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公開番号2025056610
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-08
出願番号2023166191
出願日2023-09-27
発明の名称ガラス基板の製造方法
出願人日本電気硝子株式会社
代理人弁理士法人矢野内外国特許事務所
主分類B24B 9/10 20060101AFI20250401BHJP(研削;研磨)
要約【課題】円盤形状のガラス基板の周縁端部に端面加工を施す工程を備えた、ガラス基板の製造方法であって、設備コストの増加を伴うことなく、高精度な端面加工の加工精度を長期間に亘って維持することができる、ガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】定盤2の上面22aに円盤形状のガラス基板Gを載置して保持する保持工程S01と、定盤2によって保持されたガラス基板Gを、当該定盤2とともに軸心Z1を中心にして回転させる回転工程S02と、回転するガラス基板Gの端面Gaに研削ツール3を押し当て、ガラス基板Gの端面加工を施す端面加工工程S03とを備え、保持工程S01において、定盤2は、金属製の部材からなる第1定盤21と、ガラス製の部材からなり、第1定盤21の上面21aにおいて、着脱可能に積層配置される第2定盤22とを有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
円盤形状のガラス基板の製造方法であって、
定盤の上面に円盤形状のガラス基板を載置して保持する保持工程と、
前記定盤によって保持された前記ガラス基板を、当該定盤とともに軸心を中心にして回転させる回転工程と、
回転する前記ガラス基板の端面に加工具を押し当て、前記ガラス基板の端面加工を施す端面加工工程とを備え、
前記保持工程において、
前記定盤は、
金属製の部材からなる第１定盤と、
ガラス製の部材からなり、前記第１定盤における前記ガラス基板側の主面において、着脱可能に積層配置される第２定盤とを有する、
ことを特徴とするガラス基板の製造方法。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
前記第２定盤において、
前記第１定盤側との反対側の主面における平坦度（ＴＴＶ）は、３μｍ以下である、
ことを特徴とする、請求項１に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項３】
前記第２定盤のビッカース硬さ（ＨＶ１）は、前記ガラス基板のビッカース硬さ（ＨＶ２）以下である、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項４】
前記第１定盤における前記ガラス基板側の主面は、円形状に形成され、
前記第２定盤は、円盤形状に形成され、
前記第２定盤の直径をＬ２、前記第１定盤における当該主面の直径をＬ１とすると、Ｌ１≦Ｌ２である、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項５】
前記第１定盤は、
前記ガラス基板側の主面において、
前記第２定盤を吸着可能な吸着手段を有する、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のガラス基板の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、円盤形状のガラス基板の端面加工を施す工程を備えた、ガラス基板の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、例えば半導体ウエハーのバックグラインド工程において、半導体ウエハーを支持する支持体の一例として、円盤形状のガラス基板からなる支持体が知られている（例えば、「特許文献１」を参照）。このような円盤形状のガラス基板の製造工程においては、作製されたガラス基板の周縁端部に対して、Ｒ面取りやＣ面取り等に代表される面取り加工（端面加工）を施すのが一般的である。
【０００３】
ここで、上記端面加工については、従来より、以下の手順に従い実行されている。即ち、先ず始めに、円盤形状のガラス基板を、水平姿勢の状態で定盤上に載置して固定し、当該定盤とともに軸心を中心として回転させる。次に、同じく軸心を中心にして回転する略円筒形状の研削ツールの外周面を、上記ガラス基板の端面に押し当てる。これにより、上記研削ツールの外周面に形成されている溝部の形状が、ガラス基板の周縁端部に転写され、当該周縁端部に所定の端面加工が施される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開第２０１６／０４７２１０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、端面加工が施されたガラス基板の周縁端部の形状が十分に安定していないと、例えば半導体ウエハーの製造工程において、当該ガラス基板からなる支持体に半導体ウエハーを取付けるデボンド作業を精度良く行うことができず、その後実行される各プロセスにおいて不良を誘発する可能性が高まることから、ガラス基板の周縁端部に施される端面加工の要求精度については、近年増々高精度になっている。
【０００６】
ここで、前述した従来の端面加工の手法においては、定盤の載置面の平面精度（平坦度等）が、上記端面加工の加工精度に大きく寄与するため、当該載置面の平面精度をより高精度に仕上げることが重要である。即ち、定盤の載置面の平面精度が十分でない場合、当該載置面に載置されたガラス基板は、周縁端部がやや波打つように軸心を中心として回転されることとなる。その結果、研削ツールの外周面を押し当てることで形成される、ガラス基板の周縁端部の形状は、周方向において加工精度のばらつきが大きくなることから、定盤の載置面における平面精度を、より高精度に仕上げることが重要である。
【０００７】
一方、一般的に定盤は、例えばアルミニウムやステンレス鋼等の金属製部材からなるため、載置面の平面精度を高精度に仕上げるためには加工コストが嵩むこと、また精度に限界があるという問題があった。また、このような金属製部材からなる定盤においては、たとえ載置面の平面精度を高精度に仕上げたとしても、載置面の形状の経年変化によって平面精度の劣化が進むため、長期間に亘って載置面の平面精度を高精度に維持することが困難であるという問題があった。
【０００８】
本発明は、以上に示した現状の問題点に鑑みてなされたものであり、円盤形状のガラス基板の周縁端部に端面加工を施す工程を備えた、ガラス基板の製造方法であって、設備コストの増加を伴うことなく、高精度な端面加工の加工精度を長期間に亘って維持することができる、ガラス基板の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１０】
即ち、本発明の態様１に係るガラス基板の製法方法は、円盤形状のガラス基板の製造方法であって、定盤の上面に円盤形状のガラス基板を載置して保持する保持工程と、前記定盤によって保持された前記ガラス基板を、当該定盤とともに軸心を中心にして回転させる回転工程と、回転する前記ガラス基板の端面に加工具を押し当て、前記ガラス基板の端面加工を施す端面加工工程とを備え、前記保持工程において、前記定盤は、金属製の部材からなる第１定盤と、ガラス製の部材からなり、前記第１定盤における前記ガラス基板側の主面において、着脱可能に積層配置される第２定盤とを有することを特徴とする。このように、本発明に係るガラス基板の製造方法においては、研磨加工を施すことで、高精度な平面精度（平坦度等）を実現可能なガラス製の部材によって、被加工物である円盤形状のガラス基板を定盤上に載置する際に直接接触する第２定盤を形成することから、設備コストの大幅な増加を伴うことなく、当該ガラス基板の周縁端部に対して、高精度な端面加工を行うことができる。また、本発明に係るガラス基板の製造方法によれば、比較的製造コストの低廉なガラス製の部材からなる第２定盤を消耗品として取り扱い、比較的短期間の一定周期毎に、新たな第２定盤に逐次更新することにより、高精度な端面加工の加工精度を、長期間に亘って維持することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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