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公開番号2025060081
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-10
出願番号2023170586
出願日2023-09-29
発明の名称両頭平面研削装置
出願人株式会社ジェイテクトマシンシステム
代理人弁理士法人前田特許事務所
主分類B24B 49/10 20060101AFI20250403BHJP(研削;研磨)
要約【課題】ワークに生じた僅かな欠け又はストッパ機構に生じた摩耗の検出と、コスト抑制と、を両立する。
【解決手段】両頭平面研削装置1は、支持位置に向けて第1及び第2ワーク保持体10,20を閉動させる移動機構8と、第1及び第2ワーク保持体10,20が支持位置に位置決めされるように、移動機構8による第1及び第2ワーク保持体10,20の閉動を規制するストッパ機構9と、第1及び第2ワーク保持体10,20の間の相対距離を検出する距離センサ102と、コントローラ100と、を備え、コントローラ100は、第1及び第2ワーク保持体10,20を閉動させた状態における相対距離の検出値と、第1閾値と、を比較し、相対距離が第1閾値よりも大きい場合、ワークWと第1又は第2ワーク保持体10,20との間に異物が挟み込まれているものとして、ワークWの研削を停止させる。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
薄板状のワークを挟み込むように定められた支持位置において、流体の圧力によって該ワークを非接触支持する第１及び第２ワーク保持体と、該第１及び第２ワーク保持体に支持された該ワーク両面の被研削面を研削する一対の研削砥石と、を備えた両頭平面研削装置であって、
前記支持位置に向けて前記第１及び第２ワーク保持体を閉動させる移動機構と、
前記第１及び第２ワーク保持体が前記支持位置に位置決めされるように、前記移動機構による前記第１及び第２ワーク保持体の閉動を規制するストッパ機構と、
前記第１及び第２ワーク保持体の間の相対距離を検出する距離センサと、
前記距離センサの検出信号が入力されるコントローラと、を備え、
前記ストッパ機構によって閉動が規制されかつ前記第１及び第２ワーク保持体が前記支持位置に位置するときに実現される前記相対距離を基準値とし、該基準値よりも大きくなるように設定された所定値を第１閾値とすると、
前記コントローラは、前記距離センサの検出信号に基づいて、
前記第１及び第２ワーク保持体を閉動させた状態における前記相対距離の検出値と、前記第１閾値と、を比較し、
前記相対距離が前記第１閾値よりも大きい場合、前記ワークと前記第１又は第２ワーク保持体との間に異物が挟み込まれているものとして、前記ワークの研削を停止させる
ことを特徴とする両頭平面研削装置。
続きを表示（約 1,700 文字）【請求項２】
薄板状のワークを挟み込むように定められた支持位置において、流体の圧力によって該ワークを非接触支持する第１及び第２ワーク保持体と、該第１及び第２ワーク保持体に支持された該ワーク両面の被研削面を研削する一対の研削砥石と、を備えた両頭平面研削装置であって、
前記支持位置に向けて前記第１及び第２ワーク保持体を閉動させる移動機構と、
前記第１及び第２ワーク保持体が前記支持位置に位置決めされるように、前記移動機構による前記第１及び第２ワーク保持体の閉動を規制するストッパ機構と、
前記第１及び第２ワーク保持体の間の相対距離を検出する距離センサと、
前記距離センサの検出信号が入力されるコントローラと、を備え、
前記ストッパ機構によって閉動が規制されかつ前記第１及び第２ワーク保持体が前記支持位置に位置するときに実現される前記相対距離を基準値とし、該基準値よりも小さくなるように設定された所定値を第２閾値とすると、
前記コントローラは、前記距離センサの検出信号に基づいて、
前記第１及び第２ワーク保持体を閉動させた状態における前記相対距離の検出値と、前記第２閾値と、を比較し、
前記相対距離が前記第２閾値よりも小さい場合、前記ストッパ機構に摩耗が生じているものとして、前記ワークの研削を停止させる
ことを特徴とする両頭平面研削装置。
【請求項３】
薄板状のワークを挟み込むように定められた支持位置において、流体の圧力によって該ワークを非接触支持する第１及び第２ワーク保持体と、該第１及び第２ワーク保持体に支持された該ワーク両面の被研削面を研削する一対の研削砥石と、を備えた両頭平面研削装置であって、
前記支持位置に向けて前記第１及び第２ワーク保持体を閉動させる移動機構と、
前記第１及び第２ワーク保持体が前記支持位置に位置決めされるように、前記移動機構による前記第１及び第２ワーク保持体の閉動を規制するストッパ機構と、
前記第１及び第２ワーク保持体の間の相対距離を検出する距離センサと、
前記距離センサの検出信号が入力されるコントローラと、を備え、
前記ストッパ機構によって閉動が規制されかつ前記第１及び第２ワーク保持体が前記支持位置に位置するときに実現される前記相対距離を基準値とし、該基準値よりも大きくなるように設定された所定値を第１閾値とし、該基準値よりも小さくなるように設定された所定値を第２閾値とすると、
前記コントローラは、前記距離センサの検出信号に基づいて、
前記第１及び第２ワーク保持体を閉動させた状態における前記相対距離の検出値と、前記第１閾値と、を比較し、
前記相対距離が前記第１閾値よりも大きいときには、前記ワークと前記第１又は第２ワーク保持体との間に異物が挟み込まれているものとして前記ワークの研削を停止させる一方、
前記相対距離が前記第２閾値よりも小さいときには、前記ストッパ機構に摩耗が生じているものとして前記ワークの研削を停止させる
ことを特徴とする両頭平面研削装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載された両頭平面研削装置において、
前記第１及び第２ワーク保持体は、それぞれ、
前記移動機構の動作に伴ってスライド移動するベースと、
前記ベースの端面に配置され、前記ワークを非接触支持するパッドと、を有し、
前記ストッパ機構は、前記第１及び第２ワーク保持体それぞれの前記パッドを取り囲むように、前記第１及び第２ワーク保持体それぞれの前記ベースの間に複数配置され、
前記距離センサは、複数の前記ストッパ機構のうちの少なくとも１つに隣接するように配置され、
前記距離センサと、該距離センサに隣接する前記ストッパ機構との距離は、前記距離センサと、前記パッドの中央部との間の距離よりも短い
ことを特徴とする両頭平面研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、両頭平面研削装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、両頭平面研削装置の一例が開示されている。具体的に、この特許文献１に開示されている装置は、流体の圧力によって薄板状ワークを非接触支持する第１及び第２ワーク保持体と、第１及び第２ワーク保持体に支持されたワークの両面を研削する一対の研削砥石と、を備えている。
【０００３】
さらに、前記特許文献１に開示されている装置は、第１及び第２ワーク保持体を摺動させるスライド駆動機構と、ストッパボルト及びストッパブロックと、を備えている。ここで、スライド駆動機構は、ワークが非接触支持される支持位置（研削時位置）に向けて、第１及び第２ワーク保持体を互いに近接させる機構である。ストッパボルト及びストッパブロックは、第１及び第２ワーク保持体を支持位置まで近接させたときに互いに当接することで、正確な位置決めを実現するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１６－１３２０８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、薄板状のワークを研削対象とした場合、素材の欠陥、研削中に生じた異常等に起因して、ワークが僅かに欠ける場合がある。そうして生じたワークの欠片が残存したまま、その次のワークの研削へと移行してしまうと、ワークと砥石の間に、前回の研削時に生じたワークの欠片が、挟まってしまう可能性がある。これまで、ワークの割れ、破断等、比較的大きな破損を検知する技術こそ知られていたものの、そうした技術では、僅かな欠けを検知するには不十分であった。
【０００６】
僅かな欠けを検知する手法として、画像センサによってワークを撮像することが考えられる。しかしながら、一般に、画像センサは高コストである。また、画像センサを用いる場合、明暗を明瞭にするための照明装置、及び背景等の新設も必要になるため、コスト抑制に不都合である。
【０００７】
同様の課題は、ストッパボルト及びストッパブロック等からなるストッパ機構にも存在する。つまり、多数のワークを研削していくうちに、ストッパ機構に摩耗が生じる場合がある。従来の手法では、そうした摩耗の検出と、コスト抑制とを両立させるには不十分であった。
【０００８】
本開示は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、前回研削時にワークに生じた僅かな欠け又はストッパ機構に生じた摩耗の検出と、コスト抑制と、を両立することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示の第１の態様は、薄板状のワークを挟み込むように定められた支持位置において、流体の圧力によって該ワークを非接触支持する第１及び第２ワーク保持体と、該第１及び第２ワーク保持体に支持された該ワーク両面の被研削面を研削する一対の研削砥石と、を備えた両頭平面研削装置に係る。この両頭平面研削装置は、前記支持位置に向けて前記第１及び第２ワーク保持体を閉動させる移動機構と、前記第１及び第２ワーク保持体が前記支持位置に位置決めされるように、前記移動機構による前記第１及び第２ワーク保持体の閉動を規制するストッパ機構と、前記第１及び第２ワーク保持体の間の相対距離を検出する距離センサと、前記距離センサの検出信号が入力されるコントローラと、を備える。
【００１０】
そして、前記第１の態様によれば、前記ストッパ機構によって閉動が規制されかつ前記第１及び第２ワーク保持体が前記支持位置に位置するときに実現される前記相対距離を基準値とし、該基準値よりも大きくなるように設定された所定値を第１閾値とすると、前記コントローラは、前記距離センサの検出信号に基づいて、前記第１及び第２ワーク保持体を閉動させた状態における前記相対距離の検出値と、前記第１閾値と、を比較し、前記相対距離が前記第１閾値よりも大きい場合、前記ワークと前記第１又は第２ワーク保持体との間に異物が挟み込まれているものとして、前記ワークの研削を停止させる。
（【００１１】以降は省略されています）

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