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公開番号2025067860
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-24
出願番号2024177144
出願日2024-10-09
発明の名称活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物及び粘着シート
出願人三菱ケミカル株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類C09J 133/06 20060101AFI20250417BHJP(染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用)
要約【課題】活性エネルギー線照射前の粘着力が良好であり、高温にさらされても粘着力の極度な低下が抑えられ、活性エネルギー線照射後は、粘着力が低減され、糊残りがない優れた剥離性を有する粘着剤を得ることができる活性エネルギー線硬化性剥離型の粘着剤組成物を提供する。
【解決手段】アクリル系樹脂(A)、ウレタン(メタ)アクリレート系化合物(B)及び重合禁止剤(C)を含有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物であって、
前記重合禁止剤(C)が、ニトロソ化合物(C1)を含有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
アクリル系樹脂（Ａ）、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）及び重合禁止剤（Ｃ）を含有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物であって、
前記重合禁止剤（Ｃ）が、ニトロソ化合物（Ｃ１）を含有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記アクリル系樹脂（Ａ）が、アルキル（メタ）アクリレート（ａ１）由来の構造単位を有する請求項１記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項３】
前記アクリル系樹脂（Ａ）が、官能基含有モノマー（ａ２）由来の構造単位を有する請求項１記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項４】
前記アクリル系樹脂（Ａ）が、水酸基含有モノマー（ａ２－１）由来の構造単位を有する請求項１記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項５】
前記水酸基含有モノマー（ａ２－１）由来の構造単位の含有量が、アクリル系樹脂（Ａ）全構造単位の０．１～１０質量％である請求項４記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項６】
前記アクリル系樹脂（Ａ）が、カルボキシ基含有モノマー（ａ２－２）由来の構造単位を有する請求項１記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項７】
前記カルボキシ基含有モノマー（ａ２－２）由来の構造単位の含有量が、アクリル系樹脂（Ａ）全構造単位の３０質量％以下である請求項６記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項８】
前記ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）がエチレン性不飽和基を有し、前記エチレン性不飽和基の数が５～２０個である請求項１記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項９】
前記ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）が、分子内にエチレン性不飽和基を３個以上含有する水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物と多価イソシアネート系化合物（ｂ２）との反応物である請求項１記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
【請求項１０】
前記ニトロソ化合物（Ｃ１）が、アンモニウムＮ－ニトロソフェニルヒドロキシルアミン及び／又はＮ－ニトロソフェニルヒドロキシルアミンアルミニウム塩である請求項１記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物及び粘着シートに関するものであり、更に詳しくは、半導体ウエハ、プリント基板、ガラス加工品、金属板、プラスチック板等の被加工部材を加工する際の一時的な表面保護用の剥離型粘着シートの粘着剤に使用される粘着剤組成物、とりわけ活性エネルギー線硬化性剥離型の粘着剤組成物及び粘着シートに関するものである。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハを用いた集積回路の作製や穴開け等の加工工程においては、被加工部材の汚れや損傷を防ぐことを目的として一時的に前記被加工部材の表面を保護するための表面保護用の粘着シートが用いられている。そして、近年では加工技術の微細化や被加工部材の薄膜化等の理由で被加工部材に対して適度な粘着力が求められる一方、表面保護の役目を終えた後には表面保護用の粘着シートを剥離する必要があり、剥離する際には軽い力で糊残りなく剥離できることが求められている。また、近年では半導体ウエハに限らず様々な部材の加工時にも表面保護用の粘着シートが利用されている。
【０００３】
かかる粘着シートとしては、活性エネルギー線を照射することにより硬化し、粘着力を低下させることができる活性エネルギー線硬化性の粘着剤組成物が有効であり、例えば、（１）エチレン性不飽和基を有するモノマー及び／又はオリゴマーとアクリル系樹脂とを配合したり、（２）アクリル系樹脂自体にエチレン性不飽和基を含有させたエチレン性不飽和基含有アクリル系樹脂を用いたりすることで、活性エネルギー線硬化性を発現させている。
【０００４】
近年では、電子部品の製造工程において、粘着テープを貼付した状態の部品が高温にさらされることも少なくなく、そのため、電子部品の製造工程に使用する粘着テープには、高温条件に耐え得る耐熱性も求められており、例えば、特許文献１には、ガラス転移温度が－５０℃以上１０℃以下の活性エネルギー線硬化性粘着剤を塗布してなる粘着シートが開示され、加熱処理後でも活性エネルギー線照射後にはウエハチップと粘着シートとの接着力が低下して、容易にウエハチップをピックアップできることが記載されている。
【０００５】
また、特許文献２には、アクリル系樹脂にリン系酸化防止剤を含有させることによって、高温、湿熱条件下にさらされた後においても再剥離型粘着剤に優れる粘着剤が記載されている。
【０００６】
更に、特許文献３には、活性エネルギー線硬化型粘着剤にヒンダードフェノール系酸化防止剤を含有させることによって、高温、湿熱条件下にさらされた後においても再剥離型粘着剤に優れる粘着剤が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
国際公開第２０２０／１００４９１号
特開２０２０－１５８６９１号公報
特開２０１９－１４５５７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、前記特許文献１の開示技術では、１５０℃加熱処理後に活性エネルギー線照射によって粘着力が低下して剥離性を示すものの、更に高温の条件、例えば１７５～２００℃の加熱処理条件下では十分な剥離性を得られない問題があり、いまだ満足のいくものではなかった。
【０００９】
また、前記特許文献２と特許文献３の開示技術でも、更に高温の条件では、十分な剥離性を得られない問題があり、いまだ満足のいくものではなかった。
【００１０】
そこで、本発明ではこのような背景下において、活性エネルギー線照射前の粘着力が良好であり、高温にさらされても粘着力の極度な低下が抑えられ、活性エネルギー線照射後は、粘着力が低減され、糊残りがない優れた剥離性を有する粘着剤を得ることができる活性エネルギー線硬化性剥離型の粘着剤組成物を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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