにエッチングした際に、コンタクトホールの口元、即ち、画素電極側のコンタクトホールの縁が除去される場合があり、広がった縁の分だけ平面視での接続電極の径が大きくなり、開口率が低下するという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
電気光学装置は、トランジスターと、前記トランジスターに対応して設けられた画素電極と、前記トランジスターと前記画素電極との層の間に設けられたレンズ層と、前記レンズ層を貫通して設けられ、前記トランジスターと前記画素電極とを電気的に接続する第１接続部材と、前記第１接続部材と前記画素電極とを電気的に接続する第１中継層と、を備え、前記第１中継層は、平面視において前記第１接続部材と同一形状である。
【０００６】
電子機器は、上記に記載の電気光学装置を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
電気光学装置としての液晶装置の構成を示す平面図。
図１に示す液晶装置のＡ－Ａ線に沿う断面図。
素子基板の電気的な構成を示す等価回路図。
素子基板の表示領域の画素の断面構造を示す断面図。
素子基板の表示領域の一部の構成を示す平面図。
図５に示す素子基板のＢ－Ｂ線に沿う断面図。
素子基板の表示領域の一部の構成を示す平面図。
図７に示す素子基板のＣ－Ｃ線に沿う断面図。
液晶装置の製造方法を示す断面図。
液晶装置の製造方法を示す断面図。
液晶装置の製造方法を示す断面図。
液晶装置の製造方法を示す断面図。
液晶装置の製造方法を示す断面図。
液晶装置の製造方法を示す断面図。
液晶装置の製造方法を示す断面図。
電子機器としてのプロジェクターの構成を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図面においては各構成要素を見やすくするため、構成要素によって寸法の縮尺を異ならせて示すことがある。
【０００９】
また、以下では、説明の便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸を適宜用いて説明する。また、Ｘ軸に沿う一方向をＸ１方向と表記し、Ｘ１方向とは反対の方向をＸ２方向と表記する。同様に、Ｙ軸に沿う一方向をＹ１方向と表記し、Ｙ１方向とは反対の方向をＹ２方向と表記する。Ｚ軸に沿う一方向をＺ１方向と表記し、Ｚ１方向とは反対の方向をＺ２方向と表記する。また、以下では、Ｚ１方向またはＺ２方向に見ることを「平面視」とし、Ｚ軸を含む断面に対して垂直方向から見ることを「断面視」とする。
【００１０】
さらに、以下の説明において、例えば基板に対して、「基板上に」との記載は、基板の上に接して配置される場合、基板の上に他の構造物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接して配置され、一部が他の構造物を介して配置される場合のいずれかを表すものとする。また、ある構成の上面との記載は、当該構成のＺ１方向側の面、例えば「透光層の上面」は透光層のＺ１方向側の面、を示すものとする。また、ある構成の底面との記載は、当該構成のＺ２方向側の面、例えば「コンタクトプラグの底面」はコンタクトプラグのＺ２方向側の面、を示すものとする。
（【００１１】以降は省略されています）

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